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絕緣層上金屬線排版結(jié)構(gòu)及其制備方法與流程

文檔序號:12014870閱讀:來源:國知局
絕緣層上金屬線排版結(jié)構(gòu)及其制備方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種金屬線排版結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:絕緣層;溝槽,數(shù)個所述溝槽并行排列的設(shè)置于所述絕緣層上,所述溝槽使所述絕緣層形成具有不同高度的數(shù)個平面,且相鄰兩平面的高度不同;以及,金屬線,所述金屬線設(shè)置于所述絕緣層的每個平面上。2.如權(quán)利要求1所述的金屬線排版結(jié)構(gòu),其特征在于,所述溝槽的截面為矩形,所述溝槽使所述絕緣層形成具有兩種不同高度的數(shù)個平面。3.如權(quán)利要求1所述的金屬線排版結(jié)構(gòu),其特征在于,所述溝槽的截面為T形,所述溝槽使所述絕緣層形成具有三種不同高度的數(shù)個平面。4.如權(quán)利要求1所述的金屬線排版結(jié)構(gòu),其特征在于,所述溝槽以相同間隔距離設(shè)置。5.如權(quán)利要求1所述的金屬線排版結(jié)構(gòu),其特征在于,所述絕緣層采用SiO2、SiNX或者有機(jī)光刻膠材料制成。6.一種端子部,應(yīng)用于顯示器中,其特征在于,所述端子部的外圍區(qū)域包括如權(quán)利要求1-5任意一項所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)。7.一種金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:S1,提供一絕緣層;S2,在所述絕緣層上制作數(shù)個并行排列的溝槽,所述溝槽使所述絕緣層形成具有不同高度的數(shù)個平面,且相鄰兩平面的高度不同;S3,在所述絕緣層的每個平面上制作金屬線。8.如權(quán)利要求7所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,在所述步驟S2中,將所述溝槽的截面制作為矩形,所述溝槽使所述絕緣層形成具有兩種不同高度的數(shù)個平面。9.如權(quán)利要求7所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,在所述步驟S2中,將所述溝槽的截面制作為T形,所述溝槽使所述絕緣層形成具有三種不同高度的數(shù)個平面。10.如權(quán)利要求7所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述步驟S2具體包括如下步驟:S201,在所述絕緣層上旋涂光刻膠,間隔曝光所述光刻膠,對曝光后的光刻膠顯影,形成具有不同高度的第一光刻膠圖形;S202,以所述第一光刻膠圖形作為掩膜板蝕刻所述絕緣層,剝離光刻膠,在所述絕緣層上得到數(shù)個并行排列的溝槽,所述溝槽使所述絕緣層形成具有不同高度的數(shù)個平面,且相鄰兩平面的高度不同。11.如權(quán)利要求10所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,采用半色調(diào)光罩間隔曝光所述光刻膠。12.如權(quán)利要求10所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述絕緣層采用SiO2或者SiNX材料制成。13.如權(quán)利要求7所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述步驟S2具體包括如下步驟:S201’,間隔曝光所述絕緣層,對曝光后的絕緣層顯影,形成具有不同高度的第一光刻膠圖形;S202’,對所述第一光刻膠圖形進(jìn)行背烘,固化所述第一光刻膠圖形,在所述絕緣層上得到數(shù)個并行排列的溝槽,所述溝槽使所述絕緣層形成具有不同高度的數(shù)個平面,且相鄰兩平面的高度不同;其中,所述絕緣層采用有機(jī)光刻膠材料制成。14.如權(quán)利要求13所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,采用半色調(diào)光罩間隔曝光所述絕緣層。15.如權(quán)利要求7所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述步驟S3具體包括如下步驟:S301,在所述絕緣層的所有平面上淀積金屬層;S302,在所述金屬層上旋涂光刻膠,間隔曝光所述光刻膠,對曝光后的光刻膠顯影,在所述金屬層上對應(yīng)所述絕緣層的數(shù)個平面的位置分別形成第二光刻膠圖形;S303,以所述第二光刻膠圖形作為掩膜板蝕刻所述金屬層,剝離光刻膠,得到在所述絕緣層的每個平面上的金屬線。16.如權(quán)利要求15所述的金屬線排版結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,采用半色調(diào)光罩間隔曝光所述光刻膠。
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