雙擺臂封裝設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種雙擺臂封裝設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的半導(dǎo)體封裝設(shè)備中,對(duì)于擺臂的設(shè)置通常都是將一個(gè)擺臂安裝于主軸上,由主軸帶動(dòng)擺臂在承片臺(tái)和封裝臺(tái)之間來回運(yùn)動(dòng),完成封裝作業(yè)。隨著技術(shù)的不斷改進(jìn),也出現(xiàn)了很多對(duì)于擺臂的改進(jìn)。
[0003]中國(guó)專利CN102543801A公開了一種固晶機(jī),其設(shè)置了兩套擺臂和主軸的機(jī)構(gòu),即第一固晶擺臂51和第二固晶擺臂61,其將承片臺(tái)設(shè)置于中間,其兩側(cè)分設(shè)有兩個(gè)封裝臺(tái)。該專利中,采用了兩套固晶擺臂,固晶速度相較于一套固晶擺臂可以很明顯地得到提高,但是由于其來回?cái)[動(dòng)過程中,由于速度的顯著提升,精度便變得難以控制,使得固晶擺臂在精度上出現(xiàn)一定的損失。
[0004]中國(guó)專利CN203367247U公開了一種多用途封裝設(shè)備,其采用了兩個(gè)固晶擺臂和一個(gè)主軸的機(jī)構(gòu),兩個(gè)固晶擺臂的一端集中安裝于主軸上,兩個(gè)固晶擺臂還呈一直線設(shè)置,封裝臺(tái)和承片臺(tái)分設(shè)于兩側(cè)。該專利中,兩個(gè)固定擺臂在封裝時(shí)是依次在封裝臺(tái)和承片臺(tái)上來回運(yùn)動(dòng),該固定擺臂設(shè)置相較于中國(guó)專利CN102543801A的好處在于可以擴(kuò)大固晶擺臂的運(yùn)動(dòng)行程,并且一直線的設(shè)置還有助于對(duì)精度的控制,但是由于運(yùn)動(dòng)行程加大,其在速度上又出現(xiàn)了一定的損失。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供了一種可以兼顧速度和精度的雙擺臂封裝設(shè)備。
[0006]為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]雙擺臂封裝設(shè)備,包括機(jī)座、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)、封裝臺(tái)和承片臺(tái),其還包括:
[0008]主軸,其安裝于封裝臺(tái)和承片臺(tái)之間;
[0009]第一擺臂和第二擺臂,該第一擺臂和第二擺臂的一端集中安裝于主軸上,第一擺臂和第二擺臂之間形成90度的夾角;
[0010]第一驅(qū)動(dòng)裝置,其連接主軸,用于驅(qū)動(dòng)主軸沿周向旋轉(zhuǎn),從而帶述第一擺臂和第二擺臂依次經(jīng)過封裝臺(tái)和承片臺(tái);
[0011]第二驅(qū)動(dòng)裝置,其連接第一擺臂和第二擺臂,用于驅(qū)動(dòng)第一擺臂和第二擺臂沿主軸的軸向運(yùn)動(dòng)。
[0012]本實(shí)用新型通過將兩個(gè)固晶擺臂設(shè)置成兩者之間形成90度夾角的結(jié)構(gòu),并通過第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置來驅(qū)動(dòng)其運(yùn)動(dòng),其首先一套固晶擺臂可以提高固晶的速度,速度水平可以達(dá)到甚至超過中國(guó)專利CN102543801A的固晶機(jī)的固晶速度;其次,該結(jié)構(gòu)的90度夾角設(shè)置相較于中國(guó)專利CN203367247U可以縮小固晶擺臂的運(yùn)動(dòng)行程,從而相較于該專利可以提高固晶擺臂的固晶速度,同時(shí)其90度夾角的設(shè)置原理類似于中國(guó)專利CN203367247U的一直線設(shè)置,可以有助于對(duì)精度的控制,因此該結(jié)構(gòu)相較于中國(guó)專利CN102543801A又取得了精度上的優(yōu)勢(shì),其精度水平可以達(dá)到中國(guó)專利CN203367247U的固晶速度。
[0013]可以看到的是,本實(shí)用新型相較于在先技術(shù)的結(jié)構(gòu)改進(jìn)雖然較為簡(jiǎn)單,但是其確實(shí)解決了在先技術(shù)無法兼顧速度和精度的技術(shù)問題,換句話說,本實(shí)用新型相較于在先技術(shù)取得了意想不到的技術(shù)效果。
