專(zhuān)利名稱(chēng)：用于控制直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于控制具有直線同步電動(dòng)機(jī)的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法和設(shè)備，涉及相應(yīng)的計(jì)算機(jī)程序，并且涉及相應(yīng)的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。
現(xiàn)有技術(shù)直線同步電動(dòng)機(jī)包括縱向定子，至少一個(gè)傳送器可以在所述縱向定子上自由移動(dòng)。生成磁性行波場(chǎng)以用于移動(dòng)(多個(gè))傳送器。定子包括單獨(dú)的線圈單元，每一個(gè)線圈單元都包括至少一個(gè)線圈。通常，通過(guò)將三相電流施加給所述線圈單元來(lái)生成磁性行波場(chǎng)。在 DE 39 00 511 Al中公開(kāi)了公知的直線電動(dòng)機(jī)的一個(gè)實(shí)例。根據(jù)傳送器的實(shí)際位置將具有可變頻率和振幅的電流施加給縱向定子的線圈單元，以便相對(duì)于定子移動(dòng)傳送器。NL 1024992公開(kāi)了一種現(xiàn)有技術(shù)直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，其包括用于使用磁性移動(dòng)裝置來(lái)在循環(huán)輸送電路中移動(dòng)運(yùn)載器的設(shè)備，所述磁性移動(dòng)裝置包括一起工作的磁性單元和可控的線圈單元。這樣的設(shè)備通常被用在自動(dòng)化并且特定的產(chǎn)品設(shè)施中，其中產(chǎn)品被放置在產(chǎn)品運(yùn)載器上。在穿過(guò)輸送電路的循環(huán)期間，產(chǎn)品必須經(jīng)歷若干個(gè)相似的處理步驟。這種設(shè)備的應(yīng)用涉及放置在產(chǎn)品運(yùn)載器上的半導(dǎo)體襯底，在那里要沉積(例如化學(xué)或物理氣相沉積CVD/PVD)各種的超薄層。在這種應(yīng)用領(lǐng)域中，對(duì)于被放置在產(chǎn)品運(yùn)載器上的產(chǎn)品的各種處理動(dòng)作的適當(dāng)執(zhí)行來(lái)說(shuō)，精確控制各種產(chǎn)品運(yùn)載器穿過(guò)循環(huán)輸送電路的移動(dòng)是必要的。磁性移動(dòng)裝置被用來(lái)移動(dòng)產(chǎn)品運(yùn)載器穿過(guò)輸送電路，尤其是為各種處理動(dòng)作的精確性設(shè)置了非常高的要求的地方，所述處理動(dòng)作例如為電子部件的放置或半導(dǎo)體層在襯底上的沉積。致動(dòng)發(fā)生在定子和傳送器之間沒(méi)有接觸、并且沒(méi)有可能干擾產(chǎn)品運(yùn)載器穿過(guò)輸送電路的移動(dòng)的不利影響的情況下，且具有來(lái)彼此獨(dú)立地操縱不同產(chǎn)品運(yùn)載器的可能性。相應(yīng)于現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備包括傳感器裝置，其被提供來(lái)檢測(cè)一個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器的磁體并且在其基礎(chǔ)上來(lái)生成該產(chǎn)品運(yùn)載器的位置信號(hào)。為了輸送電路中的產(chǎn)品運(yùn)載器的精確定位，該檢測(cè)信號(hào)被用來(lái)激發(fā)移動(dòng)裝置。這與獨(dú)立可控的線圈單元相結(jié)合允許單獨(dú)地激發(fā)每一個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器并且允許每一個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器的獨(dú)立于其它產(chǎn)品運(yùn)載器的移動(dòng)/定位。鑒于該現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的目的是提供一種用于控制這種直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法和設(shè)備以便可以形成包括至少兩個(gè)運(yùn)載器的行列。