專利名稱：直線電動(dòng)機(jī)電樞和直線電動(dòng)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及直線電動(dòng)機(jī)電樞和直線電動(dòng)機(jī)。
背景技術(shù)：
以往，半導(dǎo)體制造裝置或機(jī)床等的工作臺(tái)進(jìn)給采用了直線電動(dòng)機(jī)。在直線電動(dòng)機(jī)的電樞中，提出有這樣的電樞:利用包殼覆蓋電樞線圈，在電樞線圈與包殼之間設(shè)置制冷劑流路而使制冷劑在該流路內(nèi)通過(guò)，對(duì)電樞線圈進(jìn)行冷卻(例如，參見(jiàn)專利文獻(xiàn)I)。此外，還提出有在冷卻套內(nèi)部設(shè)置有制冷劑流路的直線電動(dòng)機(jī)電樞(例如，參見(jiàn)專利文獻(xiàn)2 )。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)第2005/112233號(hào)專利文獻(xiàn)2:國(guó)際公開(kāi)第2008/152876號(hào)

實(shí)用新型內(nèi)容當(dāng)在冷卻套內(nèi)部設(shè)置有多個(gè)制冷劑流路的情況下，在該制冷劑流路與制冷劑流路之間配置有將彼此隔開(kāi)的間隔壁。這樣，有時(shí)來(lái)自電樞線圈的熱傳導(dǎo)在制冷劑流路部分和間隔壁部分變得不均一。本實(shí)用新型正是鑒于上述情況而完成的，其示例性的課題在于，提供能夠?qū)ε渲迷诶鋮s套附近的發(fā)熱體進(jìn)行冷卻并減低冷卻套表面的溫度不均一的直線電動(dòng)機(jī)電樞和直線電動(dòng)機(jī)。為了解決上述課題，作為本實(shí)用新型的示例性的側(cè)面的直線電動(dòng)機(jī)電樞是具有沿著動(dòng)子的移動(dòng)方向配置的發(fā)熱體、和配置在發(fā)熱體的表面附近的冷卻套的直線電動(dòng)機(jī)電樞。冷卻套的內(nèi)部具有多個(gè)制冷劑流路，所述多個(gè)制冷劑流路由內(nèi)側(cè)套、外側(cè)套、以及將內(nèi)側(cè)套和外側(cè)套連接起來(lái)的間隔壁劃定而成，所述內(nèi)側(cè)套位于離發(fā)熱體近的一側(cè)，所述外側(cè)套位于離發(fā)熱體遠(yuǎn)的一側(cè)。在內(nèi)側(cè)套和外側(cè)套中的至少任一方的內(nèi)部以與間隔壁對(duì)置的方式配置有傳熱減低部，所述傳熱減低部用于減低來(lái)自發(fā)熱體的熱傳導(dǎo)。也可以在內(nèi)側(cè)套的與制冷劑流路對(duì)置的內(nèi)部位置和外側(cè)套的與制冷劑流路對(duì)置的內(nèi)部位置均不配置傳熱減低部。傳熱減低部也可以是空隙。傳熱減低部也可以配置在內(nèi)側(cè)套和外側(cè)套中的至少任一方的厚度方向的大致中央。作為本實(shí)用新型的另一示例性的側(cè)面的直線電動(dòng)機(jī)電樞是具有沿著動(dòng)子的移動(dòng)方向配置的發(fā)熱體、和配置在發(fā)熱體的表面附近的冷卻套的直線電動(dòng)機(jī)電樞。冷卻套的內(nèi)部具有多個(gè)制冷劑流路，所述多個(gè)制冷劑流路由內(nèi)側(cè)套、外側(cè)套、以及將內(nèi)側(cè)套和外側(cè)套連接起來(lái)的間隔壁劃定而成，所述內(nèi)側(cè)套位于離發(fā)熱體近的一側(cè)，所述外側(cè)套位于離發(fā)熱體遠(yuǎn)的一側(cè)。內(nèi)側(cè)套和外側(cè)套中的至少任一方是從離發(fā)熱體近的一側(cè)起依次層疊內(nèi)側(cè)層、中央層和外側(cè)層至少三層而構(gòu)成的。內(nèi)側(cè)層和外側(cè)層由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂、陶瓷或不銹鋼形成，中央層通過(guò)將以制冷劑流路的延長(zhǎng)方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂、陶瓷或不銹鋼的部件、和長(zhǎng)條狀的傳熱減低部沿著與長(zhǎng)度方向正交的方向交替配置而形成。傳熱減低部與間隔壁對(duì)置地配置從而減低來(lái)自發(fā)熱體的熱傳導(dǎo)。作為本實(shí)用新型的又一示例性的側(cè)面的直線電動(dòng)機(jī)具備:上述的直線電動(dòng)機(jī)電樞；和磁場(chǎng)系統(tǒng)，所述磁場(chǎng)系統(tǒng)隔著磁空隙而與直線電動(dòng)機(jī)電樞對(duì)置地配置，并且該磁場(chǎng)系統(tǒng)交替地依次配置有彼此極性不同的多個(gè)永磁鐵，并且，以直線電動(dòng)機(jī)電樞和磁場(chǎng)系統(tǒng)中的任一方作為定子，以另一方作為動(dòng)子，使直線電動(dòng)機(jī)電樞和磁場(chǎng)系統(tǒng)相對(duì)地運(yùn)動(dòng)。通過(guò)參照以下附圖而說(shuō)明的優(yōu)選的實(shí)施方式來(lái)明確本實(shí)用新型的進(jìn)一步的目的或其它特征。實(shí)用新型效果根據(jù)本實(shí)用新型，能夠?qū)ε渲迷诶鋮s套附近的發(fā)熱體進(jìn)行冷卻并減少冷卻套表面的溫度不均一。

圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)的立體圖。圖2是關(guān)于圖1所示的直線電動(dòng)機(jī)電樞而從箭頭Z方向觀察圖1中的Z-Z線的截面時(shí)的示意性的立體圖。圖3是圖2所示的冷卻套的一部分的分解立體圖。圖4是示出了圖2所示的直線電動(dòng)機(jī)電樞的IV-1V’線的截面的一部分的圖。圖5是圖2至圖4所示的內(nèi)側(cè)套的一部分的分解立體圖。圖6是示出了包括不具有傳熱減低部的冷卻套的直線電動(dòng)機(jī)電樞的截面的一部分的圖。圖7是示出了包括具有傳熱減低部的冷卻套的直線電動(dòng)機(jī)電樞的截面的一部分的圖。圖8是示出了制冷劑流路膨脹的狀態(tài)的直線電動(dòng)機(jī)電樞的截面的一部分的圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1:直線電動(dòng)機(jī)；2、2’:直線電動(dòng)機(jī)電樞；3:磁場(chǎng)系統(tǒng)；21:電樞線圈；22、22，:冷卻套；22a、22a’:內(nèi)側(cè)套；22b、22b，:外側(cè)套；22c:間隔壁；22d:制冷劑流路；22e:制冷劑供給口；22f:制冷劑排出口；23、26:內(nèi)側(cè)層；24、27:中央層；[0039]24a:纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件、由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂形成的部件、由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂等形成的部件、由不銹鋼形成的部件；24b,27b:傳熱減低部；27a:纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件；25,28:外側(cè)層；29:結(jié)線基板；31:永磁鐵；A、H、Z:箭頭；D:厚度方向；Fl:壓縮應(yīng)力；F2:拉伸應(yīng)力；L:長(zhǎng)度方向；P:方向；S:空間。
具體實(shí)施方式
下面，采用附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)I的立體圖。直線電動(dòng)機(jī)I具有直線電動(dòng)機(jī)電樞2和磁場(chǎng)系統(tǒng)3。在圖1中，以局部剖切的狀態(tài)示出了直線電動(dòng)機(jī)電樞2。在直線電動(dòng)機(jī)電樞2的內(nèi)部具有多個(gè)電樞線圈21。在直線電動(dòng)機(jī)電樞2形成有用于使制冷劑向后述的制冷劑流路22d流動(dòng)的制冷劑供給口 22e和制冷劑排出口 22f。在磁場(chǎng)系統(tǒng)3形成有用于插入直線電動(dòng)機(jī)電樞2的空間
S。磁場(chǎng)系統(tǒng)3具有永磁鐵31。在圖1中，為了簡(jiǎn)化說(shuō)明而只不出了一個(gè)永磁鐵31,但磁場(chǎng)系統(tǒng)3具有彼此極性不同的多個(gè)永磁鐵31。直線電動(dòng)機(jī)電樞2以電樞線圈21的繞組和永磁鐵31隔著磁空隙對(duì)置的方式插入于磁場(chǎng)系統(tǒng)3的空間S中。磁場(chǎng)系統(tǒng)3作為動(dòng)子而發(fā)揮功能，并相對(duì)于作為定子而發(fā)揮功能的直線電動(dòng)機(jī)電樞2向箭頭A方向相對(duì)地移動(dòng)。圖2是關(guān)于圖1所示的直線電動(dòng)機(jī)電樞2而從箭頭Z方向觀察圖1中的Z-Z線的截面時(shí)的示意性的立體圖。在圖2中，以局部剖切的狀態(tài)示出了直線電動(dòng)機(jī)電樞2。直線電動(dòng)機(jī)電樞2具有多個(gè)電樞線圈21和冷卻套22。電樞線圈21沿著作為動(dòng)子發(fā)揮功能的磁場(chǎng)系統(tǒng)3的移動(dòng)方向而配置。