專利名稱：一種sr569t20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及聲表面波器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器。
技術(shù)背景當(dāng)具有壓電效應(yīng)的晶體受到外應(yīng)力作用時，會產(chǎn)生與應(yīng)力成正比的電場；反之，當(dāng)晶體受到外電場作用時，晶體同時也產(chǎn)生與外電場成正比的彈性形變，該彈性形變激發(fā)出聲波，激發(fā)的聲波沿晶體表面?zhèn)鞑バ纬陕暠砻娌?。利用上述聲表面波的傳播即可實現(xiàn)電信號到聲信號以及聲信號到電信號的轉(zhuǎn)換。聲表面波諧振器是指在壓電晶片上制作叉指換能器，同時在叉指換能器兩側(cè)還設(shè)置有反射陣列。該叉指換能器可以完成聲-電轉(zhuǎn)換，該反射陣列形成分布式諧振腔，在某一頻率上，當(dāng)該諧振腔的長度等于半波長的整數(shù)倍時即形成聲諧振，該聲諧振由叉指換能器轉(zhuǎn)換為電諧振從而實現(xiàn)聲表面波諧振器的功能。現(xiàn)有的聲表面波諧振器由于其叉指換能器和反射陣列制作的不完善，具有頻率偏差較大、插入損耗較大的缺點。并且現(xiàn)有的聲表面波諧振器的中心頻率一般為315MHZ、433MHZ，該頻段復(fù)用率高，信道擁堵現(xiàn)象嚴(yán)重，構(gòu)成專用無線系統(tǒng)時，抗干擾及安全性差。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種安全性好、損耗較低的聲表面波諧振器。本實用新型解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是提出一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器，其包括壓電晶片、設(shè)置于壓電晶片上的叉指換能器以及設(shè)置于叉指換能器兩側(cè)的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣；所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成，所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經(jīng)過高頻FEM優(yōu)化。使得膜厚精度和一致性高，諧振器頻率偏差小。所述高頻FEM是一種基于有限元理論的結(jié)構(gòu)分析方法。進一步地，所述聲表面波諧振器的中心頻率為569. 3MHZ，頻率偏差為±20kHz，插入損耗為I. 5dB。進一步地，所述叉指換能器包括平行設(shè)置的第一換能器電極條以技第二換能器電極條，所述第一換能器電極條以及第二換能器電極條之間等間距的排布有多條金屬條，其中部分金屬條將第一換能器電極條和第二換能器電極條連接，部分金屬條由第一換能器電極條向第二換能器電極條延伸且不與第二換能器電極條連接，部分金屬條由第二換能器電極條向第一換能器電極條延伸且不與第一換能器電極條連接。進一步地，所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣結(jié)構(gòu)相同，均包括平行設(shè)置的第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條，第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條之間等間距的連接有多條短路金屬條，該多條短路金屬條均將第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條連接。本實用新型聲表面波諧振器通過設(shè)計叉指換能器的結(jié)構(gòu)并采用銅鋁合金質(zhì)的結(jié)構(gòu)材料使得其中心頻率較常規(guī)聲表面波諧振器高，金屬結(jié)構(gòu)尺度較小、插入損耗較低、諧振器頻率偏差較小。同時，本實用新型聲表面波諧振器的諧振頻段避開了信號擁堵的通用頻段，用于專用無線系統(tǒng)時，安全性高，抗干擾能力強。

圖I是本實用新型聲表面波諧振器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I中叉指換能器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型聲表面波諧振器的封裝結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下是本實用新型的具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步的描述，但本實用新型并不限于這些實施例。請參照圖1，圖I為本實用新型聲表面波諧振器的結(jié)構(gòu)示意圖，圖I中，聲表面諧振器包括壓電晶片5，設(shè)置于壓電晶片5上的叉指換能器6，設(shè)置于叉指換能器6兩側(cè)的第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8。本實用新型中，叉指換能器6與第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8均由銅鋁合金材料制成，具有質(zhì)地致密，諧振性能好，同時中心頻率較常規(guī)聲表面波諧振器高，金屬結(jié)構(gòu)尺度較小的優(yōu)點，因而可以實現(xiàn)較低的插入損耗。