專利名稱：線性致動(dòng)器以及電子部件安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使可動(dòng)部沿直動(dòng)方向移動(dòng)的線性致動(dòng)器、以及利用吸附嘴吸附電子部件并移動(dòng)，從而向基板上搭載的電子部件安裝裝置。
背景技術(shù)：
作為向基板上搭載電子部件的電子部件安裝裝置，具有帶吸附嘴的搭載頭，利用該吸附嘴吸附電子部件，向基板上搭載。電子部件安裝裝置通過(guò)使搭載頭的吸附嘴沿與基板的表面正交的方向移動(dòng)，從而對(duì)位于部件供給裝置上的部件進(jìn)行吸附，然后，使搭載頭沿與基板的表面平行的方向相對(duì)地移動(dòng)，在到達(dá)被吸附部件的搭載位置后，通過(guò)使搭載頭的吸附嘴沿與基板的表面正交的方向移動(dòng)，接近基板，從而將所吸附的電子部件向基板上搭載。在這里，在電子部件安裝裝置中，作為使搭載頭的吸附嘴沿與基板的表面正交的方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，存在使用線性致動(dòng)器的機(jī)構(gòu)。例如，在專利文獻(xiàn)I中記載了下述線性致動(dòng)器，其由固定在外筒的內(nèi)部，沿軸向排列的多個(gè)中空線圈、以及配置在中空線圈的更內(nèi)側(cè)，固定有沿軸向排列的多個(gè)磁體的電動(dòng)機(jī)軸構(gòu)成，通過(guò)使多個(gè)中空線圈選擇性地勵(lì)磁，從而使固定有磁體的電動(dòng)機(jī)軸沿軸向移動(dòng)。另外，專利文獻(xiàn)I中記載的線性致動(dòng)器具有:引導(dǎo)部，其具有引導(dǎo)軸，該引導(dǎo)軸與電動(dòng)機(jī)軸平行地配置，利用滑動(dòng)軸承對(duì)兩側(cè)進(jìn)行支撐；以及連結(jié)部件，其將引導(dǎo)軸和電動(dòng)機(jī)軸的端部連結(jié)。專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)2009 - 171708號(hào)公報(bào)在這里，專利文獻(xiàn)I中記載的線性致動(dòng)器，為了構(gòu)成為在使電動(dòng)機(jī)軸和中空線圈相對(duì)移動(dòng)的情況下，引導(dǎo)軸不從滑動(dòng)軸承拔出，而成為引導(dǎo)軸從滑動(dòng)軸承凸出的構(gòu)造。另夕卜，為了在電動(dòng)機(jī)軸和中空線圈之間的相對(duì)移動(dòng)范圍的整個(gè)區(qū)域內(nèi)，使引導(dǎo)軸不從滑動(dòng)軸承拔出，從而使引導(dǎo)軸的凸出量也變大，裝置結(jié)構(gòu)變大。另外，如果減小線圈的寬度，則可以使裝置小型化，但推力變小。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述課題而提出的，其目的在于，提供一種可以同時(shí)更高水平地實(shí)現(xiàn)推力的提高和小型化的線性致動(dòng)器、以及可以實(shí)現(xiàn)小型化的電子部件安裝裝置。本發(fā)明的第I方式是一種線性致動(dòng)器，其特征在于，具有:中空的外筒；多個(gè)中空線圈，它們放置在所述外筒的內(nèi)部，沿所述外筒的軸向相鄰；電動(dòng)機(jī)軸，其向所述中空線圈的內(nèi)部插入，沿所述軸向排列多個(gè)磁體；連結(jié)部件，其與所述電動(dòng)機(jī)軸的端部連結(jié)；引導(dǎo)軸，其固定在所述外筒上，向所述連結(jié)部件中插入且沿軸向延伸；輸出軸，其與所述連結(jié)部件連結(jié)；以及控制部，其選擇性地使所述中空線圈勵(lì)磁，使所述中空線圈和所述電動(dòng)機(jī)軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)，使所述外筒和所述輸出軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)，所述電動(dòng)機(jī)軸在所述軸向上，在與所述中空線圈相比更長(zhǎng)的范圍內(nèi)配置所述磁體。另外，在上述線性致動(dòng)器中，優(yōu)選具有固定在所述連結(jié)部件上的標(biāo)尺、以及固定在所述外筒上的檢測(cè)器，還具有對(duì)所述電動(dòng)機(jī)軸和所述中空線圈之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)的相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)。另外，在上述線性致動(dòng)器中，優(yōu)選還具有軸承，其配置在所述連結(jié)部件和所述引導(dǎo)軸之間的連結(jié)部上，以可以使所述引導(dǎo)軸相對(duì)于所述連結(jié)部件移動(dòng)的狀態(tài)支撐所述引導(dǎo)軸。本發(fā)明的第2方式是一種電子部件安裝裝置，其向基板搭載電子部件，其特征在于，具有:電子部件供給裝置，其對(duì)向所述基板上搭載的所述電子部件進(jìn)行供給；線性致動(dòng)器；搭載頭，其具有至少I(mǎi)組與所述線性致動(dòng)器的輸出軸連結(jié)的吸附嘴，利用所述線性致動(dòng)器，使所述吸附嘴沿與所述基板的表面正交的方向移動(dòng)，使所述吸附嘴向?qū)乃鲭娮硬考┙o裝置供給的電子部件進(jìn)行吸附的吸附區(qū)域移動(dòng)；以及XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述搭載頭沿與所述基板的表面平行的方向移動(dòng)，所述線性致動(dòng)器具有:中空的外筒；多個(gè)中空線圈，它們放置在所述外筒的內(nèi)部，沿所述外筒的軸向相鄰；電動(dòng)機(jī)軸，其向所述中空線圈的內(nèi)部插入，沿所述軸向排列多個(gè)磁體；連結(jié)部件，其與所述電動(dòng)機(jī)軸的端部連結(jié)；引導(dǎo)軸，其固定在所述外筒上，向所述連結(jié)部件中插入且沿軸向延伸；輸出軸，其與所述連結(jié)部件連結(jié)；以及控制部，其選擇性地使所述中空線圈勵(lì)磁，使所述中空線圈和所述電動(dòng)機(jī)軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)，使所述外筒和所述輸出軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)，所述電動(dòng)機(jī)軸在所述軸向上，在與所述中空線圈相比更長(zhǎng)的范圍內(nèi)配置所述磁體。另外，在上述電子部件安裝裝置中，優(yōu)選所述線性致動(dòng)器具有固定在所述連結(jié)部件上的標(biāo)尺、以及固定在所述外筒上的檢測(cè)器，還具有對(duì)所述電動(dòng)機(jī)軸和所述中空線圈之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)的相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)。另外，在上述電子部件安裝裝置中，優(yōu)選所述線性致動(dòng)器還具有軸承，其配置在所述連結(jié)部件和所述弓I導(dǎo)軸之間的連結(jié)部上，以可以使所述弓I導(dǎo)軸相對(duì)于所述連結(jié)部件移動(dòng)的狀態(tài)支撐所述引導(dǎo)軸。發(fā)明的效果本發(fā)明所涉及的線性致動(dòng)器具有下述效果，S卩，可以同時(shí)高水平地實(shí)現(xiàn)推力的提高和小型化。另外，本發(fā)明所涉及的電子部件安裝裝置具有可以實(shí)現(xiàn)小型化的效果。


