接近的電功率驅(qū)動信號。左桿1141中部正、反面粘帖的面內(nèi)縱振激勵陶瓷121壓電極化方向垂直于粘帖表面，與法線方向相同均背向定子組件I實體，圖8中用“ + ”表示，“(+)”表示反面粘帖的壓電陶瓷片的壓電極化方向；右桿1142中部正、反面粘帖的面內(nèi)縱振激勵陶瓷121壓電極化方向垂直于粘帖表面，與法線方向相反均指向定子組件I實體，圖8中用表示，“㈠”表示反面粘帖的壓電陶瓷片的壓電極化方向。所有的面內(nèi)縱振激勵陶瓷121的表面均通入同頻正弦sincot激勵電壓，面內(nèi)縱振激勵陶瓷121與H形結(jié)構(gòu)板11的粘帖面均接地接入零激勵電壓。
[0049]如圖6至圖9，為了有效、正確的激發(fā)定子組件I的面內(nèi)二階對稱彎曲工作模態(tài)振動，需在兩縱桿114末端左、右側(cè)面粘帖的面內(nèi)彎振激勵陶瓷122上通入高頻電功率驅(qū)動信號，該驅(qū)動信號頻率應(yīng)與面內(nèi)縱振激勵信號相同；分別將左桿1141、右桿1142左、右兩側(cè)的4片面內(nèi)彎振激勵陶瓷122沿桿對角線方向分成兩組，同組內(nèi)的陶瓷片采用相同極化方向，同一桿兩組之間的壓電陶瓷片采用相反的極化方向。如圖8，以“ + ”表示壓電極化方向垂直于粘帖表面且與法線方向相同背向定子組件I實體，以表示壓電極化方向垂直于粘帖表面且與法線方向相反指向定子組件I實體，左桿1141與右桿1142的面內(nèi)彎振激勵陶瓷122的極化方向呈對稱布置。所有的面內(nèi)彎振激勵陶瓷122的表面均通入同頻正弦sin
激勵電壓，面內(nèi)彎振激勵陶瓷122與H形結(jié)構(gòu)板11的粘帖面均接地接入零激勵電壓。
[0050]如圖5至圖6、圖8至圖9，為有效、正確的激發(fā)定子組件I的面外二階反對稱彎曲工作模態(tài)振動，需在兩縱桿114末端正、反面粘帖的面外彎振激勵陶瓷123上通入高頻電功率驅(qū)動信號，該驅(qū)動信號頻率應(yīng)與面內(nèi)彎振激勵信號相同。如圖8，位于左桿1141、右桿1142正面上同一高度的兩片面外彎振激勵陶瓷123采用相反的壓電極化方向，位于同一縱桿114正面上、下不同位置的激勵陶瓷123也采用相反的壓電極化方向，兩縱桿114反面的面外彎振激勵陶瓷123的壓電極化方向與正面對應(yīng)的面外彎振激勵陶瓷123的壓電極化方向相反。所有的面外彎振激勵陶瓷123的表面均通入同頻余弦cos cot激勵電壓，面外彎振激勵陶瓷123與H形結(jié)構(gòu)板11的粘帖面均接地接入零激勵電壓。
[0051]如圖10、圖11，所述定子組件I的驅(qū)動足111沿YOZ平面的橢圓運動，是在以時間相位差為90°的兩相同頻正弦sin COt電壓，分別激發(fā)出定子的面內(nèi)一階縱振模態(tài)工作振動與面外二階模態(tài)工作振動后，通過兩相振動耦合促成的。將定子的一個振動周期T分為以下四個階段，則相應(yīng)的橢圓軌跡由四部分組成:
[0052]如圖10、圖ll(St印I)，在O?T/4振動時段內(nèi)，定子面外二階彎振使左桿1141上部由最大前彎狀恢復成直桿狀，使左桿1141上部的驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸并使下部的驅(qū)動足111與動子組件2脫離接觸；定子面內(nèi)一階縱振使左桿1141由初始長度L。伸長至最大長度Lniax，驅(qū)使左桿1141上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大前彎位置A行進至最大伸長位置B，并使下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大后彎位置E行至最大伸長位置F。與此同時，定子面外二階彎振使右桿1142上部由最大后彎狀恢復成直桿狀，右桿1142上部的驅(qū)動足111與動子組件2保持脫離而下部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸；定子的一階反對稱縱振則使右桿1142由原始長度L。收縮至最小長度L _，使右桿1142上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大后彎位置C行進到最大收縮位置D，而右桿1142下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大前彎位置G行至最大收縮位置H。在該時段，定子組件I左桿1141上部驅(qū)動足111與右桿1142下部驅(qū)動足111同時與動子組件2接觸，共同推動平面滑板21沿Y向移進第一個步距λ。
[0053]如圖10、圖ll(Step 2)，在T/4?T/2振動時段內(nèi)，定子面外二階彎振驅(qū)使左桿1141上部由直桿狀彎成最大后彎狀，使左桿1141上部的驅(qū)動足111與動子組件2脫離接觸且使左桿1141下部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸；定子面內(nèi)一階縱振使左桿1141最大長度LniJ^復至初始長度L。，從而使左桿1141上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大伸長位置B行進到最大后彎位置C，下部驅(qū)動足111質(zhì)點則由最大伸長位置F行至最大前彎位置G。與此同時，定子面外二階彎振使右桿1142上部由直桿狀彎成最大前彎狀，使右桿1142上部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸而下部驅(qū)動足111與動子組件2脫離接觸；定子面內(nèi)一階縱振則使右桿1142由最小長度L-恢復至初始長度L。，從而使右桿1142上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大收縮位置D行至最大前彎位置A并使下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大收縮位置H行至最大后彎位置E。在該時段，定子左桿1141下部驅(qū)動足111和右桿1142上部驅(qū)動足111同時與動子組件2接觸，共同推動平面滑板21沿Y向移進第二個步距λ。
