技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種采用d15剪切模式的壓電驅(qū)動器及包括該壓電驅(qū)動器的精密微動臺，屬于精密驅(qū)動技術(shù)領(lǐng)域，所述采用d15剪切模式的壓電驅(qū)動器包括壓電陶瓷主體，所述壓電陶瓷主體包括基板和位于所述基板上并可以產(chǎn)生d15剪切模式變形的第一壓電陶瓷懸臂梁和第二壓電陶瓷懸臂梁，所述第一壓電陶瓷懸臂梁和第二壓電陶瓷懸臂梁豎向設(shè)置并沿所述基板長度方向排布；所述第一壓電陶瓷懸臂梁和第二壓電陶瓷懸臂梁的頂端連接有用于與動子連接的第一柔性倒V形架，所述第一柔性倒V形架將所述第一壓電陶瓷懸臂梁和第二壓電陶瓷懸臂梁的d15剪切模式變形轉(zhuǎn)換成橢圓運(yùn)動軌跡。本發(fā)明的采用d15剪切模式的壓電驅(qū)動器具有尺寸??；變形量大，輸出力高的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：祝聰;崔宏超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京派和科技股份有限公司
文檔號碼：201410363266
技術(shù)研發(fā)日：2014.07.25
技術(shù)公布日：2017.04.19