晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及晶圓制造領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓(Wafer)是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。經(jīng)過(guò)前處理、電鍍、清洗后的晶圓需要盡快放入晶圓存儲(chǔ)盒中進(jìn)行密封存儲(chǔ)，避免在存放過(guò)程中被空氣中的灰塵、水汽等雜質(zhì)二次污染，影響晶圓的品質(zhì)?，F(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)經(jīng)過(guò)前處理、電鍍、清洗后的晶圓需要密封存儲(chǔ)時(shí)，一般通過(guò)工人手動(dòng)抓取晶圓存儲(chǔ)盒的盒蓋，打開(kāi)容腔，待晶圓放入容腔后，再通過(guò)工人手動(dòng)抓取盒蓋蓋住容腔，效率低，延長(zhǎng)了晶圓在空氣中的暴露的時(shí)間，使晶圓受到污染。工人手動(dòng)操作，勞動(dòng)強(qiáng)度大，用人成本高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可自動(dòng)打開(kāi)晶圓存儲(chǔ)盒的盒蓋的晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置。
[0004]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置，其特征在于，包括:
[0006]支撐臺(tái)；所述支撐臺(tái)用于支撐晶圓存儲(chǔ)盒；
[0007]盒蓋抓取裝置；所述盒蓋抓取裝置設(shè)置在所述支撐臺(tái)的一側(cè)，用于抓取晶圓存儲(chǔ)盒的盒蓋；所述盒蓋抓取裝置可相對(duì)所述支撐臺(tái)移動(dòng)。
[0008]優(yōu)選地是，還包括定位裝置；所述定位裝置包括兩個(gè)以上定位柱；所述定位柱設(shè)置在所述支撐臺(tái)上并凸出所述支撐臺(tái)；晶圓存儲(chǔ)盒上設(shè)有與所述定位柱相適應(yīng)的插孔或插槽；所述定位柱插入插槽，將晶圓存儲(chǔ)盒定位在所述支撐臺(tái)上的指定位置。
[0009]優(yōu)選地是，還包括位置檢測(cè)裝置；所述位置檢測(cè)裝置用于檢測(cè)晶圓存儲(chǔ)盒是否位于指定的位置。
[0010]優(yōu)選地是，所述位置檢測(cè)裝置包括至少一個(gè)活動(dòng)塊；所述活動(dòng)塊設(shè)置在所述支撐臺(tái)上凸出所述支撐臺(tái)，且可相對(duì)所述支撐臺(tái)做升降運(yùn)動(dòng)；每個(gè)所述活動(dòng)塊的下方均設(shè)有一個(gè)開(kāi)關(guān)；所述活動(dòng)塊下降后開(kāi)啟所述開(kāi)關(guān)或關(guān)閉所述開(kāi)關(guān)。
[0011]優(yōu)選地是，還包括鎖緊裝置；所述鎖緊裝置用于將晶圓存儲(chǔ)盒鎖緊在所述支撐臺(tái)上。
[0012]優(yōu)選地是，所述鎖緊裝置包括擋塊；所述擋塊可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支撐臺(tái)上；所述擋塊與所述支撐臺(tái)之間設(shè)有空隙；還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述擋塊轉(zhuǎn)動(dòng)或通過(guò)第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述擋塊轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一伺服電機(jī)或第一氣缸；所述擋塊插入晶圓存儲(chǔ)盒上的插孔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度后，將所述晶圓存儲(chǔ)盒限制在所述之支撐臺(tái)上。
[0013]優(yōu)選地是，還包括支架；所述支架包括底座和豎板；所述支撐臺(tái)可移動(dòng)地設(shè)置在所述底座上；所述豎板設(shè)置在所述底座的一側(cè)；所述盒蓋抓取裝置包括蓋板；所述豎板設(shè)置有通孔；所述蓋板可拆卸地設(shè)置在所述豎板上并封住所述通孔；所述底座和所述蓋板分別位于所述豎板的兩側(cè)。
[0014]優(yōu)選地是，還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支撐臺(tái)相對(duì)所述支架移動(dòng)或通過(guò)第二傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支撐臺(tái)相對(duì)所述支架移動(dòng)；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為第二伺服電機(jī)或第二氣缸。
[0015]優(yōu)選地是，所述第二傳動(dòng)裝置為第一絲杠螺母；所述第一絲杠螺母包括螺紋配合的第一絲桿和第一螺母；所述第一絲桿和所述第一螺母中的一個(gè)受所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，另一個(gè)與所述支撐臺(tái)連接。
