專利名稱：靜電驅(qū)動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及靜電驅(qū)動(dòng)器(靜電7 ”千工工一夕\
背景技術(shù)：
以往，已知的靜電驅(qū)動(dòng)器具備設(shè)有電極的固定件；以及配置在該固定件上并且具有樹脂基板和設(shè)在樹脂基板上的電阻器膜的移動(dòng)件。由于這樣的靜電驅(qū)動(dòng)器在固定件和移動(dòng)件平面地相貼的狀態(tài)下運(yùn)動(dòng)，所以保持原樣地固定件與移動(dòng)件的摩擦阻力有增大的傾向。因此，在以往的靜電驅(qū)動(dòng)器中存在如下結(jié)構(gòu)在固定件的上表面設(shè)有凹凸面，該凹 凸面固定有通過絕緣性粘合劑固接的導(dǎo)電性珠(beads)，在與該凹凸面對(duì)置的移動(dòng)件的背面設(shè)有潤滑面(例如JP09 - 121562)。但是，包含珠的墨(涂料)的印刷或者涂敷容易篩眼堵塞，另外珠含有的液體容易凝聚、在凹凸面出現(xiàn)不均。而且，在珠含有量較少的情況下，由于凸部間隔變寬、膜彎曲，從而凹凸面和潤滑面平面相接的面積變寬。另一方面，在珠含有量較多的情況下，容易卷曲，另外接觸的凸部變多，摩擦阻力也增大。并且，在固定珠的絕緣性粘合劑(樹脂層)比既定值薄的情況下，珠容易脫落，在比既定值厚的情況下，珠被覆蓋而不能形成凹凸面的既定的凹凸。S卩，在上述以往的靜電驅(qū)動(dòng)器中，存在如下問題使用了導(dǎo)電性珠的凹凸面的面內(nèi)的凹凸的均勻性低，固定件與移動(dòng)件之間的摩擦阻力在局部增大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是考慮到這樣的點(diǎn)而作出的，其目的在于提供一種能夠降低固定件與移動(dòng)件之間的摩擦阻力的靜電驅(qū)動(dòng)器。本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器的特征在于，
具備具有基板和設(shè)在所述基板上的電極的固定件；配置在所述固定件的具有所述電極的面上的移動(dòng)件，
在所述固定件的移動(dòng)件側(cè)的面或者所述移動(dòng)件的固定件側(cè)的面以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體，
在所述移動(dòng)件或者所述固定件中、與所述多個(gè)突狀體對(duì)置的面形成潤滑層。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，
也可以是所述電極是在所述基板上分別獨(dú)立設(shè)置、互相平行地配置的多個(gè)線狀電極， 所述多個(gè)突狀體是多個(gè)線狀的突狀體。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，
也可以是所述線狀的突狀體在與所述多個(gè)線狀電極正交的方向延伸。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，也可以是所述多個(gè)突狀體是多個(gè)圓錐體。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，
也可以是在設(shè)有所述多個(gè)突狀體的所述固定件的移動(dòng)件側(cè)的面或者所述移動(dòng)件的固定件側(cè)的面中、在所述多個(gè)突狀體以外的部分形成第一追加潤滑層。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，
也可以是在所述多個(gè)突狀體的表面形成第二追加潤滑層。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，
也可以是所述多個(gè)突狀體包含導(dǎo)電性材料。另外，在所述靜電驅(qū)動(dòng)器中，
也可以是所述潤滑層包含含碳二氧化硅。本發(fā)明所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器，在固定件的移動(dòng)件側(cè)的面或者移動(dòng)件的固定件側(cè)的面等間隔地設(shè)有多個(gè)突狀體，在移動(dòng)件或者固定件中、與多個(gè)突狀體對(duì)置的面形成潤滑層。由此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，突狀體的分布的面內(nèi)偏差減小，能夠抑制固定件與移動(dòng)件之間的摩擦阻力在局部增大。S卩，能夠降低固定件與移動(dòng)件之間的摩擦阻力。