圖1是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。圖3是表示電子部件安裝裝置的部件供給單元的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4是表示電子部件安裝裝置的搭載頭的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖5是表示電子部件安裝裝置的搭載頭的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。圖6是表示吸附嘴驅(qū)動(dòng)部的線性致動(dòng)器的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖7是表示圖6所示的線性致動(dòng)器的固定件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖8是表示圖6所示的線性致動(dòng)器的可動(dòng)件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖9是對(duì)線性致動(dòng)器的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。圖10是表示線性致動(dòng)器的其他例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖11是表示圖10所示的線性致動(dòng)器的可動(dòng)件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖12是表示線性致動(dòng)器的其他例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖13是表示圖12所示的線性致動(dòng)器的固定件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖14是表示圖12所示的線性致動(dòng)器的可動(dòng)件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖15是表示將圖12所示的線性致動(dòng)器的一部分放大的示意圖。圖16是表示線性致動(dòng)器的其他例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖17是表示圖16所示的線性致動(dòng)器的固定件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。符號(hào)的說(shuō)明8 基板10電子部件安裝裝置12基板輸送部14、14f、14r部件供給單元l5、l5f、l5r 搭載頭16XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)22、22f、22r X 軸驅(qū)動(dòng)部24Y軸驅(qū)動(dòng)部30搭載頭主體31搭載頭支撐體32吸附嘴32a軸(輸出軸)34吸附嘴驅(qū)動(dòng)部(線性致動(dòng)器)38激光識(shí)別裝置38a 光源38b受光元件60控制部62搭載頭控制部64部件供給控制部90、90a電子部件供給裝置100線性致動(dòng)器102 Θ軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)110固定件112可動(dòng)件120 外筒122中空線圈單元123中空線圈124、125 引導(dǎo)軸126電動(dòng)機(jī)軸128 磁體130、132 連結(jié)部件138 軸承
140相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)142檢測(cè)器144 標(biāo)尺150 主體152 側(cè)壁
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖，對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式(以下稱為實(shí)施方式)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此夕卜，本發(fā)明并不受下述實(shí)施方式限定。另外，在下述實(shí)施方式中的構(gòu)成要素中，包含本領(lǐng)域技術(shù)人員可以容易地想到的要素、在實(shí)質(zhì)上相同的要素、所謂等同范圍的要素。另外，在下述實(shí)施方式中公開(kāi)的構(gòu)成要素可以適當(dāng)組合。下面，基于附圖，對(duì)本發(fā)明所涉及的線性致動(dòng)器以及電子部件安裝裝置的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，本發(fā)明并不受本實(shí)施方式限定。圖1是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。圖3是表示電子部件安裝裝置的部件供給單元的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖1及圖2所示的電子部件安裝裝置10是向基板8上搭載電子部件的裝置。電子部件安裝裝置10具有基板輸送部12、部件供給單元14f、14r、搭載頭15f、15r、以及XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16。XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16具有X軸驅(qū)動(dòng)部22f、22r和Y軸驅(qū)動(dòng)部24。在這里，本實(shí)施方式的電子部件安裝裝置10如圖1所示，具有部件供給單元14f、14r、搭載頭15f、15r以及X軸驅(qū)動(dòng)部22f、22r。如上述所示，在電子部件安裝裝置10中，對(duì)于部分結(jié)構(gòu)各具有2套，但在圖2中，為了更容易理解地示出各部分的結(jié)構(gòu)，而省略部件供給單元14r、搭載頭15r、X軸驅(qū)動(dòng)部22r的圖示。在電子部件安裝裝置10中，部件供給單元Hf、搭載頭15f、X軸驅(qū)動(dòng)部22f成為配置在電子部件安裝裝置10前側(cè)的I個(gè)模塊，部件供給單元14r、搭載頭15r、X軸驅(qū)動(dòng)部22r成為配置在電子部件安裝裝置10后側(cè)的I個(gè)模塊。另外，以下，在不對(duì)2個(gè)部件供給單元14f、14r特別地區(qū)分的情況下，作為部件供給單元14表示，在不對(duì)2個(gè)搭載頭15f、15r特別地區(qū)分的情況下，作為搭載頭15表示，在不對(duì)2個(gè)X軸驅(qū)動(dòng)部22f、22r特別地區(qū)分的情況下，作為X軸驅(qū)動(dòng)部22表示。基板8只要是搭載電子部件的部件即可，其結(jié)構(gòu)不特別地限定。本實(shí)施方式的基板8是板狀部件，在表面設(shè)置有配線圖案。在設(shè)置于基板8上的配線圖案的表面上，附著作為利用回流而將板狀部件的配線圖案和電子部件接合的接合部件的焊料。另外，在基板8上，還形成使電子部件插入的通孔?；遢斔筒?2是使基板8在圖中的X軸方向上輸送的輸送機(jī)構(gòu)?；遢斔筒?2具有:導(dǎo)軌，其沿X軸方向延伸；輸送機(jī)構(gòu)，其支撐基板8，使基板8沿導(dǎo)軌移動(dòng)?；遢斔筒?2以基板8的搭載對(duì)象面與搭載頭15相對(duì)的朝向，利用輸送機(jī)構(gòu)使基板8沿導(dǎo)軌移動(dòng)，從而使基板8沿X軸方向輸送?；遢斔筒?2將從向電子部件安裝裝置10供給基板8的設(shè)備供給來(lái)的基板8，輸送至導(dǎo)軌上的規(guī)定位置。搭載頭15在上述規(guī)定位置將電子部件向基板8的表面上搭載。基板輸送部12在向輸送至上述規(guī)定位置的基板8上搭載電子部件后，將基板8向進(jìn)行下一個(gè)工序的裝置輸送。此外，作為基板輸送部12的輸送機(jī)構(gòu)，可以使用各種結(jié)構(gòu)。例如，可以使用將輸送機(jī)構(gòu)一體化的傳送帶方式的輸送機(jī)構(gòu)，在這種方式的輸送機(jī)構(gòu)中，將沿基板8的輸送方向配置的導(dǎo)軌和沿上述導(dǎo)軌旋轉(zhuǎn)的環(huán)形帶組合，以在上述環(huán)形帶上搭載基板8的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。部件供給單元14具有:多個(gè)電子部件供給裝置(以下簡(jiǎn)稱為“部件供給裝置”)90、90a，其保持多個(gè)向基板8上搭載的電子部件，如圖3所示，成為可向搭載頭15供給，即，可由搭載頭15吸附的狀態(tài)；以及支撐臺(tái)92，其對(duì)多個(gè)部件供給裝置90、90a進(jìn)行保持。支撐臺(tái)92可以搭載多個(gè)部件供給裝置90，或搭載部件供給裝置90、90a的其他裝置(例如，測(cè)量裝置或照相機(jī)等)。在部件供給單元14中，保持在支撐臺(tái)92上的多個(gè)部件供給裝置90、90a，由要搭載的電子部件種類、保持電子部件的機(jī)構(gòu)或者供給機(jī)構(gòu)不同的多種部件供給裝置90構(gòu)成。另外，部件供給單元14也可以具有多個(gè)同一種類的部件供給裝置90、90a。另外，優(yōu)選部件供給單元14構(gòu)成為相對(duì)于裝置主體可拆卸。另外，在部件供給裝置90中，使用向保持帶中粘貼徑向引線型電子部件的引線而構(gòu)成的電子部件保持帶，向搭載頭15供給徑向引線型電子部件。部件供給裝置90a是一種保持帶供給器，其對(duì)電子部件保持帶進(jìn)行保持，對(duì)所保持的電子部件保持帶進(jìn)行輸送，使所保持的徑向引線型電子部件移動(dòng)至可由搭載頭15的吸附嘴吸附電子部件的吸附區(qū)域(吸附位置)。