電樞線圈21具有未圖示的繞組，電流流經(jīng)繞組，在電流流經(jīng)繞組的情況下電樞線圈21成為發(fā)熱體。在本實(shí)施方式中，直線電動(dòng)機(jī)電樞2還具有配置在筒狀的冷卻套22的內(nèi)部的結(jié)線基板29，多個(gè)電樞線圈21配置在結(jié)線基板29的兩側(cè)，并利用結(jié)線基板29而被電連接。冷卻套22配置在電樞線圈21的表面附近。冷卻套22是圍繞電樞線圈21的周圍的筒狀物，其具有作為將電樞線圈21保持在內(nèi)部的罩(套)的功能和高效率地使來(lái)自電樞線圈21的熱放出到外部的冷卻功能。并且，冷卻套22的內(nèi)部填充有環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑，以便將電樞線圈21固定地保持在冷卻套22內(nèi)。圖3是圖2所示的冷卻套22的一部分的分解立體圖。圖4是示出了圖2所示的直線電動(dòng)機(jī)電樞2的IV-1V’線處的截面的一部分的圖。如圖2至圖4所示，冷卻套22具有:層狀的內(nèi)側(cè)套22a，其位于離電樞線圈21近的一側(cè)；層狀的外側(cè)套22b，其位于離電樞線圈21遠(yuǎn)的一側(cè)；以及間隔壁22c，其將內(nèi)側(cè)套22a和外側(cè)套22b連接起來(lái)。在冷卻套22的內(nèi)部具有由內(nèi)側(cè)套22a、外側(cè)套22b和間隔壁22c劃定而成的多個(gè)制冷劑流路22d。圖5是圖2至圖4所示的內(nèi)側(cè)套22a的一部分的分解立體圖。如圖2、圖4和圖5所示，內(nèi)側(cè)套22a從離電樞線圈21近的一側(cè)起依次具有內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25。利用纖維強(qiáng)化樹(shù)脂形成內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25。例如，內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25是采用環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑將許多根碳纖維等纖維固定成層狀而成的部件。內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25的厚度大約為0.5mm。中央層24具有多個(gè)長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和多個(gè)長(zhǎng)條狀的傳熱減低部24b。纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a的厚度與傳熱減低部24b的厚度實(shí)質(zhì)上相同，厚度為例如
0.3mm。纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a的寬度比傳熱減低部24b的寬度稍窄。以制冷劑流路22d的延長(zhǎng)方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向L，長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和長(zhǎng)條狀的傳熱減低部24b沿著與長(zhǎng)度方向L正交的方向P交替地配置。長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a是采用環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑將許多根碳纖維等纖維固定成長(zhǎng)條狀而成的部件，其比內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25小。傳熱減低部24b是用于減低來(lái)自成為了發(fā)熱體的情況下的電樞線圈21的熱的傳導(dǎo)的部件。傳熱減低部24b由熱傳導(dǎo)率比內(nèi)側(cè)層23、外側(cè)層25和纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a低的材料形成。例如，傳熱減低部24b由密度比纖維強(qiáng)化樹(shù)脂低的聚氨酯樹(shù)脂形成。傳熱減低部24b與長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a同樣地比內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25小。如圖4所示，傳熱減低部24b與間隔壁22c對(duì)置地配置，在內(nèi)側(cè)套22a中配置在厚度方向D的大致中央。