圖I是示出本發(fā)明所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的立體圖。圖2是示意性示出圖I所示的靜電驅(qū)動(dòng)器的俯視圖。圖3是示出沿著圖2的A — A線的靜電驅(qū)動(dòng)器的截面的一個(gè)例子的截面圖。圖4是示出將包含由圖3所示的區(qū)域X包圍的滑動(dòng)構(gòu)造體的區(qū)域進(jìn)行放大的一個(gè)例子的截面圖。圖5是示出從上方觀察滑動(dòng)構(gòu)造體的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的俯視圖。圖6是示出從上方觀察滑動(dòng)構(gòu)造體的結(jié)構(gòu)的其他例子的俯視圖。圖7是示出將包含由圖3所示的區(qū)域X包圍的滑動(dòng)構(gòu)造體的區(qū)域進(jìn)行放大的其他例子的截面圖。圖8是示出施加在線狀電極Ia Id的信號(hào)的波形的一個(gè)例子的波形圖。圖9是示出沿著圖2的A — A線的靜電驅(qū)動(dòng)器的截面的其他例子的截面圖。
具體實(shí)施例方式下面，基于附圖，對(duì)本發(fā)明所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖I是示出本發(fā)明所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器100的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的立體圖。另外，圖2是示意性示出圖I所示的靜電驅(qū)動(dòng)器100的俯視圖。另外，圖3是示出沿著圖2的A — A線的靜電驅(qū)動(dòng)器100的截面的一個(gè)例子的截面圖。此外，為了簡化，在圖2中省略了粘接層103a、覆蓋膜103b、滑動(dòng)構(gòu)造體104。如圖I至圖3所示，靜電驅(qū)動(dòng)器100具備固定件I和自由移動(dòng)地配置在固定件I的線狀電極Ia Id上的移動(dòng)件2，固定件I具有具有一個(gè)面102a和另一個(gè)面102b的基板102 ;在基板102的一個(gè)面102a分別獨(dú)立設(shè)置、互相平行以等間隔配置的多個(gè)線狀電極Ia Id0
此外，用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)件2的信號(hào)a d從未圖示的驅(qū)動(dòng)電路輸入至四線式靜電驅(qū)動(dòng)器100。此時(shí)，各信號(hào)a d分別經(jīng)由母線(bus line) IOla IOlcU通孔布線Ib2、ld2、以及焊盤電極lbl、ldl，施加到線狀電極Ia Id。下面，進(jìn)一步詳述固定件I。如上所述，固定件I具備基板102 ;設(shè)在該基板102的一個(gè)面102a的具有導(dǎo)電性的多個(gè)線狀電極Ia Id。并且，在多個(gè)線狀電極Ia Id的一側(cè)(圖2的左側(cè))，在與多個(gè)線狀電極Ia Id正交的方向延伸設(shè)置，并且與線狀電極Ia和線狀電極Ib分別連接的第一母線IOla和第二母線IOlb互相平行地設(shè)置。并且，在多個(gè)線狀電極Ia Id的另一側(cè)(圖2的右側(cè))，在與多個(gè)線狀電極Ia Id正交的方向延伸設(shè)置，并且與線狀電極Ic和線狀電極Id分別連接的第三母線IOlc與第四母線IOld互相平行地設(shè)置?！?br> 另外，覆蓋設(shè)在基板102的一個(gè)面102a上的多個(gè)線狀電極Ia ld，設(shè)有粘接層103a、覆蓋膜103b，進(jìn)一步覆蓋著覆蓋膜103設(shè)有滑動(dòng)構(gòu)造體104。另外，基板102例如具有25 μ m的厚度。