在部件供給裝置90中，通過(guò)將移動(dòng)至吸附區(qū)域的徑向引線型電子部件的引線切斷并分離，從而可以得到能夠在規(guī)定位置對(duì)在該保持帶上固定引線的徑向引線型電子部件進(jìn)行吸附的狀態(tài)，可以利用搭載頭15的吸附嘴吸附該徑向引線型電子部件。在部件供給裝置90a中，使用向保持帶中粘貼電子部件而構(gòu)成的電子部件收容帶，向搭載頭15供給電子部件。此外，電子部件收容帶在帶體上形成多個(gè)儲(chǔ)存室，在該儲(chǔ)存室中存儲(chǔ)電子部件。部件供給裝置90a是一種保持帶供給器，其對(duì)電子部件收容帶進(jìn)行保持，對(duì)所保持的電子部件保持帶進(jìn)行輸送，使儲(chǔ)存室移動(dòng)至可以利用搭載頭15的吸附嘴吸附電子部件的吸附區(qū)域。此外，通過(guò)使儲(chǔ)存室向吸附區(qū)域移動(dòng)，從而可以得到收容在該儲(chǔ)存室內(nèi)的電子部件在規(guī)定位置露出的狀態(tài)，可以利用搭載頭15的吸附嘴吸附該電子部件。在這里，本實(shí)施方式的部件供給單元14具有供給徑向引線型電子部件的部件供給裝置90和對(duì)粘貼在收容帶上的電子部件進(jìn)行供給的部件供給裝置90a，但并不限定于此。部件供給單元也可以僅具有部件供給裝置90或者部件供給裝置90a中的任一個(gè)。另外，部件供給單元也可以具有碗式供給器。搭載頭15是對(duì)保持在部件供給單元14上的電子部件(保持在部件供給裝置90上的徑向引線型電子部件或者保持在部件供給裝置90a上的電子部件)進(jìn)行吸附，將所吸附的電子部件向利用基板輸送部12移動(dòng)至規(guī)定位置的基板8上搭載的機(jī)構(gòu)。此外，對(duì)于搭載頭15的結(jié)構(gòu),在后面記述。XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16是使搭載頭15f、15r沿圖2中的X軸方向以及Y軸方向，即，在與基板8的表面平行的面上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有X軸驅(qū)動(dòng)部22f、22r和Y軸驅(qū)動(dòng)部24。X軸驅(qū)動(dòng)部22f與搭載頭15f連結(jié)，使搭載頭15f沿X軸方向移動(dòng)。X軸驅(qū)動(dòng)部22r與搭載頭15r連結(jié)，使搭載頭15r沿X軸方向移動(dòng)。Y軸驅(qū)動(dòng)部24經(jīng)由X軸驅(qū)動(dòng)部22與搭載頭15連結(jié)，通過(guò)使X軸驅(qū)動(dòng)部22f沿Y軸方向移動(dòng)，從而使搭載頭15f沿Y軸方向移動(dòng)，通過(guò)使X軸驅(qū)動(dòng)部22r沿Y軸方向移動(dòng)，從而使搭載頭15r沿Y軸方向移動(dòng)。XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16通過(guò)使搭載頭15f沿XY軸方向移動(dòng)，從而可以使搭載頭15f向與基板8相對(duì)的位置，或者與部件供給單元Hf相對(duì)的位置移動(dòng)。XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16通過(guò)使搭載頭15r沿XY軸方向移動(dòng)，從而可以使搭載頭15r向與基板8相對(duì)的位置，或者與部件供給單元14ι■相對(duì)的位置移動(dòng)。另外，XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16通過(guò)使搭載頭15移動(dòng)，從而對(duì)搭載頭15和基板8之間的相對(duì)位置進(jìn)行調(diào)整。由此，可以使搭載頭15所保持的電子部件向基板8表面的任意位置移動(dòng)，可以將電子部件向基板8表面的任意位置搭載。此外，作為X軸驅(qū)動(dòng)部22，可以使用使搭載頭15向規(guī)定方向移動(dòng)的各種機(jī)構(gòu)。作為Y軸驅(qū)動(dòng)部24，可以使用使X軸驅(qū)動(dòng)部22向規(guī)定方向移動(dòng)的各種機(jī)構(gòu)。作為使對(duì)象物向規(guī)定方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，例如可以使用線性電動(dòng)機(jī)、齒條與齒輪、使用滾珠絲杠的輸送機(jī)構(gòu)、利用傳動(dòng)帶的輸送機(jī)構(gòu)等。電子部件安裝裝置10通過(guò)具有2個(gè)搭載頭15f、15r，從而可以向I個(gè)基板8上交替地搭載電子部件。如上述所示，通過(guò)利用2個(gè)搭載頭15交替地搭載電子部件80，從而可以在一個(gè)搭載頭向基板8搭載電子部件的期間，由另一個(gè)搭載頭對(duì)位于部件供給裝置上的電子部件進(jìn)行吸附。由此，可以進(jìn)一步縮短不向基板8搭載電子部件80的時(shí)間，可以高效地搭載電子部件80。下面，使用圖4及圖5，對(duì)搭載頭15的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示電子部件安裝裝置的搭載頭的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖5是表示電子部件安裝裝置的搭載頭的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。此外，在圖4中，將控制電子部件安裝裝置10的各種控制部和部件供給單元14的I個(gè)部件供給裝置90 —起示出。搭載頭15如圖4及圖5所示，具有搭載頭主體30和激光識(shí)別裝置38。電子部件安裝裝置10如圖4所示，具有控制部60、搭載頭控制部62以及部件供給控制部64。另外，電子部件安裝裝置10與電源連接，使用控制部60、搭載頭控制部62、部件供給控制部64以及各種電路，將從電源供給的電力向各部分供給。對(duì)于控制部60、搭載頭控制部62、部件供給控制部64，在后面記述。部件供給裝置90使保持在電子部件保持帶中的電子部件80露出。部件供給裝置90通過(guò)將電子部件保持帶拉出，并使其移動(dòng)，從而使保持在電子部件保持帶中的電子部件80移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，部件供給裝置90的Y軸方向的前端附近，成為搭載頭15的吸附嘴對(duì)電子部件保持帶中保持的電子部件80進(jìn)行吸附的吸附區(qū)域。另外，在部件供給裝置90a的情況下也相同地 ，使規(guī)定的位置成為搭載頭15的吸附嘴對(duì)電子部件收容帶中保持的電子部件80進(jìn)行吸附的吸附區(qū)域。搭載頭主體30具有對(duì)各部分進(jìn)行支撐的搭載頭支撐體31、多個(gè)吸附嘴32以及吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34。在本實(shí)施方式的搭載頭主體30上，如圖5所示，6根吸附嘴32配置為一列。6根吸附嘴32沿與X軸平行的方向排列。搭載頭支撐體31是與X軸驅(qū)動(dòng)部22連結(jié)的支撐部件，對(duì)吸附嘴32以及吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34進(jìn)行支撐。此外，搭載頭支撐體31對(duì)激光識(shí)別裝置38進(jìn)行支撐。吸附嘴32是對(duì)電子部件80進(jìn)行吸附、保持的吸附機(jī)構(gòu)。吸附嘴32在前端具有開(kāi)口 33，通過(guò)從該開(kāi)口 33吸引空氣，從而在前端吸附、保持電子部件80。此外，吸附嘴32具有軸32a，其形成開(kāi)口 33，與吸附電子部件80的前端部連結(jié)。軸32a是支撐前端部的棒狀部件，沿Z軸方向延伸而配置。軸32a在內(nèi)部配置將開(kāi)口 33和吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34的吸引機(jī)構(gòu)連接的空氣管(配管)。吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34使吸附嘴32沿Z軸方向移動(dòng)，并在吸附嘴32的開(kāi)口 33處對(duì)電子部件80進(jìn)行吸附。在這里，Z軸是與XY平面正交的軸。此外，Z軸成為與基板的表面正交的方向。另外，吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34在電子部件80安裝時(shí)等使吸附嘴32沿Θ方向旋轉(zhuǎn)。所謂Θ方向，即與以Z軸為中心的圓的圓周方向平行的方向，其中，Z軸是與Z軸驅(qū)動(dòng)部使吸附嘴32移動(dòng)的方向平行的軸。此外，Θ方向是吸附嘴32的轉(zhuǎn)動(dòng)方向。吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34具備具有使Z軸方向?yàn)轵?qū)動(dòng)方向的線性致動(dòng)器(直動(dòng)線性電動(dòng)機(jī))的機(jī)構(gòu)，通過(guò)利用線性致動(dòng)器使吸附嘴32的軸32a沿Z軸方向移動(dòng)，從而使吸附嘴32的前端部的開(kāi)口 33向Z軸方向移動(dòng)。對(duì)于線性致動(dòng)器，在后面記述。另外，在吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34中，作為使吸附嘴32沿Θ方向旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，具有例如由電動(dòng)機(jī)和與軸32a連結(jié)的傳遞要素構(gòu)成的機(jī)構(gòu)。吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34將從電動(dòng)機(jī)輸出的驅(qū)動(dòng)力，利用傳遞要素向軸32a傳遞，通過(guò)使軸32a向Θ方向旋轉(zhuǎn)，從而還使吸附嘴32的前端部向Θ方向旋轉(zhuǎn)。在吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34中，作為利用吸附嘴32的開(kāi)口 33吸附電子部件80的機(jī)構(gòu)，即吸引機(jī)構(gòu)，例如存在下述機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)具有與吸附嘴32的開(kāi)口 33連結(jié)的空氣管、與該空氣管連接的泵、以及對(duì)空氣管的管路的開(kāi)閉進(jìn)行切換的電磁閥。吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34利用泵對(duì)空氣管的空氣進(jìn)行吸引，通過(guò)對(duì)電磁閥的開(kāi)閉進(jìn)行切換，從而對(duì)是否從開(kāi)口 33吸引空氣進(jìn)行切換。吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34通過(guò)打開(kāi)電磁閥，從開(kāi)口 33吸引空氣，從而使開(kāi)口 33吸附電子部件80，通過(guò)關(guān)閉電磁閥，不從開(kāi)口 33吸引空氣，從而成為將開(kāi)口 33處吸附的電子部件80釋放，即不利用開(kāi)口 33吸附電子部件80的狀態(tài)。另外，搭載頭主體30也可以還具有距離傳感器，其與搭載頭支撐體31 —起移動(dòng)，對(duì)自身和與自身相對(duì)的位置上配置的部件即基板8之間的距離進(jìn)行檢測(cè)。搭載頭主體30可以通過(guò)利用距離傳感器對(duì)距離進(jìn)行檢測(cè)，從而對(duì)搭載頭支撐體31和基板8之間的相對(duì)位置、以及搭載頭支撐體31和部件供給裝置90、90a之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)。此外，在本實(shí)施方式中，基于距離傳感器和基板8等的距離，利用搭載頭控制部62進(jìn)行運(yùn)算，從而對(duì)搭載頭支撐體31和基板8等的距離進(jìn)行計(jì)算。激光識(shí)別裝置38具有光源38a和受光元件38b。激光識(shí)別裝置38內(nèi)置在托架50中。托架50如圖4所示，與搭載頭支撐體31的下側(cè)、基板8以及部件供給裝置90側(cè)連結(jié)。激光識(shí)別裝置38是通過(guò)向利用搭載頭主體30的吸附嘴32吸附的電子部件80照射激光，而對(duì)電子部件80的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的裝置。在這里，所謂電子部件80的狀態(tài)，是指電子部件80的形狀、是否由吸附嘴32以正確的姿態(tài)吸附了電子部件80、是否在供給器部28的規(guī)定位置配置了由吸附嘴32吸附的對(duì)象電子部件80、是否向基板8上的規(guī)定位置搭載了由吸附嘴32吸附的電子部件80等。光源38a是輸出激光的發(fā)光元件。受光元件38b位于Z軸方向上的位置、即高度相同的位置，配置在與光源38a相對(duì)的位置。下面，回到圖4，對(duì)電子部件安裝裝置10的裝置結(jié)構(gòu)的控制功能進(jìn)行說(shuō)明。電子部件安裝裝置10如圖4所示，作為控制功能，具有控制部60、搭載頭控制部62、部件供給控制部64。各種控制部分別由CPU、R0M及RAM等具有運(yùn)算處理功能和存儲(chǔ)功能的部件構(gòu)成。另夕卜，在本實(shí)施方式中，為了方便說(shuō)明而作為多個(gè)控制部，但也可以作為I個(gè)控制部。另外，在將電子部件安裝裝置10的控制功能作為I個(gè)控制部的情況下，可以由I個(gè)運(yùn)算裝置實(shí)現(xiàn)，也可以由多個(gè)運(yùn)算裝置實(shí)現(xiàn)?？刂撇?0與電子部件安裝裝置10的各部分連接，基于所輸入的操作信號(hào)、由電子部件安裝裝置10的各部分檢測(cè)出的信息，執(zhí)行所存儲(chǔ)的程序，對(duì)各部分的動(dòng)作進(jìn)行控制。控制部60例如對(duì)基板8的輸送動(dòng)作、XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16的搭載頭15驅(qū)動(dòng)動(dòng)作、激光識(shí)別裝置38的形狀檢測(cè)動(dòng)作等進(jìn)行控制。另外，控制部60如上述所示向搭載頭控制部62發(fā)送各種指示，對(duì)搭載頭控制部62的控制動(dòng)作進(jìn)行控制?？刂撇?0還對(duì)搭載頭控制部62及部件供給控制部64的控制動(dòng)作進(jìn)行控制。搭載頭控制部62與吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34、在搭載頭支撐體31上配置的各種傳感器以及控制部60連接，對(duì)吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34進(jìn)行控制，對(duì)吸附嘴32的動(dòng)作進(jìn)行控制。搭載頭控制部62基于從控制部60供給的操作指示以及各種傳感器(例如，距離傳感器)的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)吸附嘴32的電子部件吸附/釋放動(dòng)作、各吸附嘴32的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作、Z軸方向的移動(dòng)動(dòng)作進(jìn)行控制。部件供給控制部64對(duì)部件供給單元14的電子部件80的供給動(dòng)作進(jìn)行控制。部件供給控制部64可以在部件供給裝置90、90a上分別設(shè)置，也可以利用I個(gè)部件供給控制部64對(duì)所有的部件供給裝置90、90a進(jìn)行控制。例如，部件供給控制部64對(duì)部件供給裝置90的電子部件保持帶的拉出動(dòng)作(移動(dòng)動(dòng)作)、引線的切斷動(dòng)作以及電子部件的保持動(dòng)作進(jìn)行控制。另外，部件供給控制部64對(duì)部件供給裝置90a的電子部件收容帶的拉出動(dòng)作(移動(dòng)動(dòng)作)等進(jìn)行控制。部件供給控制部64基于控制部60的指示，執(zhí)行各種動(dòng)作。部件供給控制部64通過(guò)進(jìn)行電子部件保持帶或者電子部件收容帶的拉出動(dòng)作，從而對(duì)電子部件保持帶或者電子部件收容帶的移動(dòng)進(jìn)行控制。電子部件安裝裝置10如上述所示構(gòu)成。下面，使用圖6至圖9，對(duì)吸附嘴驅(qū)動(dòng)裝置34的線性致動(dòng)器100進(jìn)行說(shuō)明。在這里，圖6是表示吸附嘴驅(qū)動(dòng)部的線性致動(dòng)器的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖7是表示圖6所示的線性致動(dòng)器的固定件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖8是表示圖6所示的線性致動(dòng)器的可動(dòng)件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖9是對(duì)線性致動(dòng)器的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。