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振動式能量采集器的制作方法

文檔序號:12197898閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種振動式能量采集器,其特征在于,包括偏置電壓生成裝置、至少兩個層疊設(shè)置的運動極板以及設(shè)置在兩個所述運動極板之間且用于使得相鄰兩個所述運動極板在無外力作用下保持預(yù)設(shè)間距的隔離裝置;

每個所述運動極板均包括支撐構(gòu)件、運動質(zhì)量塊和電極層;所述支撐構(gòu)件設(shè)置在所述運動質(zhì)量塊的外圍并對所述運動質(zhì)量塊進行支撐;所述電極層設(shè)置在每個運動極板上與相鄰運動極板相對的表面上;所述隔離裝置設(shè)置在所述支撐構(gòu)件上;所述偏置電壓生成裝置位于相鄰兩個所述運動極板之間且設(shè)置在其中一個的電極層表面;所述偏置電壓生成裝置用于在相鄰兩個所述運動極板之間形成固定電場。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述支撐構(gòu)件和所述運動質(zhì)量塊均由硅基材料制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述偏置電壓生成裝置為駐極體;所述駐極體上存在電荷分布從而為相鄰兩個運動極板提供偏置電壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述支撐構(gòu)件包括支撐主體和懸臂梁結(jié)構(gòu);所述支撐主體為中空結(jié)構(gòu),用于放置所述運動質(zhì)量塊;所述懸臂梁結(jié)構(gòu)分布與所述支撐主體、所述運動質(zhì)量塊連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述支撐構(gòu)件包括四個所述懸臂梁結(jié)構(gòu);四個所述懸臂梁結(jié)構(gòu)對稱分布于所述支撐主體上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述隔離裝置為絕緣層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述電極層為金屬層或硅基導(dǎo)電材料層。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動式能量采集器,其特征在于,所述運動質(zhì)量塊上與相鄰運動質(zhì)量塊相對的一面上設(shè)置有凸點;所述運動質(zhì)量塊上的凸點在所述運動質(zhì)量塊不受外力時不與相鄰的運動質(zhì)量塊接觸。

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