作為該基板102所使用的原材料，例如能選擇聚酰亞胺、玻璃環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PET-G (對(duì)苯二甲酸-環(huán)己烷二甲醇-乙烯乙二醇共聚物)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PP (聚丙烯)、PE (聚乙烯)、PC (聚碳酸酯)、PA (聚酰胺)、PPS (聚苯硫醚)、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、纖維素二乙酸酯、三醋酸纖維素、聚苯乙烯類、ABS、聚丙烯酸酯、聚乙烯、聚氨酯等。聚酰亞胺、PEN有高耐熱性、高強(qiáng)度，特別優(yōu)選。另外，如上所述，多個(gè)線狀電極Ia Id在基板102的一個(gè)面102a上分別獨(dú)立設(shè)置，互相平行以等間隔呈梳齒狀反復(fù)配置，但該線狀電極Ia Id例如布線間距設(shè)定為O. 3mm以下，另外該線狀電極Ia ld，其厚度例如在聚酰亞胺基板上作為電極材使用Cu的情況下為18 μ m左右，在作為電極材料形成ITO (氧化銦錫)的情況下，具有1500爲(wèi)左右(參照圖2和圖3)。另外，兩條第一、第二母線101a、IOlb分別構(gòu)成帶狀，如上所述設(shè)在線狀電極Ia Id的一側(cè)(圖2的左側(cè))。其中第一母線IOla設(shè)在基板102的一個(gè)面(上表面)102a，該第一母線IOla與線狀電極Ia電連接。另外，第二母線IOlb設(shè)在基板102的另一個(gè)面(下表面)102b，與線狀電極Ib電連接。另外，在基板102設(shè)有通孔布線lb2，該通孔布線lb2貫通基板102，與設(shè)在基板102的另一個(gè)面102b的第二母線IOlb連接。并且，在基板102的一個(gè)面102a設(shè)有將線狀電極Ib的一側(cè)與通孔布線lb2連接的焊盤電極Ibl。由此，第二母線IOlb與線狀電極Ib電連接。另外，兩條第三、第四母線IOlcUOld分別構(gòu)成帶狀，如上述那樣，設(shè)在線狀電極Ia Id的另一側(cè)(圖2的右側(cè))。另外，第三母線IOlc設(shè)在基板102的一個(gè)面(上表面)102a，與線狀電極Ic電連接。另外，第四母線IOld設(shè)在基板102的另一個(gè)面(下表面)102b，與線狀電極Id電連接。此處，在基板102設(shè)有通孔布線ld2，該通孔布線ld2貫通基板102，與設(shè)在基板102的另一個(gè)面102b的第四母線IOld連接。而且，在基板102的一個(gè)面(上表面)102a設(shè)有將線狀電極Id的一側(cè)與通孔布線ld2連接的焊盤電極Idl。由此，第四母線IOld與線狀電極Id電連接。接下來，利用圖3，詳述固定件I的粘接層103a、覆蓋膜103b和滑動(dòng)構(gòu)造體104。如圖3所示，在基板102上以覆蓋多個(gè)線狀電極Ia Id的方式設(shè)置粘接層103a。另外，覆蓋膜103b設(shè)在粘接層103a上。作為該覆蓋膜103所使用的原材料，例如能選擇聚酰亞胺。另外，滑動(dòng)構(gòu)造體104設(shè)在覆蓋膜103b上。該滑動(dòng)構(gòu)造體104如圖4所示，包含追加潤滑層104a、多個(gè)突狀體104b，相對(duì)于移動(dòng)件2的下表面(后述的潤滑層105)具有滑動(dòng)性。 此處，圖4是示出將包含由圖3所示的區(qū)域X包圍的滑動(dòng)構(gòu)造體104的區(qū)域進(jìn)行放大的一個(gè)例子的截面圖。另外，圖5是示出從上方觀察滑動(dòng)構(gòu)造體104的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的俯視圖。另外，圖6是示出從上方觀察滑動(dòng)構(gòu)造體104的結(jié)構(gòu)的其他例子的俯視圖。如圖4所示，追加潤滑層104a設(shè)在覆蓋膜103b上。作為該追加潤滑層104a所使用的原材料，例如可以選擇具有導(dǎo)電性的含碳二氧化硅。該追加潤滑層104a例如利用蒸鍍來形成。另外，多個(gè)突狀體104b設(shè)在追加潤滑層104a上。該多個(gè)突狀體104b是多個(gè)圓錐體(圖4、圖5)。但是，突狀體104b也可以具有圓錐體以外的形狀。例如，如圖6所示，多個(gè)突狀體104b也可以是多個(gè)線狀的突狀體。