如圖6所示，在吸附嘴驅(qū)動(dòng)裝置34中，在軸32a上具有線性致動(dòng)器100和Θ方向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)102。另外，吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34如上述所示還具有吸引機(jī)構(gòu)。Θ方向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)102如上述所示使軸32a沿Θ方向旋轉(zhuǎn)。此外，Θ方向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)102經(jīng)由可沿Z軸方向自由移動(dòng)的滑塊機(jī)構(gòu)，與軸32a連結(jié)。由此，Θ方向旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)102以能夠使軸32a沿Z軸方向移動(dòng)的狀態(tài)對(duì)軸32a進(jìn)行支撐，且可以使軸32a沿Θ方向旋轉(zhuǎn)。線性致動(dòng)器100具有固定件110和可動(dòng)件112。固定件110固定在作為支撐機(jī)構(gòu)的搭載頭主體31上。可動(dòng)件112相對(duì)于固定件110沿Z軸方向相對(duì)移動(dòng)。固定件110如圖6及圖7所示，具有外筒120、中空線圈單元122、引導(dǎo)軸124、125以及相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140的檢測(cè)器142?？蓜?dòng)件112如圖6及圖8所示，具有電動(dòng)機(jī)軸126、連結(jié)部件130、132、4個(gè)軸承138、以及相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140的標(biāo)尺144。下面，使用圖6至圖8，對(duì)各部分進(jìn)行說(shuō)明。外筒120是固定在搭載頭支撐部31上的支撐部，具有主體150和側(cè)壁152。主體150的形狀為，使Z軸方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的中空長(zhǎng)方體的箱形狀的面積最大的面開(kāi)放，并進(jìn)一步使長(zhǎng)度方向的面的一部分向外側(cè)凸出。側(cè)壁152是板狀部件，與主體150的最大面連結(jié)。此外，側(cè)壁152設(shè)置2個(gè)，與主體150的最大的2個(gè)面分別連結(jié)。外筒120通過(guò)將主體150的一個(gè)面由側(cè)壁152堵塞,從而成為Z軸方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的中空長(zhǎng)方體，成為在面積最大的面上配置有側(cè)壁152的箱形狀。另外，外筒120的主體150，在成為短邊的面，即與Z軸正交的面上，形成有使輸出軸32a插入的孔154。中空線圈單元122如圖6所示，多個(gè)中空線圈123沿Z軸方向相鄰配置。對(duì)于中空線圈單元122的中空線圈123，與側(cè)壁152相對(duì)的面固定在側(cè)壁152上。S卩，中空線圈123支撐在側(cè)壁152上。中空線圈123是以繞Z軸旋轉(zhuǎn)的朝向卷繞的線圈。另外，中空線圈單元122的多個(gè)中空線圈123分別與配線170連接。中空線圈123通過(guò)從配線170供給的電力,產(chǎn)生電磁力。引導(dǎo)軸124、125是沿Z軸方向延伸的軸。引導(dǎo)軸124和引導(dǎo)軸125在隔著中空線圈單元122而相對(duì)的位置上平行配置。引導(dǎo)軸124、125的軸兩端固定在外筒120的主體150上。在固定件110中，中空線圈單元122的中空部分的軸和引導(dǎo)軸124、125與Z軸方向平行配置。由此，中空線圈單元122和引導(dǎo)軸124、125平行配置。下面，電動(dòng)機(jī)軸126插入至中空線圈單元122中。電動(dòng)機(jī)軸126的多個(gè)磁體128沿Z軸方向?qū)盈B。本實(shí)施方式的磁體128以圖6中左側(cè)為S極、圖6中右側(cè)為N極的朝向配置。由此,磁體128的S極與相鄰的磁體128的N極相對(duì)。另外，電動(dòng)機(jī)軸126在Z軸方向上，層疊有多個(gè)磁體128的范圍與中空線圈單元122相比較長(zhǎng)。另外，對(duì)于電動(dòng)機(jī)軸126，在固定件110和可動(dòng)件112相對(duì)地移動(dòng)至任一位置的情況下，均成為中空線圈單元122的整個(gè)區(qū)域與多個(gè)磁體128相對(duì)的狀態(tài)。磁體128以與中空線圈123相同的配置間隔沿Z軸方向配置。連結(jié)部件130、132與電動(dòng)機(jī)軸126的Z軸方向的端部分別連結(jié)。連結(jié)部件130在Z軸方向上，與電動(dòng)機(jī)軸126相比，配置在主體150的形成孔154的面?zhèn)?。連結(jié)部件132在Z軸方向上，與電動(dòng)機(jī)軸126相比，配置在主體150的不形成孔154的面?zhèn)取Ａ硗?，連結(jié)部件130形成使引導(dǎo)軸124插入的孔和使引導(dǎo)軸125插入的孔。連結(jié)部件130與本實(shí)施方式的作為輸出軸的軸32a連結(jié)。此外，連結(jié)部件130經(jīng)由軸承等與軸32a連結(jié)，以使軸32a沿Θ方向自由旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，對(duì)軸32a進(jìn)行支撐。連結(jié)部件132也形成使引導(dǎo)軸124插入的孔和使引導(dǎo)軸125插入的孔。軸承138配置在連結(jié)部件130的使引導(dǎo)軸124插入的孔、連結(jié)部件130的使引導(dǎo)軸125插入的孔、連結(jié)部件132的使引導(dǎo)軸124插入的孔以及連結(jié)部件132的使引導(dǎo)軸125插入的孔中。4個(gè)軸承138固定在連結(jié)部件130、132上，引導(dǎo)軸124、125和連結(jié)部件130、132以可以沿Z軸方向相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)連結(jié)。下面，相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140是對(duì)固定件110和可動(dòng)件112的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)的機(jī)構(gòu)，如上述所示具有檢測(cè)器142和標(biāo)尺144。檢測(cè)器142固定在外筒120的主體150以及側(cè)壁152上。標(biāo)尺144是沿Z軸方向延伸的板狀部件，固定在連結(jié)部件132上。另外，相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140配置在使檢測(cè)器142和標(biāo)尺144相對(duì)的位置上，通過(guò)由檢測(cè)器142對(duì)標(biāo)尺144的哪個(gè)位置位于檢測(cè)位置進(jìn)行檢測(cè)，從而對(duì)固定件110和可動(dòng)件112之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)。線性致動(dòng)器100如上述所示構(gòu)成，搭載頭控制部62成為線性致動(dòng)器100的控制部，使固定件110和可動(dòng)件112沿Z軸方向相對(duì)移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，固定件110固定在搭載頭支撐部31上。由此，線性致動(dòng)器100通過(guò)使固定件110和可動(dòng)件112沿Z軸方向相對(duì)移動(dòng)，從而可以相對(duì)于搭載頭支撐部31，使軸32a沿Z軸方向移動(dòng)。由此，可以使與軸32a連結(jié)的吸附嘴32沿Z軸方向移動(dòng)。線性致動(dòng)器100通過(guò)搭載頭控制部62，經(jīng)由配線170使中空線圈單元122的中空線圈123中流過(guò)電流而勵(lì)磁。線性致動(dòng)器100通過(guò)使中空線圈123中流過(guò)電流，從而利用弗萊明定律在中空線圈123和位于與該中空線圈123相對(duì)的位置上的磁體128之間產(chǎn)生作用力。在這里，中空線圈123和磁體128以相同的配置間隔沿Z軸方向配置。由此，相對(duì)的中空線圈123和磁體128均沿相同方向產(chǎn)生作用力。