對(duì)內(nèi)側(cè)套22a的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。如圖5所示，在內(nèi)側(cè)層23的一個(gè)面上沿著方向P交替地配置長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和長(zhǎng)條狀的傳熱減低部24b。即，沿著方向P成條紋狀地配置長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和長(zhǎng)條狀的傳熱減低部24b。在纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和傳熱減低部24b之上配置外側(cè)層25。此時(shí)，為了提高內(nèi)側(cè)套22a的強(qiáng)度，將外側(cè)層25配置成使構(gòu)成內(nèi)側(cè)層23的纖維的延長(zhǎng)方向與構(gòu)成外側(cè)層25的纖維的延長(zhǎng)方向正交。并且，以例如100 150°C的溫度對(duì)內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25進(jìn)行加熱。如上所述，內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25分別是許多根纖維被環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑固定成層狀而成的部件，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a也是許多根纖維被環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑固定成長(zhǎng)條狀而成的部件。因此，當(dāng)對(duì)內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25進(jìn)行加熱時(shí)，粘接劑熔解。在粘接劑熔解后對(duì)內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25進(jìn)行冷卻。粘接劑由于冷卻而固化，由此將內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25接合，制造出內(nèi)側(cè)套22a。外側(cè)套22b具有與內(nèi)側(cè)套22a相同的結(jié)構(gòu)。即，外側(cè)套22b從離內(nèi)側(cè)套22a近的一側(cè)起依次具有內(nèi)側(cè)層26、中央層27和外側(cè)層28。內(nèi)側(cè)層26、中央層27和外側(cè)層28分別與內(nèi)側(cè)套22a的內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25相同，內(nèi)側(cè)層26具有多個(gè)長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件27a和多個(gè)長(zhǎng)條狀的傳熱減低部27b。纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件27a與纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a相同，傳熱減低部27b與傳熱減低部24b相同。間隔壁22c是采用環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑將許多根碳纖維等纖維固定成層狀而成的部件。間隔壁22c的厚度大約為0.5mm,間隔壁22c的寬度比傳熱減低部24b的寬度稍窄。對(duì)冷卻套22的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，在內(nèi)側(cè)套22a與外側(cè)套22b之間配置多個(gè)間隔壁22c。此時(shí)，隔開(kāi)一定的間隔地在內(nèi)側(cè)套22a與外側(cè)套22b之間配置多個(gè)間隔壁22c。一定的間隔與例如相鄰的兩個(gè)傳熱減低部24b的中心彼此的間隔實(shí)質(zhì)上相同。并且，以例如100 150°C的溫度對(duì)內(nèi)側(cè)套22a、間隔壁22c和外側(cè)套22b進(jìn)行加熱。如上所述，內(nèi)側(cè)套22a的外側(cè)層25、間隔壁22c和外側(cè)套22b的內(nèi)側(cè)層26分別是許多根纖維被環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑固定成層狀而成的部件。