特別地，該線狀的突狀體以在與多個(gè)線狀電極Ia Id正交的方向Y延伸的方式設(shè)置(配置為山脈狀)。由此，能夠抑制移動(dòng)件2的蜿蜒移動(dòng)。另外，能夠抑制突狀體104b的剝離。該多個(gè)突狀體104b例如利用凹版、絲網(wǎng)、偏移、柔印、噴墨等印刷來形成。此外，優(yōu)選的是利用更高價(jià)的印刷形成的突狀體104b，設(shè)置在高價(jià)、禁得起任意使用的固定件I偵U。用后述的變形例對(duì)將突狀體104b設(shè)在移動(dòng)件2側(cè)的情況進(jìn)行說明。這樣，由于多個(gè)突狀體104b利用印刷形成，因此例如設(shè)定為各突狀體104b的寬度Si相等，并且相鄰的突狀體104b的間隔s2相等。由此，突狀體104b的分布的面內(nèi)偏差減小，能夠抑制固定件與移動(dòng)件的摩擦阻力在局部增大。各突狀體104b的寬度Si、并且相鄰的突狀體104b的間隔s2的測定方法，能夠在通過使用光學(xué)顯微鏡從滑動(dòng)構(gòu)造體104的上表面觀察得到的觀察圖像上進(jìn)行測定。此外，圖6所示的多個(gè)線狀的突狀體的各突狀體104b的寬度Si是對(duì)于各突狀體利用上述測定方法測定任意多處的寬度，取其平均值。另外，圖6所示的多個(gè)線狀的突狀體的相鄰的突狀體104b的間隔s2是在相鄰的突狀體的重疊的區(qū)域Z中利用上述測定方法測定任意多處的寬度，取其平均值。此外，突狀體104b的分布例如為I 3000個(gè)/ cm2。突狀體104b的分布數(shù)，若太少則襯墊效果減弱，另一方面，若太多則摩擦阻力增大。因此，與要求的條件相應(yīng)地設(shè)定固定件I的面內(nèi)的突狀體104b的密度。在多個(gè)突狀體104b為多個(gè)圓錐體的情況下，特別優(yōu)選的是如圖5所示分布為三角格子狀而配置。這是因?yàn)樵谂渲脼槿歉褡訝畹那闆r下，與各突狀體104b相鄰的所有的突狀體的間隔為等間隔，突狀體的分布的面內(nèi)偏差更小。
另外，突狀體104b的高度例如設(shè)定為5 30 μ m。由于突狀體104b的高度若太低，則在相鄰的兩個(gè)突狀體104b間固定件I與移動(dòng)件2容易進(jìn)行面接觸而使摩擦系數(shù)增加，若太高則靜電效果減小，所以與要求的條件相應(yīng)地設(shè)定其高度。如以往的靜電驅(qū)動(dòng)器那樣，在固定件的上表面設(shè)有凹凸面，該凹凸面固定通過絕緣性粘合劑固接的導(dǎo)電性珠，在與該凹凸面對(duì)置的移動(dòng)件的背面設(shè)有潤滑面的情況下，固定珠的絕緣性粘合劑的厚度需要形成得比珠的半徑厚。例如，在將由珠形成的凸部的高度設(shè)定為20 μ m的情況下，珠的粒徑(直徑)必須至少為40 μ m以上。在這樣的以往的靜電驅(qū)動(dòng)器中，從固定件的電極的上表面到移動(dòng)件的帶電面的距離變長，靜電力變?nèi)酢Ａ硪环矫?，由于本發(fā)明的多個(gè)突狀體104b利用印刷形成， 所以例如在將突狀體104b的高度設(shè)定為20 μ m的情況下，以20 μ m的厚度形成即可。所以，與以往的靜電驅(qū)動(dòng)器相比，能夠縮小從固定件的電極的上表面到移動(dòng)件的帶電面的距離，能夠提高靜電力。這樣，為了在固定件I的移動(dòng)件2側(cè)的面提高移動(dòng)件2的滑動(dòng)性，形成有以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體104b的滑動(dòng)構(gòu)造體104。由此，固定件I與移動(dòng)件2之間的接觸面積減少，能夠降低摩擦阻力。另外，突狀體104b包含導(dǎo)電性材料。作為該突狀體104b所使用的原材料，能選擇聚乙炔、聚噻吩、聚對(duì)苯、聚苯胺、聚對(duì)苯乙炔、聚吡咯、聚并苯、砜化聚苯胺、聚苯乙炔、聚乙烯二氧基噻吩(PEDOT)等導(dǎo)電性樹脂，以銀、金、銅、鎳、鋁、碳、石墨作為填充物的導(dǎo)電膏(粘合劑為環(huán)氧、聚酯、聚氨酯、聚丙烯、硅酮、丙烯酸、聚酰亞胺等)等。由此，能夠防止移動(dòng)件2的充電。此處，圖7是示出將包含由圖3所示的區(qū)域X包圍的滑動(dòng)構(gòu)造體104的區(qū)域進(jìn)行放大的其他例子的截面圖。如圖7所示，追加潤滑層104al設(shè)在覆蓋膜103b上。