由此，在中空線圈單元122和電動(dòng)機(jī)軸126之間產(chǎn)生相同方向的作用力，相對(duì)于中空線圈單元122使電動(dòng)機(jī)軸126沿圖6中箭頭方向中的任意一個(gè)方向、即Z軸方向移動(dòng)。另外，通過(guò)使電動(dòng)機(jī)軸126相對(duì)于中空線圈單元122移動(dòng)，從而與電動(dòng)機(jī)軸126連結(jié)的可動(dòng)件112的連結(jié)部件130、132、軸承138和軸32a，也相對(duì)于固定中空線圈單元122的固定件110，沿Z軸方向移動(dòng)。此外，此時(shí)，可動(dòng)件112的連結(jié)部件130、132沿引導(dǎo)軸124、125在Z軸方向上移動(dòng)。另外，搭載頭控制部62利用位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140對(duì)固定件110和可動(dòng)件112之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)，基于檢測(cè)出的結(jié)果，對(duì)在中空線圈123中流過(guò)的電流進(jìn)行調(diào)整，從而對(duì)在中空線圈123和磁體128之間產(chǎn)生的力的方向進(jìn)行控制，由此可以沿規(guī)定的方向移動(dòng)，可以使固定件110和可動(dòng)件112之間的相對(duì)位置成為規(guī)定的位置。由此，搭載頭控制部62可以使可動(dòng)件112的位置成為規(guī)定的位置，可以使與可動(dòng)件112的連結(jié)部件130連結(jié)的軸32a的Z軸方向上的位置，成為規(guī)定的位置，可以使吸附嘴32前端的位置成為規(guī)定的位置。下面，在圖9中，在圖中的下段示出本實(shí)施方式的線性致動(dòng)器100，在圖中的上段和中段示出對(duì)比對(duì)象的線性致動(dòng)器200。線性致動(dòng)器200具有固定件202和可動(dòng)件204。固定件202與中空線圈單元212連結(jié)，可動(dòng)件204與連結(jié)有多個(gè)磁體的電動(dòng)機(jī)軸210連結(jié)。線性致動(dòng)器200以與線性致動(dòng)器100相同的原理沿Z軸方向相對(duì)移動(dòng)。在線性致動(dòng)器200中，將電動(dòng)機(jī)軸210和引導(dǎo)軸214連結(jié)，在固定件202上固定引導(dǎo)軸214的軸承216。此外，圖中上段所示的線性致動(dòng)器200為可動(dòng)件204的電動(dòng)機(jī)軸210移動(dòng)至移動(dòng)范圍右端的狀態(tài)，圖中中段所示的線性致動(dòng)器200為可動(dòng)件204的電動(dòng)機(jī)軸210移動(dòng)至移動(dòng)范圍左端的狀態(tài)。線性致動(dòng)器200的形狀為，電動(dòng)機(jī)軸210的連結(jié)磁體的部分的長(zhǎng)度(磁鐵的長(zhǎng)度)與中空線圈單元212相比較短。因此，線性致動(dòng)器200的長(zhǎng)度為，行程+磁鐵的長(zhǎng)度+中空線圈的可動(dòng)空間(不與磁鐵重合的空間)+行程。此外，所謂行程，是指線性致動(dòng)器200的移動(dòng)范圍。在這里，由于線圈的可動(dòng)空間與行程相等，所以線性致動(dòng)器200的長(zhǎng)度為磁鐵的長(zhǎng)度+ 3X行程。與此相對(duì)，線性致動(dòng)器100如圖9所示，電動(dòng)機(jī)軸的多個(gè)磁體與中空線圈單元相比較短。線性致動(dòng)器100的長(zhǎng)度為，行程+線圈+行程，即，線圈的長(zhǎng)度+ 2X行程。在這里，對(duì)于線性致動(dòng)器100、200，磁體和中空線圈重合的區(qū)域成為產(chǎn)生推力的部分。因此，在線性致動(dòng)器100中，中空線圈的長(zhǎng)度成為產(chǎn)生推力的部分的長(zhǎng)度，在線性致動(dòng)器200中，磁鐵的長(zhǎng)度成為產(chǎn)生推力的部分的長(zhǎng)度。因此，對(duì)于線性致動(dòng)器100和線性致動(dòng)器200，在線性致動(dòng)器100的中空線圈的長(zhǎng)度和線性致動(dòng)器200的磁鐵的長(zhǎng)度相同的情況下，推力相同。因此，對(duì)于線性致動(dòng)器100和線性致動(dòng)器200，在產(chǎn)生相同推力的情況下，線性致動(dòng)器100可以以與線性致動(dòng)器200的中空線圈的可動(dòng)空間對(duì)應(yīng)的量(與I個(gè)行程對(duì)應(yīng)的量)，即以中空線圈和磁體不重合的長(zhǎng)度量，使長(zhǎng)度縮短。對(duì)于線性致動(dòng)器100和線性致動(dòng)器200，在使整體的長(zhǎng)度相同的情況下，需要使“2個(gè)行程+推力產(chǎn)生部分”和“3個(gè)行程+推力產(chǎn)生部分”成為相同長(zhǎng)度，因此可知，線性致動(dòng)器100與線性致動(dòng)器200相比，在I個(gè)行程的長(zhǎng)度上驅(qū)動(dòng)部產(chǎn)生的力更大。
由此，線性致動(dòng)器100與線性致動(dòng)器200相比，可以在維持推力的同時(shí)，使裝置小型化。另外，線性致動(dòng)器100在形成為與線性致動(dòng)器200相同大小的情況下，可以使推力更大。由此，使用線性致動(dòng)器100的電子部件安裝裝置10，可以使吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34更小型化，因此可以使裝置整體小型化。另外，在電子部件安裝裝置10中，由于可以使吸附嘴驅(qū)動(dòng)部34變輕，所以可以使利用XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)的對(duì)象的重量變輕。由此，可以降低搭載頭主體的移動(dòng)所需的能量，可以降低消耗能量。另外，在線性致動(dòng)器100中，在與中空線圈單元122連結(jié)的部件即外筒120上固定引導(dǎo)軸124、125，在與電動(dòng)機(jī)軸126連結(jié)的部件上，設(shè)置使引導(dǎo)軸124、125插入的連結(jié)部件130、132，從而可以使電動(dòng)機(jī)軸126和支撐電動(dòng)機(jī)軸126的連結(jié)部件130、132相鄰。由此，可以使插入中空線圈的電動(dòng)機(jī)軸不易彎曲，可以進(jìn)一步提高可動(dòng)件的剛性。由此，可以進(jìn)一步增大在電動(dòng)機(jī)軸和中空線圈單元之間產(chǎn)生的作用力。使用圖10及圖11，對(duì)線性致動(dòng)器的其他例子進(jìn)行說(shuō)明。圖10是表示線性致動(dòng)器的其他例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖11是表示圖10所示的線性致動(dòng)器的可動(dòng)件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖10及圖11所示的線性致動(dòng)器250的基本結(jié)構(gòu)與線性致動(dòng)器100相同。下面，對(duì)于線性致動(dòng)器250中與線性致動(dòng)器100相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，省略說(shuō)明，對(duì)線性致動(dòng)器250所特有的特征進(jìn)行說(shuō)明。線性致動(dòng)器250具有固定件和可動(dòng)件。固定件的結(jié)構(gòu)為與固定件110相同的結(jié)構(gòu)?？蓜?dòng)件如圖10及圖11所示，具有電動(dòng)機(jī)軸126、連結(jié)部件130、132、4個(gè)軸承138、相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140的標(biāo)尺144、第I支撐部件262、264、以及第2支撐部件266。第I支撐部件262是將連結(jié)部件130的使引導(dǎo)軸125插入的孔、和連結(jié)部件132的使引導(dǎo)軸125插入的孔連接的管狀部件。向第I支撐部件262的內(nèi)部插入引導(dǎo)軸125。第I支撐部件264是連接連結(jié)部件130的使引導(dǎo)軸124插入的孔和連結(jié)部件132的使引導(dǎo)軸124插入的孔的管狀部件。向第I支撐部件264的內(nèi)部插入引導(dǎo)軸124。第I支撐部件262、264成為對(duì)引導(dǎo)軸125、124進(jìn)行引導(dǎo)的引導(dǎo)部。