因此，當(dāng)對(duì)內(nèi)側(cè)套22a、間隔壁22c和外側(cè)套22b進(jìn)行加熱時(shí)，粘接劑熔解。在粘接劑熔解后對(duì)內(nèi)側(cè)套22a、間隔壁22c和外側(cè)套22b進(jìn)行冷卻。粘接劑由于冷卻而固化，由此將內(nèi)側(cè)套22a、間隔壁22c和外側(cè)套22b接合，制造出冷卻套22。如上所述，構(gòu)成直線電動(dòng)機(jī)電樞2的冷卻套22具有內(nèi)側(cè)套22a、外側(cè)套22b和間隔壁22c，在內(nèi)側(cè)套22a和外側(cè)套22b的內(nèi)部具有傳熱減低部24b、27b。傳熱減低部24b、27b與間隔壁22c對(duì)置地配置，實(shí)質(zhì)上不配置在內(nèi)側(cè)套22a和外側(cè)套22b各自的與制冷劑流路22d對(duì)置的內(nèi)部位置。圖6是示出了包括不具有傳熱減低部24b、27b的冷卻套22’的直線電動(dòng)機(jī)電樞2’的截面的一部分的圖。即，在圖6所示的直線電動(dòng)機(jī)電樞2’中，內(nèi)側(cè)套22a’和外側(cè)套22b’均不具有傳熱減低部24b、27b。圖6中的箭頭H表示來(lái)自電樞線圈21的熱的傳遞方向。在冷卻套22’不具有傳熱減低部24b、27b的情況下，由于來(lái)自電樞線圈21的熱經(jīng)間隔壁22c而傳遞到冷卻套22’的外側(cè)套22b’表面上的與間隔壁22c對(duì)置的部分，因此該部分成為高溫。由于在制冷劑流路22d中流動(dòng)的制冷劑，來(lái)自電樞線圈21的熱不易傳遞至外側(cè)套22b’表面上的與制冷劑流路22d對(duì)置的部分，所以該部分不會(huì)成為高溫。因此，在外側(cè)套22b’表面上交替地產(chǎn)生高溫的部分和非高溫的部分。當(dāng)外側(cè)套22b’表面的溫度變得不均一時(shí)，在將具有直線電動(dòng)機(jī)電樞2’的直線電動(dòng)機(jī)使用于半導(dǎo)體制造裝置等的情況下，由于光的折射率因部位不同而不同，因此有時(shí)無(wú)法制造所希望的半導(dǎo)體等。圖7是示出了包括具有傳熱減低部24b、27b的冷卻套22的直線電動(dòng)機(jī)電樞2的截面的一部分的圖。圖7中的箭頭H表示來(lái)自電樞線圈21的熱的傳遞方向。在冷卻套22具有傳熱減低部24b、27b的情況下，由于傳熱減低部24b、27b將熱的傳遞減低，因此傳遞到間隔壁22c的來(lái)自電樞線圈21的熱容易迂回到冷卻套22的外側(cè)套22b表面上的與制冷劑流路22d對(duì)置的部分。因此外側(cè)套22b表面上的與間隔壁22c對(duì)置的部分不易變成高溫。由于在制冷劑流路22d中流動(dòng)的制冷劑，來(lái)自電樞線圈21的熱不易傳遞到外側(cè)套22b表面上的與制冷劑流路22d對(duì)置的部分，因此該部分不會(huì)成為高溫。因此，外側(cè)套22b表面的溫度變得近于均一。因此，在將具有直線電動(dòng)機(jī)電樞2的直線電動(dòng)機(jī)I使用于半導(dǎo)體制造裝置等的情況下，由于光的折射率幾乎不會(huì)由于部位不同而變化，因此能夠制造所希望的半導(dǎo)體等。在上述的實(shí)施方式中，如采用圖4而進(jìn)行說(shuō)明的那樣，傳熱減低部24b在內(nèi)側(cè)套22a中配置在厚度方向D的大致中央。當(dāng)制冷劑在制冷劑流路22d流動(dòng)時(shí)，由于制冷劑的壓力作用向制冷劑流路22d的外側(cè)，因此制冷劑流路22d膨脹。圖8是示出了制冷劑流路22d膨脹的狀態(tài)的直線電動(dòng)機(jī)電樞2的截面的一部分的圖。當(dāng)制冷劑流路22d膨脹時(shí)，壓縮應(yīng)力Fl和拉伸應(yīng)力F2作用于傳熱減低部24b。當(dāng)傳熱減低部24b在內(nèi)側(cè)套22a的厚度方向D上配置在比中央靠電樞線圈21側(cè)的位置的情況下，由于壓縮應(yīng)力Fl變大，因此傳熱減低部24b被破壞的可能性變高。另一方面，當(dāng)傳熱減低部24b在內(nèi)側(cè)套22a的厚度方向D上配置在比中央靠間隔壁22c側(cè)的位置的情況下，由于拉伸應(yīng)力F2變大，因此傳熱減低部24b被破壞的可能性變高。當(dāng)傳熱減低部24b在內(nèi)側(cè)套22a中配置在厚度方向D的大致中央時(shí)，壓縮應(yīng)力Fl和拉伸應(yīng)力F2實(shí)質(zhì)上變得相等而實(shí)質(zhì)上抵消。因此，優(yōu)選傳熱減低部24b在內(nèi)側(cè)套22a中配置在厚度方向D的大致中央，使得傳熱減低部24b在制冷劑流路22d膨脹的情況下不容易被破壞。