即，在滑動(dòng)構(gòu)造體104中、至少多個(gè)突狀體104b以外的部分形成追加潤滑層104al。作為該追加潤滑層104al所使用的原材料，例如能選擇具有導(dǎo)電性的含碳二氧化硅。并且，追加潤滑層104a2也可以形成在多個(gè)突狀體104b的表面。作為該追加潤滑層104a2所使用的原材料，例如能選擇具有導(dǎo)電性的含碳二氧化硅。這些追加潤滑層104al、追加潤滑層104a2例如利用蒸鍍形成。接下來，利用圖I和圖2對(duì)移動(dòng)件2進(jìn)行詳述。如圖I和圖2所示，移動(dòng)件2配置在固定件I上。如圖3所示，該移動(dòng)件2具有與固定件I對(duì)置設(shè)置的樹脂基板2a、設(shè)在樹脂基板2a上的電阻器膜2b、設(shè)在樹脂基板2a下的潤滑層105。S卩，在與滑動(dòng)構(gòu)造體104對(duì)置的移動(dòng)件2的面形成有潤滑層105。該潤滑層105例如包含含碳二氧化硅。特別地，潤滑層105例如利用蒸鍍形成。通過用蒸鍍來形成，由于與樹脂基板2a固接，因此具有在卷狀、裝載狀下保管的情況下也不會(huì)滲印，另外耐磨損性增強(qiáng)的效果。另外，樹脂基板2a與固定件I對(duì)置配置。該樹脂基板2a例如具有50 μ m左右的厚度。作為該樹脂基板2a所使用的原材料，例如可以選擇PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、PET-G (對(duì)苯二甲酸-環(huán)己烷二甲醇-乙烯乙二醇共聚物)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PP (聚丙烯)、PE (聚乙烯)、PC (聚碳酸酯)、PA (聚酰胺)、PPS (聚苯硫醚)、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、纖維素二乙酸酯、三醋酸纖維素、聚苯乙烯類、ABS、聚丙烯酸酯、聚乙烯、聚氨酯等。特別地，PET較廉價(jià)，另外PEN高耐熱性、高強(qiáng)度，是優(yōu)選的。電阻器膜2b如上所述，設(shè)在樹脂基板2a上，該電阻器膜2b例如具有I μ m左右的厚度。另外，電阻器膜2b例如具有IO11 IO13 Ω / □的范圍的表面電阻值。此外，從線狀電極(驅(qū)動(dòng)電極)Ia Id的上表面到電阻器膜2b的帶電面(下表面)的距離D例如設(shè)定為30 μ m以上、150 μ m以下。接下來，對(duì)具有以上那樣的結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動(dòng)器100的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，如圖2所示，信號(hào)a d從未圖示的驅(qū)動(dòng)電路輸入至靜電驅(qū)動(dòng)器100。此時(shí)， 各信號(hào)a d經(jīng)由母線IOla 101d、通孔布線lb2、ld2、以及焊盤電極lbl、ldl,分別施加到線狀電極Ia Id。此處，圖8是示出施加到線狀電極Ia Id的信號(hào)a d的波形的一個(gè)例子的波形圖。此外，在圖8中，示出了信號(hào)a d是矩形波的情況，但在信號(hào)a d是正弦波的情況下也為同樣的相位關(guān)系。如圖8所示，輸入至相鄰的線狀電極la、lb的兩個(gè)信號(hào)a、b錯(cuò)開四分之一周期。同樣，輸入至相鄰的線狀電極lb、lc的兩個(gè)信號(hào)b、c錯(cuò)開四分之一周期。同樣，輸入至相鄰的線狀電極lc、ld的兩個(gè)信號(hào)c、d錯(cuò)開四分之一周期。由此，將相位分別錯(cuò)開半周期的信號(hào)a、c輸入至線狀電極Ia和線狀電極lc。另夕卜，將相位分別錯(cuò)開半周期的信號(hào)b、d輸入至線狀電極Ib和線狀電極Id。在這種情況下，移動(dòng)件2的電阻器膜2b與施加在線狀電極Ia Id的信號(hào)a d相應(yīng)地帶電。而且，由于信號(hào)a d的電壓變化，在移動(dòng)件2的帶電的部分放電前，移動(dòng)件2在固定件I上向與線狀電極Ia Id垂直的方向Y移動(dòng)(圖2)。