另外，第I支撐部件262、264將連結(jié)部件130和連結(jié)部件132連結(jié)，對(duì)連結(jié)部件130和連結(jié)部件132之間的引導(dǎo)軸125、124進(jìn)行支撐，從而可以提高可動(dòng)件整體的剛性，可以更牢固地支撐電動(dòng)機(jī)軸126。第2支撐部件266固定在第I支撐部件264上，對(duì)標(biāo)尺144的沒(méi)有固定于連結(jié)部件132上的端部進(jìn)行支撐。由此，可以對(duì)標(biāo)尺144的Z軸方向的兩端進(jìn)行支撐，可以抑制標(biāo)尺144產(chǎn)生位置偏移的情況，可以使固定件和可動(dòng)件的相對(duì)位置檢測(cè)不易產(chǎn)生偏差。另外，優(yōu)選在線性致動(dòng)器250中將連結(jié)部件130、132、第I支撐部件262、264、第2支撐部件266作為一體部件。由此，可以提高可動(dòng)件的剛性，可以抑制在可動(dòng)件的內(nèi)部產(chǎn)生位置偏移等的情況，可以在更適當(dāng)?shù)刂坞妱?dòng)機(jī)軸126的同時(shí)，使其相對(duì)于固定件沿Z軸方向移動(dòng)。使用圖12至圖14，對(duì)線性致動(dòng)器的其他例子進(jìn)行說(shuō)明。圖12是表示線性致動(dòng)器的其他例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖13是表示圖12所示的線性致動(dòng)器的固定件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖14是表示圖12所示的線性致動(dòng)器的可動(dòng)件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖15是表示將圖12所示的線性致動(dòng)器的一部分放大的示意圖。圖12至圖15所示的線性致動(dòng)器300的基本結(jié)構(gòu)與線性致動(dòng)器100相同。下面，對(duì)于線性致動(dòng)器300中與線性致動(dòng)器100相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，省略說(shuō)明，對(duì)線性致動(dòng)器300所特有的特征進(jìn)行說(shuō)明。線性致動(dòng)器300具有固定件310和可動(dòng)件312。固定件310如圖12及圖13所示，具有外筒320、中空線圈單元122、引導(dǎo)軸324、以及相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140的檢測(cè)器142?？蓜?dòng)件312如圖12及圖14所示，具有電動(dòng)機(jī)軸126、連結(jié)部件330、332、2個(gè)軸承338、相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140的標(biāo)尺144、2個(gè)支撐凸起360、以及4個(gè)軸承362。另外，中空線圈122利用從配線370供給的電力，產(chǎn)生電磁力。外筒320是固定在搭載頭支撐部31上的支撐部，具有主體350和側(cè)壁352。主體350和側(cè)壁352基本上是與主體150和側(cè)壁152相同的結(jié)構(gòu)。在這里，側(cè)壁352在與孔154相同的位置上形成孔354。另外，側(cè)壁352設(shè)置有凸部356、358。凸部356、358是沿Z軸方向延伸的線上的凸起，向中空線圈單元122側(cè)凸出。引導(dǎo)軸324是沿Z軸方向延伸的軸。引導(dǎo)軸324的軸兩端固定在外筒320的主體350上。在固定件310中，中空線圈單元122的中空部分的軸和引導(dǎo)軸324，與Z軸方向平行配置。由此，中空線圈單元122和引導(dǎo)軸324平行配置。下面，連結(jié)部件330、332與電動(dòng)機(jī)軸126的Z軸方向的端部分別連結(jié)。連結(jié)部件330在Z軸方向上，與電動(dòng)機(jī)軸126相比，配置在主體350的形成孔354的面?zhèn)取＿B結(jié)部件332在Z軸方向上，與電動(dòng)機(jī)軸126相比，配置在主體350的不形成孔354的面?zhèn)?。另外，連結(jié)部件330形成使引導(dǎo)軸324插入的孔。連結(jié)部件330與本實(shí)施方式的作為輸出軸的軸32a連結(jié)。連結(jié)部件332也形成使引導(dǎo)軸324插入的孔。如上述所示，線性致動(dòng)器300僅設(shè)置I根引導(dǎo)軸324。軸承338配置在連結(jié)部件330的使引導(dǎo)軸324插入的孔、連結(jié)部件332的使引導(dǎo)軸124插入的孔中。2個(gè)軸承338固定在連結(jié)部件330、332上，引導(dǎo)軸324和連結(jié)部件330、332以可以沿Z軸方向相對(duì)移動(dòng)的狀態(tài)連結(jié)。如圖15所示，2個(gè)支撐凸起360配置在電動(dòng)機(jī)軸126的Z軸方向的兩端。在I個(gè)凸起部360上，連結(jié)2個(gè)軸承362。軸承362分別配置在與凸部356或者凸部358相對(duì)的位置上。軸承362是可以使內(nèi)徑部件和外徑部件旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，以使外徑部件沿Z軸方向旋轉(zhuǎn)的朝向，將內(nèi)徑部件固定在支撐凸起360上。在線性致動(dòng)器300中，如果使固定件310和可動(dòng)件312相對(duì)移動(dòng)，則軸承362以與凸部356或者凸部358接觸的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)。由此，軸承362和凸部356或者凸部358，成為固定件310和可動(dòng)件312相對(duì)移動(dòng)時(shí)的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。由此，可以使可動(dòng)件312沿Z軸方向更穩(wěn)定地移動(dòng)。另外，通過(guò)如本實(shí)施方式所示，設(shè)置使用了軸承362和凸部356或者凸部358的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，從而即使采用I根引導(dǎo)軸324的結(jié)構(gòu)，也可以更適當(dāng)?shù)厥构潭?10和可動(dòng)件312相對(duì)移動(dòng)。由此，對(duì)于線性致動(dòng)器300，可以使裝置進(jìn)一步小型化。在這里，凸部356、358的形狀不特別地限定，但優(yōu)選可以以不使軸承362在側(cè)壁352的表面上沿與Z軸正交的方向移動(dòng)的方式對(duì)軸承362進(jìn)行支撐的形狀。凸部356、358的形狀也可以為V字槽。另外，軸承362優(yōu)選采用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，但也可以形成下述形狀，S卩，具有與凸部356、358對(duì)應(yīng)的凹部，在與Z軸正交的剖面中，使凹凸形狀反轉(zhuǎn)。即，軸承362的表面也可以形成為使凸部356、358進(jìn)入的形狀。此外，對(duì)于側(cè)壁和軸承的形狀，也可以使凹凸的相對(duì)關(guān)系相反。即，也可以在側(cè)壁上形成凹部。使用圖16及圖17，對(duì)線性致動(dòng)器的其他例子進(jìn)行說(shuō)明。圖16是表示線性致動(dòng)器的其他例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖17是表示圖16所示的線性致動(dòng)器的固定件的一個(gè)例子的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖16及圖17所示的線性致動(dòng)器400的基本結(jié)構(gòu)與線性致動(dòng)器100相同。下面，對(duì)于線性致動(dòng)器400中與線性致動(dòng)器100相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，省略說(shuō)明，對(duì)線性致動(dòng)器400所特有的特征進(jìn)行說(shuō)明。線性致動(dòng)器400具有固定件410和可動(dòng)件412。固定件410如圖16及圖17所示，具有外筒480、中空線圈單元122、引導(dǎo)軸124、以及相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)140的檢測(cè)器142。