[0016]優(yōu)選地是，還包括轉(zhuǎn)軸；所述蓋板可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上；還包括第三驅(qū)動(dòng)裝置；所述第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)或通過(guò)第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第三驅(qū)動(dòng)裝置為第三伺服電機(jī)或第三氣缸。
[0017]優(yōu)選地是，還包括第四驅(qū)動(dòng)裝置；所述第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板做升降運(yùn)動(dòng)或通過(guò)第四傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板做升降運(yùn)動(dòng)；所述第四驅(qū)動(dòng)裝置為第四伺服電機(jī)或第四氣缸。
[0018]優(yōu)選地是，還包括伸縮臂，所述伸縮臂包括套筒和伸縮桿，所述伸縮桿插置于所述套筒內(nèi)并可沿所述套筒移動(dòng)以調(diào)整伸縮臂的長(zhǎng)度；所述伸縮臂下端可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述轉(zhuǎn)軸上；第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮臂繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)或通過(guò)第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮臂繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮桿和套筒之一移動(dòng)或通過(guò)第四傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮桿和套筒之一移動(dòng)。
[0019]優(yōu)選地是，所述第四傳動(dòng)裝置為第二絲杠螺母；所述第二絲杠螺母包括螺紋配合的第二絲桿和第二螺母；所述第二絲桿和所述第二螺母中的一個(gè)受所述第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，另一個(gè)與所述蓋板連接。
[0020]優(yōu)選地是，所述蓋板上設(shè)有吸盤(pán)；所述吸盤(pán)用于吸附盒蓋。
[0021]優(yōu)選地是，所述支撐臺(tái)攜帶晶圓存儲(chǔ)盒朝所述豎板移動(dòng)后，使晶圓存儲(chǔ)盒抵靠在豎板上；所述蓋板抓取所述盒蓋。
[0022]本實(shí)用新型提供的晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置，提供支撐臺(tái)支撐晶圓存儲(chǔ)盒，通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)盒蓋抓取裝置抓取盒蓋、并帶動(dòng)盒蓋移動(dòng)，從而打開(kāi)或蓋住容腔，速度快，盡可能地縮短了處理好的晶圓暴露在空氣中的時(shí)間，避免晶圓受到二次污染，提高晶圓的品質(zhì)。同時(shí)提高了自動(dòng)化程度，省時(shí)省力，生產(chǎn)效率大大提高，勞動(dòng)強(qiáng)度大大降低。
【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1為本實(shí)用新型中的晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型中的晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為圖2所示結(jié)構(gòu)的另一角度示意圖；
[0026]圖4為本實(shí)用新型中的支撐臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖5為本實(shí)用新型中的支撐臺(tái)和底座的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖6為本實(shí)用新型中的底座的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖7為本實(shí)用新型中的豎板的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖8為本實(shí)用新型中的盒蓋抓取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0032]晶圓存儲(chǔ)盒包括盒體和盒蓋。盒體設(shè)有容腔，容腔用于存儲(chǔ)晶圓。盒蓋設(shè)置在盒體上蓋住容腔。盒蓋和盒體可拆分。盒蓋與盒體分離后，容腔打開(kāi)。晶圓存儲(chǔ)盒的結(jié)構(gòu)為公知技術(shù)。