此處，如已說明的那樣，在靜電驅(qū)動(dòng)器100中，在固定件I的移動(dòng)件2側(cè)的面形成有以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體104b的滑動(dòng)構(gòu)造體104，在與該滑動(dòng)構(gòu)造體104對(duì)置的移動(dòng)件2的面形成有潤滑層105。由此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，突狀體的分布的面內(nèi)偏差減小，抑制固定件I與移動(dòng)件2之間的摩擦阻力在局部增大。特別地，如已說明的那樣，能夠使固定件I與移動(dòng)件2的接觸面積減少，并且提高潤滑作用。即，能夠?qū)崿F(xiàn)低摩擦阻力。另外，由于在固定件I與移動(dòng)件2之間存在空間，所以固定件I與移動(dòng)件2難以粘貼，移動(dòng)件2容易運(yùn)動(dòng)。另外，例如在濕度高的情況下，由于在潤滑層105與滑動(dòng)構(gòu)造體104之間形成間隙，所以能夠抑制固定件I與移動(dòng)件2由于水分而粘貼。另外，由于即使長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，突狀體104b也具有導(dǎo)電性并放電，所以難以帶電(整體充電)，固定件與移動(dòng)件難以粘貼，移動(dòng)件容易運(yùn)動(dòng)。另外，由于在突狀體104b之間的面存在追加潤滑層104a、104al，所以即使移動(dòng)件2的一部分與固定件I接觸，也能抑制摩擦阻力的增大。如以上那樣，依據(jù)本實(shí)施例所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器，能夠降低固定件與移動(dòng)件之間的摩擦阻力。變形例在已說明的例子中，對(duì)突狀體設(shè)在固定件側(cè)、潤滑層設(shè)在移動(dòng)件側(cè)的情況進(jìn)行了說明(圖 3)。然而，即使突狀體設(shè)在移動(dòng)件側(cè)、潤滑層設(shè)在固定件側(cè)，也能取得同樣的作用/效
果O因此，在本變形例中，對(duì)突狀體設(shè)在移動(dòng)件側(cè)、潤滑層設(shè)在固定件側(cè)的靜電驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子進(jìn)行說明。此處，圖9是示出沿著圖2的A — A線的靜電驅(qū)動(dòng)器100的截面的其他例子的截面圖。此外，在圖9中，與圖3的標(biāo)號(hào)相同的標(biāo)號(hào)表示與實(shí)施例I同樣的結(jié)構(gòu)。另外，靜電驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)與圖I、圖2所示的結(jié)構(gòu)相同。另外，滑動(dòng)構(gòu)造體104、潤滑層105的配置雖然不同，但這些結(jié)構(gòu)本身與圖4、圖7所示的結(jié)構(gòu)相同。
如圖9所示，固定件I包含基板102、線狀電極Ia Id、粘接層103a、覆蓋膜103b、潤滑層105。在基板102上以覆蓋多個(gè)線狀電極Ia Id的方式設(shè)置粘接層103a。另外，覆蓋膜103b設(shè)在粘接層103a上。另外，潤滑層105設(shè)在覆蓋膜103b上。另外，如圖9所不,移動(dòng)件2包含與固定件I對(duì)置設(shè)置的樹脂基板2a、設(shè)在樹脂基板2a上的電阻器膜2b、設(shè)在樹脂基板2a下的滑動(dòng)構(gòu)造體104。該滑動(dòng)構(gòu)造體104與圖4同樣，包含追加潤滑層104a以及多個(gè)突狀體104b，相對(duì)于固定件I的上表面(潤滑層105)具有滑動(dòng)性。S卩，為了在移動(dòng)件2的固定件I側(cè)的面提高移動(dòng)件2的滑動(dòng)性，形成有以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體104b的滑動(dòng)構(gòu)造體104。而且，在與滑動(dòng)構(gòu)造體104對(duì)置的固定件I的面形成有潤滑層105。由此，固定件I與移動(dòng)件2之間的接觸面積減少，能夠降低摩擦阻力。此外，具有以上那樣的結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動(dòng)器與已說明的動(dòng)作同樣(圖8)。