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加熱裝置的制作方法

文檔序號:11693577閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明提供了一種加熱裝置,用于蒸發(fā)有機膜料,該加熱裝置包括坩堝,坩堝用于盛放有機膜料;電磁加熱組件,具有感應線圈,感應線圈環(huán)繞在坩堝的軸向外側,電磁加熱組件用于對坩堝進行加熱。通過本發(fā)明提供的技術方案,能夠解決現(xiàn)有技術中的有機膜料受熱不均勻的問題。

技術研發(fā)人員:解金庫;于甄;孔德興
受保護的技術使用者:張家港康得新光電材料有限公司
技術研發(fā)日:2016.01.13
技術公布日:2017.07.21
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