另外，在上述的實(shí)施方式中，內(nèi)側(cè)套22a的內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂形成，是采用環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑將許多根例如碳纖維等纖維固定成層狀而成的部件。上述纖維也可以是玻璃纖維。此外，內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25也可以由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂以外的材料形成。例如，內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25也可以由陶瓷或不銹鋼形成。同樣地，在上述的實(shí)施方式中，中央層24中的纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a是采用環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑將許多根例如碳纖維等纖維固定成長(zhǎng)條狀而成的部件。上述纖維也可以是玻璃纖維。此外，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a也可以由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂以外的材料形成。例如，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a也可以由陶瓷或不銹鋼形成?？偠灾?，只要傳熱減低部24b的熱傳導(dǎo)率比內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25以及中央層24的長(zhǎng)條狀的由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂等形成的部件24a的熱傳導(dǎo)率低，則不限定內(nèi)側(cè)層23等的材料。在上述的實(shí)施方式中，將內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25配置成使構(gòu)成內(nèi)側(cè)層23的纖維的延長(zhǎng)方向與構(gòu)成外側(cè)層25的纖維的延長(zhǎng)方向正交。但是，內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25不限定為配置成使構(gòu)成內(nèi)側(cè)層23的纖維的延長(zhǎng)方向與構(gòu)成外側(cè)層25的纖維的延長(zhǎng)方向正交。在上述的實(shí)施方式中，在制造內(nèi)側(cè)套22a時(shí)，以例如100 150°C的溫度對(duì)層疊的內(nèi)側(cè)層23、中央層24和外側(cè)層25進(jìn)行加熱。但是，制造內(nèi)側(cè)套22a時(shí)的加熱溫度不限定于100 150°C。同樣地，在上述的實(shí)施方式中，在制造冷卻套22時(shí)，以例如100 150°C的溫度對(duì)內(nèi)側(cè)套22a、間隔壁22c和外側(cè)套22b進(jìn)行加熱。但是，制造冷卻套22時(shí)的加熱溫度不限定于100 150°C。在上述的實(shí)施方式中，內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25各自的厚度大約為0.5mm，但內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25各自的厚度不限定于大約0.5mm。此外，在上述的實(shí)施方式中，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a的厚度和傳熱減低部24b的厚度實(shí)質(zhì)上相同，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a的寬度比傳熱減低部24b的寬度窄。但是，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a的厚度和傳熱減低部24b的厚度也可以不同，并且纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a的寬度和傳熱減低部24b的寬度也可以相同。不限定纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a與傳熱減低部24b的厚度和寬度。