一種激光腔的平行性調(diào)整裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種YAG固體激光器光學諧振腔的平行性調(diào)整裝置。
【背景技術】
[0002] 目前，固體激光器普遍采用光激勵方式將處于基態(tài)的粒子抽運到激發(fā)態(tài)，W形成 粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)。光激勵又分為氣體放電燈激勵和半導體激光器激勵兩種方式，脈沖気燈 就是氣體放電燈激勵方式之一。脈沖気燈粟浦的固體激光器具有制造簡單、操作方便、價 格低廉等獨特的優(yōu)勢，得到廣泛應用。小型脈沖気燈粟浦固體激光器中的光學諧振腔大部 分采用的是平平腔，即兩表面都是平面反射鏡。該種結(jié)構的諧振腔大部分采用平行光管對 腔內(nèi)晶體和光學元件進行位置的調(diào)節(jié)，不僅增加了調(diào)試過程的工作量和復雜度，而且對調(diào) 試人員的技術要求較高，影響了成品激光器生產(chǎn)產(chǎn)量的提高。
[0003] 在本實用新型作出之前，公開號為201838887U的中國實用新型專利提供了一種 貼片式固體激光器的調(diào)整裝置，包括機械夾具W及真空粟；機械夾具包括本體部、端面光滑 且彼此平行的第一連接部和第二連接部，第一連接部和第二連接部的端面分別與形成諧振 腔的兩晶體接觸，并且端面與本體部上開設的出氣口相通，真空粟連接出氣口。由于該調(diào)整 裝置的機械夾具的第一連接部和第二連接部的端面光滑且互相平行，因此，可W通過調(diào)節(jié) 端面的平行度來調(diào)節(jié)形成諧振腔的兩個晶體之間的平行度。但由于采用了專用的機械夾具 及真空粟等，調(diào)整裝置結(jié)構較為復雜，不利于固體激光器在維修等情況下的平行性調(diào)整。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本實用新型針對現(xiàn)有固體激光器在諧振腔調(diào)整方面存在的不足，提供一種結(jié)構簡 單，安裝方便，精度可靠，操作容易，技術易掌握、推廣的YAG激光腔平行性調(diào)整的裝置。
[0005] 實現(xiàn)本實用新型目的采取的技術方案是；一種激光腔的平行性調(diào)整裝置，所述的 激光腔為YAG固體激光器光學諧振腔，包括全反射鏡、半透膜，其特征在于；分光鏡置于參 考化-Ne激光器和全反射鏡之間，呈水平45°放置，在分光鏡的正下方，水平設置一個光電 位置敏感器，它的輸出端信號經(jīng)轉(zhuǎn)換電路與計算器連接。
[0006] 在本實用新型技術方案中，光電位置敏感器包括4個光電位置敏感單元，它們的 輸出端分別與對應的比較器連接；比較器輸出信號經(jīng)A/D數(shù)據(jù)采集器，將模擬信號轉(zhuǎn)換為 數(shù)字信號后輸入計算器。
[0007] 采用本實用新型技術方案提供的激光腔的平行性調(diào)整裝置，其調(diào)整的方法包括如 下步驟：
[0008] 1、移去全反射鏡，打開參考化-Ne激光器，激光經(jīng)激光腔上的半透膜反射 后再經(jīng)分光鏡分光，入射到光電位置敏感器的接收面上形成光點，光電位置敏感 器的輸出端將電流信號經(jīng)轉(zhuǎn)換電路輸入計算器器，得到接收面上光點的位置坐標 巧x"v);調(diào)整激光腔的半透膜位置，至半透膜的反射光處在光電位置敏感器的接收面的中 也處，即光點坐標巧-y)=巧0:巧；
[0009] 2、將全反射鏡置于激光腔與分光鏡之間，參考化-Ne激光器所發(fā)射的激光經(jīng)全反 射鏡反射后再經(jīng)分光鏡分光，入射到光電位置敏感器的接收面上形成光點，光電位置敏感 器的輸出端將電流信號經(jīng)轉(zhuǎn)換電路輸入計算器，調(diào)整全反射鏡的位置，至光點坐標處在光 電位置敏感器的接收面的中也處，即激光腔的半透膜與全反射鏡處于平行狀態(tài)。
[0010] 本實用新型光電位置敏感器包括4個光電位置敏感單元，它們的輸出端分別將 對應的電流信號心L、ig和輸入到對應的比較器，再經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換后輸入到計算器，按式：
【主權項】
1. 一種激光腔的平行性調(diào)整裝置，其特征在于：它包括參考He-Ne激光器、分光鏡、光 電位置敏感器和計算器；分光鏡置于參考He-Ne激光器和激光腔的全反射鏡之間，呈水平 45°放置；在分光鏡的正下方，水平設置一個光電位置敏感器，它的輸出端信號經(jīng)轉(zhuǎn)換電路 與計算器連接。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種激光腔的平行性調(diào)整裝置，其特征在于：光電位置敏感 器包括4個光電位置敏感單元，它們的輸出端分別與對應的比較器連接；比較器輸出信號 經(jīng)A/D數(shù)據(jù)采集器，將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號后輸入計算器。
【專利摘要】本實用新型公開了一種激光腔的平行性調(diào)整裝置。將分光鏡置于參考He-Ne激光器和全反射鏡之間，在分光鏡的正下方，水平設置一個光電位置敏感器，它的輸出端信號經(jīng)轉(zhuǎn)換電路與計算器連接。平行性調(diào)整時，參考He-Ne激光器發(fā)出的光，經(jīng)半透膜和全反射鏡兩表面反射至分光鏡正下方的PSD接收器；接收器將兩次反射的光轉(zhuǎn)為電信號同時傳輸計算器，調(diào)整全反射鏡的位置，當光電位置敏感器的各單元輸出的電流相同時，即表明激光腔的半透膜與全反射鏡處于平行狀態(tài)。本實用新型提供的調(diào)節(jié)裝置結(jié)構簡單，易于觀測；調(diào)節(jié)方法具有操作方便，調(diào)節(jié)技術易掌握和推廣的顯著特點，可有效提高成品固體激光器生產(chǎn)的調(diào)試效率，及激光器維修后的調(diào)整。
【IPC分類】H01S3-086
【公開號】CN204361474
【申請?zhí)枴緾N201420799146
【發(fā)明人】姚慶香, 陳寶華, 吳泉英, 徐文, 侯育煒
【申請人】蘇州科技學院, 蘇州億帝電子科技有限公司, 蘇州一光儀器有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月17日