更優(yōu)選地，本實用新型中，制成叉指換能器6與第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8的銅鋁合金膜還經(jīng)過高頻FEM優(yōu)化，以減小頻偏。請參照圖2，圖2為圖I中叉指換能器6的具體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2中，叉指換能器6包括平行設(shè)置的第一換能器電極條60以及第二換能器電極條61，第一換能器電極條60以及第二換能器電極條61之間等間距的排布有多條金屬條，其中部分金屬條將第一換能器電極條60和第二換能器電極條61連接，部分金屬條由第一換能器電極條60向第二換能器電極條61延伸且不與第二換能器電極條61連接，部分金屬條由第二換能器電極條61向第一換能器電極條60延伸且不與第一換能器電極條60連接。第一短路指反射陣7以及第二短路指反射陣8結(jié)構(gòu)相同，均包括平行設(shè)置的第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條，第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條之間等間距的連接有多條短路金屬條，該多條短路金屬條均將第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條連接。請參照圖I、圖3，其為本實用新型聲表面波諧振器封裝時的結(jié)構(gòu)示意圖。封裝時，第一換能器電極條60以及第二換能器電極條61上還分別連接有用于信號輸入和輸出的第一信號引腳I和第二信號引腳2 ;兩個短路指反射陣的任一反射陣電極條上連接有接地引腳4。封帽9將壓電晶片5覆蓋。在一優(yōu)選實施例中，壓電晶片5采用石英制成，叉指換能器6以及第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8均由銅鋁合金制成。叉指換能器6以及第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8的厚度均為O. 015至O. 025毫米。[0022]在該優(yōu)選實施例中，聲表面波諧振器的電學(xué)性能參數(shù)如下表
權(quán)利要求1.一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器，其特征在于包括壓電晶片、設(shè)置于壓電晶片上的叉指換能器以及設(shè)置于叉指換能器兩側(cè)的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣；所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成，所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經(jīng)過高頻FEM優(yōu)化。
2.如權(quán)利要求I所述的聲表面波諧振器，其特征在于所述聲表面波諧振器的中心頻率為569. 3MHZ，頻率偏差為±20kHz，插入損耗為I. 5dB。
3.如權(quán)利要求I或2所述的聲表面波諧振器，其特征在于所述叉指換能器包括平行設(shè)置的第一換能器電極條以及第二換能器電極條，所述第一換能器電極條以及第二換能器電極條之間等間距的排布有多條金屬條，其中部分金屬條將第一換能器電極條和第二換能器電極條連接，部分金屬條由第一換能器電極條向第二換能器電極條延伸且不與第二換能器電極條連接，部分金屬條由第二換能器電極條向第一換能器電極條延伸且不與第一換能器電極條連接。
4.如權(quán)利要求I或2所述的聲表面波諧振器，其特征在于所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣結(jié)構(gòu)相同，均包括平行設(shè)置的第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條，第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條之間等間距的連接有多條短路金屬條，該多條短路金屬條均將第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條連接。
專利摘要本實用新型提供了一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器，屬于聲表面波領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有的聲表面波諧振器插損過大的問題。本實用新型聲表面波諧振器包括壓電晶片、設(shè)置于壓電晶片上的叉指換能器以及設(shè)置于叉指換能器兩側(cè)的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣；所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成，所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經(jīng)過高頻FEM優(yōu)化。本實用新型諧振器金屬結(jié)構(gòu)尺度較小、其中心頻率為569.3MHz，頻率偏差為±20kHz，插入損耗為1.5dB。
文檔編號H03H9/25GK202737824SQ20122034066
公開日2013年2月13日 申請日期2012年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月11日
發(fā)明者趙成, 林波, 王敬元 申請人:臺州歐文電子科技有限公司