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求的用于控制直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法和設(shè)備，還提供了一種根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求的相應(yīng)的計(jì)算機(jī)程序和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。在從屬權(quán)利要求中限定有利的實(shí)施例。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明提供了一種用于形成包括至少兩個(gè)運(yùn)載器單元的行列，其中所述運(yùn)載器單元可以作為單個(gè)單元移動(dòng)。因此，例如在CVD處理期間，可以減少處理腔所需的空間。特別地， 根據(jù)本發(fā)明形成運(yùn)載器單元的行列可以被有利地用于移動(dòng)運(yùn)載器穿過(guò)處理站，所述處理站在高溫下沉積材料。該爐越小，生產(chǎn)就越便宜并且機(jī)器足跡就越小。此外，需要較少的化學(xué)制品，因?yàn)檫\(yùn)載器單元覆蓋了較大的區(qū)域。在其中可以有利地實(shí)施本發(fā)明的另一示例性應(yīng)用是用于生產(chǎn)硬盤(pán)的濺射處理。以行列形式運(yùn)行運(yùn)載器允許對(duì)于下一代硬盤(pán)來(lái)說(shuō)所需要的 “噴漆”類(lèi)型的工藝。當(dāng)前技術(shù)現(xiàn)狀是運(yùn)載器移動(dòng)到處理腔中、停止、被處理以及離開(kāi)?！皣娖帷狈绞降墓に囕^快，因?yàn)檫\(yùn)載器以連續(xù)速度移動(dòng)穿過(guò)該腔并且在移動(dòng)期間得以處理。當(dāng)行列形式可用時(shí)，這可以在不需要任何緩沖器的情況下完成。此外，本發(fā)明可以有利地被用于物流或輸送系統(tǒng)。特別地，有可能使用由運(yùn)載器形成的行列來(lái)在軌道上提供局部緩沖。根據(jù)本發(fā)明，公開(kāi)了一種控制具有直線同步電動(dòng)機(jī)的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法，所述直線同步電動(dòng)機(jī)包括定子和能夠相對(duì)于所述定子移動(dòng)的至少兩個(gè)運(yùn)載器單元。所述定子包括多個(gè)線圈單元，所述至少兩個(gè)能夠移動(dòng)的運(yùn)載器單元中的每一個(gè)都包括磁性單元，其包括具有規(guī)則磁體極距的交替極性磁體陣列或一系列具有規(guī)則磁體極距的交替極性磁體， 即所述交替極性磁體被布置成使得兩個(gè)相鄰的極性相同的磁體之間的距離是恒定的。該距離被限定為磁性極距。在所述一系列交替極性磁體(alternate-pole)或交替地取極性 (alternatingly poled)的磁體內(nèi)，磁體被布置成使得第一磁體的北極鄰近于第二磁體的南極，所述第二磁體的南極接著又鄰近于第三磁體的北極，等等。為了形成行列，所述至少兩個(gè)運(yùn)載器單元被彼此相對(duì)布置以使得兩個(gè)不同磁性單元的兩個(gè)極性相同的磁體之間的相互距離是磁體極距的整數(shù)倍。根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例，通過(guò)將電流施加于定子線圈單元來(lái)沿著所述定子移動(dòng)所述行列，所述電流相應(yīng)于被施加于定子線圈單元的電流以便移動(dòng)單個(gè)運(yùn)載器單元。因?yàn)樾纬尚辛械倪\(yùn)載器單元被布置成使得極性相同的磁體的距離等于磁性極距，所以形成行列的運(yùn)載器單元有利地呈現(xiàn)為一個(gè)運(yùn)載器單元并且因此可以作為一個(gè)運(yùn)載器單元(即行列)而被控制。根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例，定子線圈單元包括用于確定運(yùn)載器單元的位置的至少一個(gè)傳感器以及用于移動(dòng)所述運(yùn)載器單元的至少一個(gè)線圈。所述傳感器可以是磁性傳感器(例如霍爾傳感器)用于檢測(cè)運(yùn)載器磁性單元的磁場(chǎng)。該實(shí)施例允許運(yùn)載器單元的當(dāng)前位置的精確確定。對(duì)于其他細(xì)節(jié)，參考NL 1024992的全部?jī)?nèi)容。有利地，通過(guò)定位在第一線圈單元上面的第一運(yùn)載器單元和定位在第二線圈單元上面的第二運(yùn)載器單元來(lái)形成行列，以使得所述第一和第二運(yùn)載器單元各自的磁性單元的兩個(gè)極性相同的磁體之間的相互距離是磁體極距的整數(shù)倍，其中所述第二線圈單元鄰近于所述第一線圈單元。