[0014]因此,本實(shí)用新型相較于現(xiàn)有技術(shù)的有益效果在于,可以同時(shí)保證固晶擺臂具有速度和精度上的優(yōu)勢(shì),在提高速度的同時(shí)可以保證精度,在提高精度的同時(shí)也可以保證速度。
[0015]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上,本實(shí)用新型還可以作如下改進(jìn):
[0016]作為優(yōu)選的方案,上述的第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)主軸沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)后,該主軸轉(zhuǎn)動(dòng)到底并復(fù)位,然后第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)該主軸沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動(dòng),以此類推。
[0017]采用上述優(yōu)選的方案,固晶擺臂以該形式轉(zhuǎn)動(dòng),相較于傳統(tǒng)的一直朝一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng),可以保證對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)角度的有效控制,如果固晶擺臂一直在朝向一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)的話,那么對(duì)于其單位時(shí)間的轉(zhuǎn)動(dòng)角度的控制精度就會(huì)降低,系統(tǒng)無法準(zhǔn)確地捕捉到固晶擺臂轉(zhuǎn)動(dòng)的起點(diǎn)和終點(diǎn),從而也無法準(zhǔn)確及時(shí)地獲知固晶擺臂的轉(zhuǎn)動(dòng)角度是否已經(jīng)達(dá)到設(shè)定角度,影響精度,將轉(zhuǎn)動(dòng)改為沿第一方向和第二方向依次轉(zhuǎn)動(dòng)后,便可以準(zhǔn)確地捕捉到固晶擺臂轉(zhuǎn)動(dòng)的起點(diǎn)和終點(diǎn),從而也可以準(zhǔn)確及時(shí)地獲知固晶擺臂的轉(zhuǎn)動(dòng)角度是否已經(jīng)達(dá)到設(shè)定角度,保證精度,使得本實(shí)用新型可以進(jìn)一步地提高其精度水平。
[0018]作為優(yōu)選的方案,上述的封裝臺(tái)和承片臺(tái)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上還分設(shè)有料片移動(dòng)裝置。
[0019]采用上述優(yōu)選的方案,在運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置料片移動(dòng)裝置,使得料片相對(duì)于運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的軌道可以移動(dòng),從而可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的依靠焊頭移動(dòng)來調(diào)整固晶位置的作法,使得焊頭和相機(jī)可以保持靜止位置,使得相機(jī)不會(huì)因?yàn)轭l繁移動(dòng)而對(duì)運(yùn)動(dòng)的檢測(cè)精度產(chǎn)生影響,有效地消除掉這種影響所產(chǎn)生的誤差,焊頭不再頻繁移動(dòng)也可以消除其對(duì)鏡頭的影響,不再會(huì)擋住鏡頭的視線。因此,通過該改進(jìn),可以使得固晶精度得到提升。
[0020]作為優(yōu)選的方案,上述的料片移動(dòng)裝置的一側(cè)具有阻擋部,相對(duì)的另一側(cè)為開放式設(shè)計(jì)。
[0021]采用上述優(yōu)選的方案,通過開放式的設(shè)計(jì),可以使得料片移動(dòng)裝置適應(yīng)各種大小的料片,也可以便于對(duì)料片的擺放位置進(jìn)行調(diào)整和設(shè)定。
[0022]作為優(yōu)選的方案,上述的料片移動(dòng)裝置包括:
[0023]底座,其固定安裝于封裝臺(tái)或承片臺(tái)的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;