即，在上述的實(shí)施方式中，纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和傳熱減低部24b是例如0.3mm這樣的相同的厚度，但纖維強(qiáng)化樹(shù)脂部件24a和傳熱減低部24b的厚度不限定為0.3mm。在上述的實(shí)施方式中，傳熱減低部24b是聚氨酯樹(shù)脂部件。但是，傳熱減低部24b也可以是聚氨酯樹(shù)脂以外的材料的部件。例如，傳熱減低部24b既可以是空隙，也可以是紙部件。在傳熱減低部24b是空隙的情況下，在圖5所示的傳熱減低部24b的部分什么也不配置。在該情況下，由于傳熱減低部24b的強(qiáng)度與其由聚氨酯樹(shù)脂形成的情況相比變小，因此，優(yōu)選內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25、以及中央層24的長(zhǎng)條狀的由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂形成的部件24a由強(qiáng)度大的不銹鋼形成。當(dāng)內(nèi)側(cè)層23和外側(cè)層25、以及中央層24的長(zhǎng)條狀的由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂形成的部件24a被替換成由不銹鋼形成的部件時(shí)，在制造內(nèi)側(cè)套22a時(shí)的加熱工序中，以例如1000 1500°C的溫度進(jìn)行加熱。通過(guò)該加熱使擴(kuò)散接合作用于內(nèi)側(cè)層23、外側(cè)層25和中央層24的由不銹鋼形成的部件24a彼此之間，通過(guò)該作用使它們接合，制造出內(nèi)側(cè)套22a。另外，上述的加熱工序中的加熱溫度不限定為是1000 1500°C。加熱溫度是使內(nèi)側(cè)層23、外側(cè)層25和中央層24的長(zhǎng)條狀的由不銹鋼形成的部件24a接合的溫度即可。在上述的實(shí)施方式中，間隔壁22c是采用環(huán)氧樹(shù)脂等粘接劑將許多根碳纖維等纖維固定成層狀而成的部件，間隔壁22c的厚度大約為0.5mm。但是，不限定間隔壁22c的材料，也不限定間隔壁22c的厚度。并且，在上述的實(shí)施方式中，間隔壁22c的寬度比傳熱減低部24b的寬度稍窄。但是，不限定間隔壁22c的寬度。在上述的實(shí)施方式中，隔開(kāi)一定的間隔地在內(nèi)側(cè)套22a與外側(cè)套22b之間配置多個(gè)間隔壁22c，一定的間隔與例如相鄰的兩個(gè)傳熱減低部24b的中心彼此的間隔實(shí)質(zhì)上相同。但是，相鄰的兩個(gè)間隔壁22c的間隔也可以根據(jù)部位不同而不同。此外，即使相鄰的兩個(gè)間隔壁22c的間隔不取決于位置而是相同的，也不限定該間隔。在任意情況下，傳熱減低部24b均與間隔壁22c對(duì)置地配置。在上述的實(shí)施方式中，內(nèi)側(cè)套22a和外側(cè)套22b具有相同的結(jié)構(gòu)。但是，只要內(nèi)側(cè)套22a和外側(cè)套22b中的一方具有傳熱減低部24b、27b，則另一方也可以不具有傳熱減低部24b、27b。即使在該情況下，也能夠減輕實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)電樞2的冷卻套22表面的
溫度不均一。在上述的實(shí)施方式中，磁場(chǎng)系統(tǒng)3作為動(dòng)子而發(fā)揮功能，直線電動(dòng)機(jī)電樞2作為定子而發(fā)揮功能，磁場(chǎng)系統(tǒng)3相對(duì)于直線電動(dòng)機(jī)電樞2相對(duì)地運(yùn)動(dòng)。但是，也可以這樣:直線電動(dòng)機(jī)電樞2作為動(dòng)子而發(fā)揮功能，磁場(chǎng)系統(tǒng)3作為定子而發(fā)揮功能，直線電動(dòng)機(jī)電樞2相對(duì)于磁場(chǎng)系統(tǒng)3相對(duì)地移動(dòng)。