因此，可以容易地形成行列，而且由兩個(gè)單獨(dú)的線圈單元來(lái)控制兩個(gè)運(yùn)載器單元。如果以第一運(yùn)載器單元以適當(dāng)?shù)乃俣群拖嗷サ木嚯x進(jìn)入控制第二運(yùn)載器的第二線圈單元的這種方式來(lái)確定該第一運(yùn)載器單元的設(shè)定點(diǎn)，則形成平滑的行列。適當(dāng)?shù)?，通過(guò)施加于所述行列下方的線圈單元的電流來(lái)沿著所述定子移動(dòng)所述運(yùn)載器，僅僅為形成所述行列的所述運(yùn)載器的其中一個(gè)計(jì)算所述電流換向。因此，一旦如上所述的那樣形成了所述行列，則所述行列就可以像單個(gè)運(yùn)載器單元那樣被移動(dòng)，這歸因于相鄰運(yùn)載器單元的磁體的適當(dāng)距離。根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例，當(dāng)所述行列從第一線圈單元經(jīng)過(guò)至第二線圈單元時(shí)，為被定位在所述第一線圈單元上面的第一運(yùn)載器單元計(jì)算電流換向，然后為被定位在所述第一線圈單元上面的所述第一和所述第二線圈單元運(yùn)載器單元、以及然后為被定位在所述第二線圈單元上面的所述第一運(yùn)載器單元計(jì)算電流換向。因此，通過(guò)將行進(jìn)電流施加于相鄰線圈單元，行列可以容易地沿著定子被移動(dòng)。有利地，形成行列并且使該行列移動(dòng)穿過(guò)晶片涂覆處理(尤其諸如CVD或PVD之類(lèi)的半導(dǎo)體沉積處理)的處理腔。本發(fā)明可以有利地在晶片涂覆處理中被實(shí)施，因?yàn)榇嬖趯?duì)緩慢地、連續(xù)地以及利用相同速度移動(dòng)運(yùn)載器單元穿過(guò)處理腔的需要。通過(guò)形成行列，可以實(shí)現(xiàn)這些目的。此外，(多個(gè))處理腔所需的空間可以被減小并且腔內(nèi)部的軌道可以被形成行列的運(yùn)載器單元覆蓋并且因此可以防止被涂覆。發(fā)明的設(shè)備執(zhí)行本發(fā)明方法的所有步驟。包括程序代碼裝置的發(fā)明的計(jì)算機(jī)程序被配置成當(dāng)在計(jì)算機(jī)或相應(yīng)處理單元上 (特別地在發(fā)明的設(shè)備上)實(shí)行計(jì)算機(jī)程序時(shí)執(zhí)行本發(fā)明方法的所有步驟。提供包括存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀數(shù)據(jù)載體上的程序代碼裝置的發(fā)明的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，當(dāng)在計(jì)算機(jī)或相應(yīng)處理單元上(特別地在發(fā)明的設(shè)備上)實(shí)行計(jì)算機(jī)程序時(shí)，所述計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品用于執(zhí)行本發(fā)明的方法。從說(shuō)明書(shū)和所附附圖，本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)和實(shí)施例將變得顯而易見(jiàn)。應(yīng)該指出，在不偏離本發(fā)明范圍的情況下，先前所述的特征以及在下文中要闡述的特征不僅可以在各個(gè)指示的組合中使用而且還可以在其他組合中使用或者單獨(dú)使用。在圖中


圖1示出適合于以本發(fā)明的方式使用的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的示意性平面圖； 圖2示出圖1的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的示意性側(cè)視圖3示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的具有形成行列的兩個(gè)運(yùn)載器的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的示意性側(cè)視圖；以及
