技術(shù)總結(jié)
提供體彈性波器件和體彈性波器件的制造方法，將制造時對環(huán)境的負荷抑制為較低。BAW器件(11)具有基板(13)以及形成在基板的正面(13a)上的壓電元件(23)，在基板的內(nèi)部設(shè)置有對彈性波進行擴散的彈性波擴散區(qū)域(31)，該彈性波擴散區(qū)域是利用激光光線(L1)對基板進行改質(zhì)而形成的。

技術(shù)研發(fā)人員：阿畠潤
受保護的技術(shù)使用者：株式會社迪思科
文檔號碼：201610739087
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.26
技術(shù)公布日：2017.03.08