另外，中空線圈單元122利用從配線470供給的電力，產(chǎn)生電磁力。可動(dòng)件412為與可動(dòng)件112相同的結(jié)構(gòu)。外筒480具有主體420和側(cè)壁424。主體420是覆蓋中空線圈單元122的外周的箱狀部件，對(duì)引導(dǎo)軸124、125的中央附近進(jìn)行支撐。S卩，主體420配置在連結(jié)部件130和連結(jié)部件132之間。側(cè)壁424是板狀部件，與主體420的最大的面連結(jié)。此外，側(cè)壁424設(shè)置2個(gè)，與主體420的最大的2個(gè)面分別連結(jié)。在線性致動(dòng)器400中，固定件410的主體420配置在連結(jié)部件130和連結(jié)部件132之間，僅對(duì)引導(dǎo)軸124、125的中央附近進(jìn)行支撐。由此，線性致動(dòng)器400可以采用在與引導(dǎo)軸124、125的兩端部相比更外側(cè)不配置部件的結(jié)構(gòu)，可以進(jìn)一步縮短線性致動(dòng)器400的Z軸方向的長(zhǎng)度。另外，在線性致動(dòng)器400中，可以利用I個(gè)箱形狀的主體420對(duì)引導(dǎo)軸124、125的中央附近進(jìn)行支撐。由此，可以以更高精度固定2根引導(dǎo)軸。另外，主體420是I個(gè)箱型的部件，因此，可以以高加工精度制造用于使引導(dǎo)軸124、125插入的孔。由此，可以進(jìn)一步減少引導(dǎo)軸124、125和可動(dòng)件412之間移動(dòng)時(shí)的摩擦。另外，在線性致動(dòng)器400中，通過(guò)采用在主體420上固定中空線圈單元122的全周，并將要固定的主體420固定于側(cè)壁424上的結(jié)構(gòu)，從而可以更牢固地固定中空線圈單元122，可以提高固定件410整體的剛性。在這里，在上述實(shí)施方式中，將連結(jié)中空線圈的部件作為固定件，將連結(jié)電動(dòng)機(jī)軸的部件作為可動(dòng)件，但也可以使固定件和可動(dòng)件相反。例如，在上述實(shí)施方式中，也可以使軸與側(cè)壁連結(jié)，將連結(jié)部件和搭載頭支撐部連結(jié)。另外，在上述實(shí)施方式中，在使吸附嘴沿Z軸方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)中，使用線性致動(dòng)器，但線性致動(dòng)器可以用于其他各種機(jī)構(gòu)。例如，也可以用于XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，也可以作為除了電子部件安裝裝置以外的裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使用。另外，在上述實(shí)施方式中，采用了具有2個(gè)搭載頭15的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不限定于此。例如，電子部件安裝裝置10可以具有I個(gè)搭載頭15，也可以具有3個(gè)搭載頭。
權(quán)利要求
1.一種線性致動(dòng)器，其特征在于，具有: 中空的外筒； 多個(gè)中空線圈，它們放置在所述外筒的內(nèi)部，沿所述外筒的軸向相鄰； 電動(dòng)機(jī)軸，其向所述中空線圈的內(nèi)部插入，沿所述軸向排列多個(gè)磁體； 連結(jié)部件，其與所述電動(dòng)機(jī)軸的端部連結(jié)； 引導(dǎo)軸，其固定在所述外筒上，向所述連結(jié)部件中插入且沿軸向延伸； 輸出軸，其與所述連結(jié)部件連結(jié)；以及 控制部，其選擇性地使所述中空線圈勵(lì)磁，使所述中空線圈和所述電動(dòng)機(jī)軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)，使所述外筒和所述輸出軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)， 所述電動(dòng)機(jī)軸在所述軸向上，在與所述中空線圈相比更長(zhǎng)的范圍內(nèi)配置所述磁體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性致動(dòng)器，其特征在于， 具有固定在所述連結(jié)部件上的標(biāo)尺、以及固定在所述外筒上的檢測(cè)器，還具有對(duì)所述電動(dòng)機(jī)軸和所述中空線圈之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)的相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2 所述的線性致動(dòng)器，其特征在于， 還具有軸承，其配置在所述連結(jié)部件和所述引導(dǎo)軸之間的連結(jié)部上，以可以使所述引導(dǎo)軸相對(duì)于所述連結(jié)部件移動(dòng)的狀態(tài)支撐所述弓I導(dǎo)軸。
4.一種電子部件安裝裝置，其向基板搭載電子部件， 其特征在于，具有: 電子部件供給裝置，其對(duì)向所述基板上搭載的所述電子部件進(jìn)行供給； 線性致動(dòng)器； 搭載頭，其具有至少I(mǎi)組與所述線性致動(dòng)器的輸出軸連結(jié)的吸附嘴，利用所述線性致動(dòng)器，使所述吸附嘴沿與所述基板的表面正交的方向移動(dòng)，使所述吸附嘴向?qū)乃鲭娮硬考┙o裝置供給的電子部件進(jìn)行吸附的吸附區(qū)域移動(dòng)；以及 XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述搭載頭沿與所述基板的表面平行的方向移動(dòng)， 所述線性致動(dòng)器具有: 中空的外筒； 多個(gè)中空線圈，它們放置在所述外筒的內(nèi)部，沿所述外筒的軸向相鄰； 電動(dòng)機(jī)軸，其向所述中空線圈的內(nèi)部插入，沿所述軸向排列多個(gè)磁體； 連結(jié)部件，其與所述電動(dòng)機(jī)軸的端部連結(jié)； 引導(dǎo)軸，其固定在所述外筒上，向所述連結(jié)部件中插入且沿軸向延伸； 輸出軸，其與所述連結(jié)部件連結(jié)；以及 控制部，其選擇性地使所述中空線圈勵(lì)磁，使所述中空線圈和所述電動(dòng)機(jī)軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)，使所述外筒和所述輸出軸沿所述軸向相對(duì)地移動(dòng)， 所述電動(dòng)機(jī)軸在所述軸向上，在與所述中空線圈相比更長(zhǎng)的范圍內(nèi)配置所述磁體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子部件安裝裝置，其特征在于， 所述線性致動(dòng)器具有固定在所述連結(jié)部件上的標(biāo)尺、以及固定在所述外筒上的檢測(cè)器，還具有對(duì)所述電動(dòng)機(jī)軸和所述中空線圈之間的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)的相對(duì)位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，所述線性致動(dòng)器還具有軸承，其配置在所述連結(jié)部件和所述引導(dǎo)軸之間的連結(jié)部上，以可以使所述弓I導(dǎo)軸相對(duì) 于所述連結(jié)部件移動(dòng)的狀態(tài)支撐所述弓I導(dǎo)軸。
全文摘要
本發(fā)明提供一種線性致動(dòng)器以及電子部件安裝裝置。該線性致動(dòng)器可以同時(shí)更高水平地實(shí)現(xiàn)推力的提高和小型化，該電子部件安裝裝置使用該線性致動(dòng)器。本發(fā)明通過(guò)下述方式解決上述課題，即，具有中空的外筒；多個(gè)中空線圈，它們放置在外筒的內(nèi)部，沿外筒的軸向相鄰；電動(dòng)機(jī)軸，其向中空線圈的內(nèi)部插入，沿軸向排列多個(gè)磁體；連結(jié)部件，其與電動(dòng)機(jī)軸的端部連結(jié)；引導(dǎo)軸，其固定在外筒上，向連結(jié)部件中插入且沿軸向延伸；輸出軸，其與連結(jié)部件連結(jié)；以及控制部，其選擇性地使中空線圈勵(lì)磁，使中空線圈和電動(dòng)機(jī)軸沿軸向相對(duì)地移動(dòng)，使外筒和輸出軸沿軸向相對(duì)地移動(dòng)，電動(dòng)機(jī)軸在軸向上，在與中空線圈相比更長(zhǎng)的范圍內(nèi)配置上述磁體。
文檔編號(hào)H02K33/18GK103166419SQ20121052571
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者加藤禮貴 申請(qǐng)人:Juki株式會(huì)社