圖4示出圖3的放大的細(xì)節(jié)。為了更好地理解本發(fā)明，在下面的描述中相似的元件用相同的參考標(biāo)號(hào)指示。圖1示出適合于以本發(fā)明的方式使用的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)(LMS)的示意性平面圖。LMS 1包括形成輸送電路2的框架，所述輸送電路2包括被形成為輸送分段h、2b、2c和2d的不同定子。各個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器單元IOa-IOk被移動(dòng)地放置在循環(huán)輸送電路的上面。各種產(chǎn)品(未示出)可以被放置在產(chǎn)品運(yùn)載器IOa-IOk上，所述產(chǎn)品運(yùn)載器 IOa-IOk可以在循環(huán)移動(dòng)穿過(guò)輸送電路2期間經(jīng)歷各種處理步驟。例如，放置在產(chǎn)品運(yùn)載器 IOa-IOk上的產(chǎn)品可以包括電子印刷板，在其上必須放置各個(gè)電子部件。在另一應(yīng)用中，產(chǎn)品可以是半導(dǎo)體襯底，在各種工藝步驟(例如太陽(yáng)能電池、芯片或LED等的制造)期間可以在所述半導(dǎo)體襯底上沉積各種薄的金屬或半導(dǎo)體層。圖2示出包括基于磁性的輸送裝置的、圖1的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的細(xì)節(jié)的示意性側(cè)視圖。為了此目的，在輸送電路2中并且在產(chǎn)品運(yùn)載器IOa-IOk的輸送方向上安裝多個(gè)線圈單元30a.30b.30c等等，它們分別包括線圈5a.5b.5c等和傳感器單元7a.7b.7c等。線圈單元30a、30b、30c等與磁性單元6a、6b等相互作用，所述磁性單元6a、6b已被裝在每個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器10a、IOb等上。磁性單元6a、6b等包括交替取極性的磁體的陣列或一系列交替取極性的磁體。在每個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器上的每個(gè)磁性單元6a、6b等的交替取極性的磁體被指定為 6a，、6a”(對(duì)于產(chǎn)品運(yùn)載器IOa) ；6b，、6b”(對(duì)于產(chǎn)品運(yùn)載器IOb)等。通過(guò)以特定方式順序激活線圈單元30a、30b、30c，通過(guò)各種交替取極性的磁體的磁性動(dòng)作(吸引和排斥)和換向?qū)a(chǎn)品運(yùn)載器10a、10b等移動(dòng)穿過(guò)輸送電路2。因此可以在沒(méi)有接觸的情況下發(fā)生致動(dòng)，這改進(jìn)了對(duì)被放置在產(chǎn)品運(yùn)載器10a、10b等上的產(chǎn)品必須執(zhí)行的處理動(dòng)作的精確性。為了提供改進(jìn)的并且更通用的LMS (其能夠彼此獨(dú)立地操縱各個(gè)產(chǎn)品運(yùn)載器10a、 IOb等，并且更具體而言，更精確地為它們定位以用于要被執(zhí)行的處理動(dòng)作)，提供傳感器裝置7a、7b、7c等，它們被裝配來(lái)檢測(cè)產(chǎn)品運(yùn)載器10a、10b等的存在和位置。傳感器裝置7a、 7b、7c等包括各個(gè)傳感器單元7a’、7a”、7b’等，在該實(shí)例中它們被布置成從產(chǎn)品運(yùn)載器的輸送方向上觀看在線圈fe、5b、5c等之前和之后。如在圖2中所示，傳感器裝置7a、7b、7c 的每個(gè)傳感器單元7a’、7a”、7b’等包括兩個(gè)霍爾傳感器C和S。當(dāng)產(chǎn)品運(yùn)載器10a、10b等在一系列順序的交替地取極性的磁極對(duì)產(chǎn)品運(yùn)載器的移動(dòng)/定位的影響下通過(guò)時(shí)，傳感器單元7a’、7a”、7b’等生成檢測(cè)信號(hào)。該檢測(cè)信號(hào)例如是電壓信號(hào)并且由于所使用的兩個(gè)霍爾傳感器C和S，二者都生成具有相互的相位差的正弦導(dǎo)出的電壓信號(hào)。該相位差取決于霍爾傳感器C和S之間的相互的距離。特別地，該距離等于距離P (極距)的四分之一 +連續(xù)的極性相同的磁體之間的距離P的一半的整數(shù)倍。分別由交替地取極性的磁體引起的電壓信號(hào)(其由霍爾傳感器C和S中的每一個(gè)生成)，一方面提供關(guān)于移動(dòng)的產(chǎn)品運(yùn)載器的方向的信息并且另一方面是產(chǎn)品運(yùn)載器相對(duì)于這些霍爾傳感器(并且因此相對(duì)于相應(yīng)的線圈單元)的位置的度量。該信息可以有利地被用來(lái)形成如下所述的行列。圖3示出一個(gè)流程圖，其中在時(shí)間t上兩個(gè)運(yùn)載器10a、10b形成行列并且所述行列作為單個(gè)單元移動(dòng)。在圖中，根據(jù)它們的時(shí)間點(diǎn)來(lái)沿著時(shí)間軸t垂直地布置順序視圖。首先，單個(gè)運(yùn)載器單元IOb被布置在線圈單元30a上。如上所述，該線圈單元30a 包括多個(gè)線圈5和多個(gè)傳感器7。三相行進(jìn)電流被施加給線圈5以便移動(dòng)產(chǎn)品運(yùn)載器單元。