權(quán)利要求1.一種直線電動(dòng)機(jī)電樞，其具有:沿著動(dòng)子的移動(dòng)方向配置的發(fā)熱體；和配置在所述發(fā)熱體的表面附近的冷卻套，其特征在于， 所述冷卻套的內(nèi)部具有多個(gè)制冷劑流路，所述多個(gè)制冷劑流路由內(nèi)側(cè)套、外側(cè)套、以及將所述內(nèi)側(cè)套和所述外側(cè)套連接起來(lái)的間隔壁劃定而成，所述內(nèi)側(cè)套位于離所述發(fā)熱體近的一側(cè)，所述外側(cè)套位于離所述發(fā)熱體遠(yuǎn)的一側(cè)， 在所述內(nèi)側(cè)套和所述外側(cè)套中的至少任一方的內(nèi)部以與所述間隔壁對(duì)置的方式配置有傳熱減低部，所述傳熱減低部用于減低來(lái)自所述發(fā)熱體的熱傳導(dǎo)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直線電動(dòng)機(jī)電樞，其中， 在所述內(nèi)側(cè)套的與所述制冷劑流路對(duì)置的內(nèi)部位置和所述外側(cè)套的與所述制冷劑流路對(duì)置的內(nèi)部位置均不配置所述傳 熱減低部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直線電動(dòng)機(jī)電樞，其中， 所述傳熱減低部是空隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的直線電動(dòng)機(jī)電樞，其中， 所述傳熱減低部配置在所述內(nèi)側(cè)套和所述外側(cè)套中的至少任一方的厚度方向的中央。
5.一種直線電動(dòng)機(jī)電樞，其具有:沿著動(dòng)子的移動(dòng)方向配置的發(fā)熱體；和配置在所述發(fā)熱體的表面附近的冷卻套，其特征在于， 所述冷卻套的內(nèi)部具有多個(gè)制冷劑流路，所述多個(gè)制冷劑流路由內(nèi)側(cè)套、外側(cè)套、以及將所述內(nèi)側(cè)套和所述外側(cè)套連接起來(lái)的間隔壁劃定而成，所述內(nèi)側(cè)套位于離所述發(fā)熱體近的一側(cè)，所述外側(cè)套位于離所述發(fā)熱體遠(yuǎn)的一側(cè)， 所述內(nèi)側(cè)套和所述外側(cè)套中的至少任一方是從離所述發(fā)熱體近的一側(cè)起依次層疊至少內(nèi)側(cè)層、中央層和外側(cè)層這三層而構(gòu)成的， 所述內(nèi)側(cè)層和所述外側(cè)層由纖維強(qiáng)化樹(shù)脂、陶瓷或不銹鋼形成， 所述中央層通過(guò)將以所述制冷劑流路的延長(zhǎng)方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的長(zhǎng)條狀的纖維強(qiáng)化樹(shù)月旨、陶瓷或不銹鋼的部件、和長(zhǎng)條狀的傳熱減低部沿著與該長(zhǎng)度方向正交的方向交替配置而形成， 所述傳熱減低部與所述間隔壁對(duì)置地配置從而減低來(lái)自所述發(fā)熱體的熱傳導(dǎo)。
6.一種直線電動(dòng)機(jī)，其特征在于， 所述直線電動(dòng)機(jī)具備:權(quán)利要求1至權(quán)利要求5中的任一項(xiàng)所述的直線電動(dòng)機(jī)電樞；和磁場(chǎng)系統(tǒng)，所述磁場(chǎng)系統(tǒng)隔著磁空隙而與所述直線電動(dòng)機(jī)電樞對(duì)置地配置，并且該磁場(chǎng)系統(tǒng)交替地順次配置有彼此極性不同的多個(gè)永磁鐵， 以所述直線電動(dòng)機(jī)電樞和所述磁場(chǎng)系統(tǒng)中的任一方作為定子，以另一方作為動(dòng)子，使所述直線電動(dòng)機(jī)電樞和所述磁場(chǎng)系統(tǒng)相對(duì)地運(yùn)動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種直線電動(dòng)機(jī)電樞和直線電動(dòng)機(jī)，其能夠?qū)ε渲迷诶鋮s套附近的發(fā)熱體進(jìn)行冷卻并減少冷卻套表面的溫度不均一。直線電動(dòng)機(jī)電樞(2)具有沿著磁場(chǎng)系統(tǒng)的移動(dòng)方向配置的電樞線圈(21)；和配置在電樞線圈(21)的表面附近的冷卻套(22)。冷卻套(22)的內(nèi)部具有多個(gè)制冷劑流路(22d)，所述多個(gè)制冷劑流路被位于離電樞線圈近的一側(cè)的內(nèi)側(cè)套(22a)、位于離電樞線圈遠(yuǎn)的一側(cè)的外側(cè)套(22b)、以及將內(nèi)側(cè)套(22a)和外側(cè)套(22b)連接起來(lái)的間隔壁(22c)劃定而成。在內(nèi)側(cè)套和外側(cè)套中的至少任一方的內(nèi)部與間隔壁對(duì)置地配置有傳熱減低部(24b、27b)，所述傳熱減低部用于減低來(lái)自電樞線圈的熱傳導(dǎo)。
文檔編號(hào)H02K41/03GK203166726SQ20132016232
公開(kāi)日2013年8月28日 申請(qǐng)日期2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月30日
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