S卩，移動(dòng)件2的電阻器膜2b與施加在線狀電極Ia Id的信號(hào)a d相應(yīng)地帶電。而且，由于信號(hào)a d的電壓變化，在移動(dòng)件2的帶電的部分放電前，移動(dòng)件2在固定件I上沿與線狀電極Ia Id垂直的方向Y移動(dòng)(圖2)。此處，如已說明的那樣，在靜電驅(qū)動(dòng)器中，在移動(dòng)件2的固定件I側(cè)的面形成有以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體的滑動(dòng)構(gòu)造體104，在與該滑動(dòng)構(gòu)造體104對(duì)置的固定件I的面形成有潤滑層105。由此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，突狀體的分布的面內(nèi)偏差減小，抑制固定件I與移動(dòng)件2之間的摩擦阻力在局部增大。如以上那樣，依據(jù)本變形例所涉及的靜電驅(qū)動(dòng)器，能夠降低固定件與移動(dòng)件之間的摩擦阻力。
權(quán)利要求
1.一種靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 具備具有基板和設(shè)在所述基板上的電極的固定件；配置在所述固定件的具有所述電極的面上的移動(dòng)件， 在所述固定件的移動(dòng)件側(cè)的面或者所述移動(dòng)件的固定件側(cè)的面以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體， 在所述移動(dòng)件或者所述固定件中、與所述多個(gè)突狀體對(duì)置的面形成潤滑層。
2.如權(quán)利要求I所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 所述多個(gè)突狀體是多個(gè)線狀的突狀體。
3.如權(quán)利要求2所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 所述電極是在所述基板上分別獨(dú)立設(shè)置、互相平行地配置的多個(gè)線狀電極， 所述線狀的突狀體在與所述多個(gè)線狀電極正交的方向延伸。
4.如權(quán)利要求I所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 所述多個(gè)突狀體是多個(gè)圓錐體。
5.如權(quán)利要求I至4的任一項(xiàng)所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 在所述固定件或者所述移動(dòng)件的設(shè)有多個(gè)突狀體的面中、至少在所述多個(gè)突狀體以外的部分具有追加潤滑層。
6.如權(quán)利要求5所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 在所述多個(gè)突狀體的表面具有追加潤滑層。
7.如權(quán)利要求I至6的任一項(xiàng)所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 所述多個(gè)突狀體包含導(dǎo)電性材料。
8.如權(quán)利要求I所述的靜電驅(qū)動(dòng)器，其特征在于， 所述潤滑層包含含碳二氧化硅。
全文摘要
靜電驅(qū)動(dòng)器(100)具備具有基板(102)和在該基板(102)上分別獨(dú)立設(shè)置、互相平行配置的多個(gè)線狀電極(1a～1d)的固定件(1)；以及配置在該固定件(1)的線狀電極(1a～1d)上的移動(dòng)件(2)。在固定件(1)的移動(dòng)件(2)側(cè)的面，以等間隔設(shè)有多個(gè)突狀體(104b)，形成襯墊面。在與該襯墊面對(duì)置的移動(dòng)件(2)的面形成潤滑層(105)。
文檔編號(hào)H02N1/00GK102906986SQ20118002650
公開日2013年1月30日 申請日期2011年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月28日
發(fā)明者高橋德男 申請人:大日本印刷株式會(huì)社