然后，第二運(yùn)載器單元IOa從左邊接近第一運(yùn)載器單元10b。如在區(qū)域40 (參考圖4)中所示，運(yùn)載器單元IOa被相對(duì)于運(yùn)載器單元IOb布置以使得兩個(gè)極性相同的磁體的相互的距離是磁體極距的整數(shù)倍。由此，形成行列。一旦運(yùn)載器單元IOa已達(dá)到其行列形成位置，結(jié)果產(chǎn)生的行列20被作為單個(gè)單元由線圈單元30a、30b移動(dòng)。為了將行列移動(dòng)到右邊，運(yùn)載器單元IOb被線圈單元30a移動(dòng)到右邊直到它到達(dá)線圈單元30b的線圈區(qū)域?yàn)橹埂Ｍ瑫r(shí)地，運(yùn)載器單元IOa被線圈單元30a左邊的線圈單元 (未示出)向右邊移動(dòng)，直到它到達(dá)線圈單元30a的線圈區(qū)域?yàn)橹?。在該時(shí)間點(diǎn)處，運(yùn)載器單元IOb由兩個(gè)磁體單元30a和30b控制，而運(yùn)載器單元IOa由線圈單元30a左邊的線圈單元(未示出)控制，并且因?yàn)橄嗤膿Q向而僅由線圈單元30a間接控制?？梢赃@么說(shuō)，因?yàn)橄薅ǖ南嗷ゾ嚯xD，運(yùn)載器單元IOa被聯(lián)結(jié)到線圈單元30a上面的運(yùn)載器單元10b，由此為運(yùn)載器單元IOb計(jì)算的被施加給線圈單元30a的電流也適合于移動(dòng)運(yùn)載器單元10a。隨后，行列移動(dòng)到右邊并且運(yùn)載器單元10a、10b離開(kāi)它們各自下方的線圈單元的線圈區(qū)域。在該時(shí)間點(diǎn)處，運(yùn)載器單元10a、10b的控制被改變以使得運(yùn)載器單元IOb由線圈單元30b控制并且運(yùn)載器單元IOa由線圈單元30a控制。要理解，分別施加給線圈單元 30a和30b的電流適合于維持行列形式。隨著時(shí)間的推移，行列被進(jìn)一步移動(dòng)到右邊直到運(yùn)載器單元IOa到達(dá)線圈單元 30b的線圈區(qū)域并且運(yùn)載器單元IOb到達(dá)線圈單元30b的右邊的線圈單元(未示出)的線圈區(qū)域。然后，如果需要的話，重復(fù)上述過(guò)程。圖4示出圖3的細(xì)節(jié)40的放大視圖，其中兩個(gè)運(yùn)載器10a、IOb形成行列20。每個(gè)運(yùn)載器分別包括交替地取極性的磁體6a’、6a”和6b’、6b”。為了形成行列20，運(yùn)載器單元 IOa和IOb被相對(duì)于彼此布置以使得兩個(gè)極性相同的磁體6a’和6b’之間的相互距離D是磁體極距P的整數(shù)倍，在所示的實(shí)施例中D=P?？梢越Y(jié)合、以不同的順序或者單獨(dú)地執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的方法的所述的步驟。該方法的使用不限于半導(dǎo)體涂覆領(lǐng)域并且本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求來(lái)限定。
權(quán)利要求
1.控制具有直線同步電動(dòng)機(jī)的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法，所述直線同步電動(dòng)機(jī)包括定子(2aJb、2c、2d)和能夠相對(duì)于所述定子(2aJb、2c、2d)移動(dòng)的至少兩個(gè)運(yùn)載器單元 (10a、—UOk),所述定子(2a、2b、2c、2d)包括多個(gè)線圈單元(30a、30b、30c)，所述至少兩個(gè)運(yùn)載器單元(10a、…、10k)中的每個(gè)都包括磁性單元(6a、6b)，其包括具有規(guī)則磁體極距(P)的交替極性的磁體陣列(6a’、6a”； 6b’、6b”)，其中為了形成行列(20)，所述至少兩個(gè)運(yùn)載器單元(10a、…、10k)被相對(duì)于彼此布置以使得兩個(gè)不同磁性單元(6a、6b)的兩個(gè)極性相同的磁體(6a’、6b’ ；6a”、6b”)之間的相互距離(D)是磁體極距(P)的整數(shù)倍。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中通過(guò)對(duì)所述定子線圈單元(30a、30b、30c)施加電流來(lái)沿著定子(2a、2b、2c、2d)移動(dòng)所述行列(20)，所述電流相應(yīng)于被施加給所述定子線圈單元(30a、30b、30c)的電流以便移動(dòng)單個(gè)運(yùn)載器單元(10a、…、10k)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中所述定子線圈單元(30a、30b、30c)包括用于確定所述運(yùn)載器單元(10a、-UOk)中的至少一個(gè)的位置的至少一個(gè)傳感器(7a’、7a”， 7b，、7b”，7c，、7c”;7)和用于移動(dòng)所述運(yùn)載器單元(10a、…、10k)中的至少一個(gè)的至少一個(gè)線圈(fe、5b、5c ；5)。