[0033]如圖1和2所示，晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置，包括支架1，支架包括底座11和豎板12。底座11上設(shè)有支撐臺(tái)2，支撐臺(tái)2用于支撐晶圓存儲(chǔ)盒。豎板12設(shè)置在底座11的一側(cè)，開(kāi)設(shè)有通孔13，通孔13與盒蓋相適應(yīng)，盒蓋可穿過(guò)通孔13。晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置還包括盒蓋抓取裝置，盒蓋抓取裝置包括蓋板3。蓋板3和支撐臺(tái)2分別位于豎板12的兩側(cè)。蓋板3可拆卸地安裝在豎板12上，并封住通孔13。蓋板3用于將盒蓋從晶圓存儲(chǔ)盒上取下，并吸附盒蓋。
[0034]如圖4和5所示，支撐臺(tái)2上設(shè)有定位裝置，定位裝置包括三個(gè)定位柱21。定位柱21凸出支撐臺(tái)2。晶圓存儲(chǔ)盒上設(shè)置有與定位柱21相配合的插孔或插槽，定位柱插入盒體上的插孔內(nèi)，將晶圓存儲(chǔ)盒定位在支撐臺(tái)2上的指定位置，且可阻止晶圓存儲(chǔ)盒與支撐臺(tái)2沿水平方向相對(duì)移動(dòng)。
[0035]支撐臺(tái)2上還設(shè)有位置檢測(cè)裝置，位置檢測(cè)裝置用于檢測(cè)晶圓存儲(chǔ)盒是否處于指定的位置。根據(jù)位置檢測(cè)裝置包括三個(gè)活動(dòng)塊22?；顒?dòng)塊22凸出支撐臺(tái)2，且可相對(duì)支撐臺(tái)2做升降運(yùn)動(dòng)。每個(gè)活動(dòng)塊22的下方均設(shè)有一個(gè)觸發(fā)開(kāi)關(guān)23。當(dāng)活動(dòng)塊22向下移動(dòng)一定的距離后開(kāi)啟或關(guān)閉開(kāi)關(guān)23。當(dāng)三個(gè)開(kāi)關(guān)23均開(kāi)啟或關(guān)閉后，可判斷晶圓存儲(chǔ)盒位于指定的位置。
[0036]支撐臺(tái)2上還設(shè)有鎖緊裝置，鎖緊裝置用于將晶圓存儲(chǔ)盒鎖緊在支撐臺(tái)2上。鎖緊裝置包括擋塊24。擋塊24凸出支撐臺(tái)2，且與支撐臺(tái)2之間設(shè)有間隙。擋塊24可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置。還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一伺服電機(jī)41。第一伺服電機(jī)41驅(qū)動(dòng)擋塊24轉(zhuǎn)動(dòng)。擋塊24插入盒體上的插孔內(nèi)并轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度后，將晶圓存儲(chǔ)盒限制在支撐臺(tái)2上，防止存儲(chǔ)盒掉落，從而將晶圓存儲(chǔ)盒鎖緊在支撐臺(tái)2上。再次轉(zhuǎn)動(dòng)擋塊24，可使擋塊24從插孔內(nèi)移出，對(duì)晶圓存儲(chǔ)盒接觸鎖緊。
[0037]如圖5和6所示，支撐臺(tái)2可在底座11上移動(dòng)，靠近或遠(yuǎn)離豎板12。晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置。第二驅(qū)動(dòng)裝置為第二伺服電機(jī)42。第二伺服電機(jī)42通過(guò)第二傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)支撐臺(tái)2移動(dòng)。第二傳動(dòng)裝置為第一絲杠螺母，第一絲杠螺母包括螺紋配合的第一絲桿51和第一螺母52。第一絲桿51可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座11上，受第二伺服電機(jī)42驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。第一螺母52與支撐臺(tái)2連接，帶動(dòng)支撐臺(tái)2沿第一絲桿51移動(dòng)。
[0038]晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置還包括第一導(dǎo)向裝置，第一導(dǎo)向裝置包括兩個(gè)導(dǎo)向桿61。兩個(gè)導(dǎo)向桿61分別設(shè)置在第一絲桿51的兩側(cè)。第一螺母52的兩端分別設(shè)置在兩個(gè)導(dǎo)向桿61上，且可沿第一導(dǎo)向桿61移動(dòng)。第一導(dǎo)向桿61可限制第一螺母52轉(zhuǎn)動(dòng)，使第一螺母51在第一絲桿51轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)沿第一絲桿51轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)支撐臺(tái)2移動(dòng)，提供移動(dòng)的穩(wěn)定性。
[0039]如圖3和7所示，豎板12上設(shè)置有伸縮臂60和轉(zhuǎn)軸14。伸縮臂60通過(guò)轉(zhuǎn)軸14可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝。蓋板3設(shè)置在伸縮臂60上端。。晶圓存儲(chǔ)盒開(kāi)蓋裝置還包括第三驅(qū)