[0024]滑軌,其固定安裝于底座上;
[0025]滑塊,其由第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)沿滑軌來回滑動(dòng),該滑塊的一側(cè)還具有延伸部,該延伸部用于壓住料片并帶動(dòng)其來回運(yùn)動(dòng)。
[0026]采用上述優(yōu)選的方案,在保證料片移動(dòng)裝置可以取得上述技術(shù)效果的同時(shí),也可以保證對(duì)于料片的移動(dòng)精度和調(diào)整速度。
[0027]作為優(yōu)選的方案,上述的滑塊呈Z形。
[0028]采用上述優(yōu)選的方案,利用Z形的結(jié)構(gòu),可以穩(wěn)固地壓住料片,防止其在移動(dòng)過程發(fā)生脫開現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0029]圖1為本實(shí)用新型的雙擺臂封裝設(shè)備的俯視圖。
[0030]圖2為圖1的左視圖。
[0031]圖3為本實(shí)用新型的雙擺臂封裝設(shè)備中所涉及的滑塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]其中,1.機(jī)座2.點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)3.封裝臺(tái)31.驅(qū)動(dòng)裝置4.承片臺(tái)41.驅(qū)動(dòng)裝置 51.主軸 52.第一擺臂 53.第二擺臂 54.第一驅(qū)動(dòng)裝置 55.第二驅(qū)動(dòng)裝置
6.料片移動(dòng)裝置61.阻擋部62.底座63.滑軌64.滑塊641.延伸部7.料片。
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0034]為了達(dá)到本實(shí)用新型的目的,如圖1-2所示,在本實(shí)用新型的雙擺臂封裝設(shè)備的其中一些實(shí)施方式中,包括機(jī)座1、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)2、封裝臺(tái)3和承片臺(tái)4,封裝臺(tái)3和承片臺(tái)4分別由驅(qū)動(dòng)裝置31和驅(qū)動(dòng)裝置41驅(qū)動(dòng)沿X、Y、Z等多個(gè)方向移動(dòng),驅(qū)動(dòng)裝置31和驅(qū)動(dòng)裝置41可以具體為直線電機(jī)等已知的驅(qū)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置,對(duì)于這些部件的具體結(jié)構(gòu)和連接關(guān)系,都可以從現(xiàn)有技術(shù)中獲知,在此不再一一贅述,而作為改進(jìn)之處,該雙擺臂封裝設(shè)備還包括:主軸51,其安裝于封裝臺(tái)3和承片臺(tái)4之間;第一擺臂52和第二擺臂53,該第一擺臂52和第二擺臂53的一端集中安裝于主軸51上,第一擺臂52和第二擺臂53之間形成90度的夾角;第一驅(qū)動(dòng)裝置54,其連接主軸51,用于驅(qū)動(dòng)主軸51沿周向旋轉(zhuǎn),從而帶述第一擺臂52和第二擺臂53依次經(jīng)過封裝臺(tái)3和承片臺(tái)4,該第一驅(qū)動(dòng)裝置54具體可以為電機(jī)或者旋轉(zhuǎn)氣缸等已知的用于驅(qū)動(dòng)部件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置;第二驅(qū)動(dòng)裝置55,其連接第一擺臂52和第二擺臂53,用于驅(qū)動(dòng)第一擺臂52和第二擺臂53沿主軸51的軸向運(yùn)動(dòng),該第二驅(qū)動(dòng)裝置55具體可以為電機(jī)等已知的驅(qū)動(dòng)裝置。
[0035]本雙擺臂封裝設(shè)備通過將兩個(gè)固晶擺臂設(shè)置成兩者之間形成90度夾角的結(jié)構(gòu),并通過第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置來驅(qū)動(dòng)其運(yùn)動(dòng),其首先一套固晶擺臂可以提高固晶的速度,速度水平可以達(dá)到甚至超過中國(guó)專利CNl 02543801A的固晶機(jī)的固晶速度;其次,該結(jié)構(gòu)的90度夾角設(shè)置相較于中國(guó)專利CN20336