[0054]如圖10、圖ll(Step 3)，在Τ/2?3Τ/4振動時段內(nèi)，定子面外二階彎振使左桿1141上部由最大后彎狀恢復成直桿狀，使左桿1141上部驅(qū)動足111與動子組件2保持脫離且使左桿1141下部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸；定子面內(nèi)一階縱振使左桿1141由初始長度L。收縮至最小長度L_，驅(qū)使左桿1141上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大后彎位置C行進到最大收縮位置D并使下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大前彎位置G行至最大收縮位置H。與此同時，面外二階彎振使右桿1142上部由最大前彎狀彎成直桿狀，使右桿1142上部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸且使右桿1142下部驅(qū)動足111與動子組件2保持脫離，定子面內(nèi)一階縱振使右桿1142由初始長度L。伸長至最大長度L_，驅(qū)使右桿1142上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大前彎位置A行至最大伸長位置B，而下部驅(qū)動足111質(zhì)點則由最大后彎位置E行至最大伸長位置F。在該時段，定子左桿1141下部驅(qū)動足111和右桿1142上部驅(qū)動足111同時與動子組件2接觸，共同推動平面滑板21沿Y向移進第三個步距λ。
[0055]如圖10、圖ll(St印4)，在3T/4?T振動時段內(nèi)，定子面外二階彎振驅(qū)使左桿1141上部由直桿狀彎成最大前彎狀，使左桿1141上部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸并使下部驅(qū)動足111與動子組件2保持脫離；定子面內(nèi)一階縱振則使左桿1141由最小長度L-恢復到初始長度L。，驅(qū)使左桿1141上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大收縮位置D返回至最大前彎位置A，下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大收縮位置H返回至最大后彎位置E。與此同時，定子面外二階彎振使右桿1142上部由直桿狀彎成最大后彎狀，使右桿1142上部驅(qū)動足111與動子組件2保持脫離并使右桿1142下部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸；定子的面內(nèi)一階縱振則使右桿1142由最大長度LniJ^復到初始長度L。，驅(qū)使右桿1142上部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大伸長位置B返回至最大后彎位置C，下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大伸長位置F返回至最大前彎位置G。在該時段，定子左桿1141上部驅(qū)動足111和右桿1142下部驅(qū)動足111同時與動子組件2接觸，共同推動平面滑板21沿Y向移進第四個步距λ。
[0056]如圖10、圖11所示，定子組件I每完成上述一個振動周期Τ，左桿1141上部驅(qū)動足111將完成從最大前彎位置A-最大伸長位置B-最大后彎位置C-最大收縮位置D-最大前彎位置A的一個橢圓運動軌跡，左桿1141下部驅(qū)動足111將完成從最大后彎位置E-最大伸長位置F-最大前彎位置G-最大收縮位置H-最大后彎位置E的一個橢圓運動軌跡，右桿1142上部驅(qū)動足111將完成從最大后彎位置C-最大收縮位置D-最大前彎位置A-最大伸長位置B-最大后彎位置C的一個橢圓運動軌跡，右桿1142下部驅(qū)動足111將完成從最大前彎位置G-最大收縮位置H-最大后彎位置E-最大伸長位置F-最大前彎位置G的一個橢圓運動軌跡；所以定子組件I每完成上述一個振動周期Τ，就將推動動子組件2的平面滑板21沿Y向前移4步距。當定子組件I不斷重復上述振動周期時，它將推動動子組件2的平面滑板21不斷沿Y向前移。如果逆轉(zhuǎn)一階縱振與面外二階彎振之間超前滯后相位關(guān)系，則動子組件2的平面滑板21將沿Y軸的反方向移動。
[0057]如圖12至圖15，所述定子組件I的驅(qū)動足111沿XOZ平面的橢圓運動軌跡，是在以時間相位差為90°的兩相同頻正弦sincot電壓，分別激發(fā)出定子面內(nèi)二階彎曲模態(tài)工作振動與面外二階彎曲模態(tài)工作振動后，通過兩相振動耦合促成的。若將定子的一個振動周期T分為四個階段，則驅(qū)動足111在XOZ面內(nèi)的橢圓運動可看成由四部分組成:
[0058]如圖12至圖15(St印I)，在O?T/4振動時段內(nèi)，定子面外二階彎振使左桿1141上部由最大前彎狀恢復成直桿狀，使左桿1141上部驅(qū)動足111與動子組件2保持接觸而下部驅(qū)動足111與動子組件2保持脫離；定子面內(nèi)二階彎振使左桿1141由直桿狀彎成上部呈右彎狀而下部呈左彎狀，驅(qū)使左桿1141上部驅(qū)動足111質(zhì)點沿XOZ平面由最大前彎位置Al行至最大右彎位置BI，使左桿1141下部驅(qū)動足111質(zhì)點由最大后彎位置Cl彳丁至最大左彎位置D1。與此同時，定子面外二階彎振使右桿1142上部由