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成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置的制作方法

文檔序號:12069273閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置,其特征在于:它包括介質(zhì)和若干對成對電極;成對電極為兩個間距較近、正負(fù)極性相同的電極;相鄰的成對電極之間的正負(fù)極性相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置,其特征在于:它還包括兩個2個單個電極;所述的介質(zhì)為板狀介質(zhì)(1);板狀介質(zhì)(1)內(nèi)從一邊到另一邊依次設(shè)有一個單個電極A(2)、若干對成對電極、一個單個電極B(3)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置,其特征在于:當(dāng)所述的成對電極的對數(shù)為偶數(shù)時,單個電極A(2)與第偶數(shù)對成對電極接高壓電;單個電極B(3)與第奇數(shù)對成對電極接地;

當(dāng)所述的成對電極的對數(shù)為奇數(shù)時,單個電極A(2)、單個電極B(3)與第偶數(shù)對成對電極接高壓電;第奇數(shù)對成對電極接地。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置,其特征在于:所述的板狀介質(zhì)(1)為陶瓷或石英材料;所述的電極的材料為石墨、金屬或合金。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置,其特征在于:所述的電極的材料為Al,板狀介質(zhì)(1)材料為Al2O3;單個電極的寬度為1mm;組成成對電極的兩個電極之間的距離為3mm;單個電極與成對電極之間的距離、相鄰兩對成對電極之間的距離為1~10mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成對電極共面放電等離子體發(fā)生裝置,其特征在于:所述的介質(zhì)為圓柱狀介質(zhì)(8);圓柱狀介質(zhì)(8)外表面均勻設(shè)有若干對成對電極。

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