4.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中由定位于第一線圈單元(30a)上面的第一運(yùn)載器單元(IOb)以及定位于鄰近于所述第一線圈單元(30a)的第二線圈單元上面的第二運(yùn)載器單元(IOa)形成行列(20)，以使得所述第一運(yùn)載器單元(IOb)和第二運(yùn)載器單元 (IOa)各自的磁體單元的兩個(gè)極性相同的磁體(6b’、6a’ ；6b”、6a”)之間的相互距離(D)是磁體極距(D)的整數(shù)倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中通過(guò)施加給在所述行列(20)下方的線圈單元 (30a)的電流來(lái)沿著所述定子(2a、2b、2c、2d)移動(dòng)所述行列(20)，其中僅僅為形成行列 (20)的所述運(yùn)載器單元(10a，IOb)其中之一計(jì)算所述電流換向。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中當(dāng)所述行列(20)從所述第一線圈單元(30a)經(jīng)過(guò)至所述第二線圈單元(30b)時(shí)，為被定位在所述第一線圈單元(30a)上面的所述第一運(yùn)載器單元(IOb)計(jì)算所述電流換向，然后為被定位在所述第一線圈單元(30a)和所述第二線圈單元(30b)上面的所述第一運(yùn)載器單元(IOb)計(jì)算所述電流換向，以及然后為被定位在所述第二線圈單元(30b)上面的所述第一運(yùn)載器單元(IOb)計(jì)算所述電流換向。
7.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中形成行列并且使所述行列移動(dòng)穿過(guò)晶片涂覆處理的處理腔，所述晶片涂覆處理例如為CVD、PVD、濺射處理和/或等離子體增強(qiáng)的 CVD，尤其是半導(dǎo)體沉積處理。
8.用于執(zhí)行根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的方法的所有步驟的設(shè)備。
9.計(jì)算機(jī)程序，其包括當(dāng)在計(jì)算機(jī)或相應(yīng)的處理單元上執(zhí)行該計(jì)算機(jī)程序時(shí)用于執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的方法的所有步驟的計(jì)算機(jī)代碼裝置。
10.包括存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀數(shù)據(jù)載體上的程序代碼裝置的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，當(dāng)在計(jì)算機(jī)或相應(yīng)的處理單元上執(zhí)行該計(jì)算機(jī)程序時(shí)其用于執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的方法的所有步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于控制具有直線同步電動(dòng)機(jī)的直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的方法，所述直線同步電動(dòng)機(jī)包括定子和能夠相對(duì)于所述定子移動(dòng)的至少兩個(gè)運(yùn)載器單元(10a、10b)，所述定子包括多個(gè)線圈單元(30a、30b)，所述至少兩個(gè)運(yùn)載器單元(10a、10b)中的每一個(gè)都包括磁性單元，其包括具有規(guī)則磁體極距的交替極性的磁體陣列，其中為了形成行列，所述至少兩個(gè)運(yùn)載器單元(10a、10b)被相對(duì)于彼此布置以使得兩個(gè)不同磁性單元的兩個(gè)極性相同的磁體之間的相互距離是磁體極距的整數(shù)倍。
文檔編號(hào)H02P6/00GK102273062SQ200980153056
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2009年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月31日
發(fā)明者潘克拉斯 W., 迪爾克斯 W. 申請(qǐng)人:羅伯特·博世有限公司