晶圓轉(zhuǎn)換裝置及其晶圓轉(zhuǎn)換方法
【專利摘要】一種晶圓轉(zhuǎn)換裝置，可供一第一承載架及一第二承載架放置，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量與所述第二容置槽的數(shù)量不同，該晶圓轉(zhuǎn)換裝置包含一基座、一第一定位架、一第二定位架、一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，及一頂推機(jī)構(gòu)。該第一承載架及該第二承載架分別放置于該第一、第二定位架，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)該第一承載架在一第一高度位置及一第二高度位置間轉(zhuǎn)換，再借由該頂推機(jī)構(gòu)將第一承載架中的晶圓推送至該第二承載架中。
【專利說(shuō)明】
晶圓轉(zhuǎn)換裝置及其晶圓轉(zhuǎn)換方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)換裝置，特別是涉及一種用以將一承載架內(nèi)的晶圓轉(zhuǎn)移傳送至另一個(gè)承載架內(nèi)的晶圓轉(zhuǎn)換裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制程中，晶圓需通過(guò)多種機(jī)臺(tái)的加工制程，通過(guò)承載裝置承載晶圓在不同的制程機(jī)臺(tái)間移動(dòng)，以確保晶圓在移動(dòng)過(guò)程中不會(huì)損壞。為了配合不同制程所需的機(jī)臺(tái)及制程環(huán)境，晶圓需存放在不同構(gòu)型的承載裝置，而當(dāng)晶圓要在不同承載裝置間轉(zhuǎn)換時(shí)，會(huì)使用晶圓轉(zhuǎn)換裝置來(lái)協(xié)助晶圓在兩不同承載裝置間安全地互換位置。晶圓轉(zhuǎn)換裝置的使用概念是操作人員先將要轉(zhuǎn)出晶圓的承載裝置及要接收晶圓的承載裝置依照順序放置在晶圓轉(zhuǎn)換裝置上的指定位置，確認(rèn)兩承載裝置放置的位置正確后，再利用晶圓轉(zhuǎn)換裝置的推移機(jī)構(gòu)，將要轉(zhuǎn)出晶圓的承載裝置中的晶圓轉(zhuǎn)移至要接收晶圓的承載裝置內(nèi)，確認(rèn)轉(zhuǎn)移動(dòng)作完成后，操作人員再依序?qū)沙休d裝置取出。
[0003]然而，現(xiàn)有的晶圓轉(zhuǎn)換裝置只能容許兩承載容量相同的承載裝置彼此間做交換晶圓的動(dòng)作，如何容許兩承載容量不同的承載裝置彼此間交換晶圓，將可提升整體制程的效率，是一值得研究的主題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一目的在于提供一種可在兩晶圓數(shù)量不同的承載架間做晶圓交換的晶圓轉(zhuǎn)換裝置。
[0005]本發(fā)明的另一目的在于提供一種在兩晶圓數(shù)量不同的承載架間做晶圓交換的晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法。
[0006]本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置，可供一第一承載架及一第二承載架放置，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量與所述第二容置槽的數(shù)量不同，該晶圓轉(zhuǎn)換裝置包含:一第一定位架，設(shè)置于該基座，該第一定位架包括一前端，及一相反于該前端的后端;一第二定位架，設(shè)置于該基座且位于該第一定位架的該后端，該第二定位架用以承載并定位該第二承載架;一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該第一定位架，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)用以承載該第一承載架并可將該第一承載架由一第一高度位置調(diào)整至一高度高于該第一高度位置的第二高度位置，當(dāng)該第一承載架在該第一高度位置時(shí)，所述第一容置槽與所述第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的一部分容置槽位置相互對(duì)齊，當(dāng)該第一承載架在該第二高度位置時(shí)，所述第一容置槽與所述第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的另一部分容置槽位置相互對(duì)齊;及一頂推機(jī)構(gòu)，可滑動(dòng)地設(shè)置于該基座且位于該第一定位架的該前端，該頂推機(jī)構(gòu)可沿一由前朝后的頂推方向移動(dòng)，用以將與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)。
[0007]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括一第一承載板，及一第二承載板，該第一承載板的高度小于該第二承載板的高度，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地設(shè)置于該第一定位架，該第一承載板可承載該第一承載架使其位在該第一高度位置，該第二承載板可承載該第一承載架使其位在該第二高度位置。
[0008]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該第一定位架包括一定位板、二凸設(shè)于該定位板表面且左右相間隔的限位板，及一由所述限位板及該定位板界定出的定位槽，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地卡置于該定位槽內(nèi)。
[0009]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該第二定位架包括一設(shè)置于該基座的承載座，及一安裝治具，該承載座的表面凹陷形成一放置槽，該安裝治具卡接于該放置槽內(nèi)，該安裝治具包含兩個(gè)左右相間隔的側(cè)壁，各該側(cè)壁形成有多個(gè)上下相間隔排列的導(dǎo)引槽，該第二承載架接合于該安裝治具后側(cè)，且所述第二容置槽分別與所述導(dǎo)引槽位置對(duì)齊，各該導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引對(duì)應(yīng)的該晶圓移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的該第二容置槽內(nèi)。
[0010]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該承載座包括一形成有該放置槽的基板，及一凸設(shè)于該基板后端用以阻擋該第二承載架的阻擋板。
[0011 ]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該基座包括一立壁，該第一定位架及該第二定位架設(shè)置于該立壁，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括一可滑動(dòng)地連接于該第一定位架并可承載該第一承載架的滑動(dòng)架，及一設(shè)置于該第一定位架并與該滑動(dòng)架相連接的旋轉(zhuǎn)組件，該旋轉(zhuǎn)組件可通過(guò)該滑動(dòng)架沿一上下方向帶動(dòng)該第一承載架在該第一高度位置與該第二高度位置間移動(dòng)。
[0012]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該頂推機(jī)構(gòu)包括一頂針導(dǎo)引板，及多個(gè)頂針，每一頂針用以頂推對(duì)應(yīng)的該晶圓，各該頂針末端面凹陷形成一溝槽，該溝槽延伸于該頂針左右兩端間，且該溝槽的縱向截面呈開(kāi)口朝后的V字形，該頂針導(dǎo)引板設(shè)置于該基座，且具有多個(gè)數(shù)量與所述頂針相同的穿孔，供所述頂針穿設(shè)定位。
[0013]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該滑動(dòng)架包括一可滑動(dòng)地連接于該第一定位架的立板，該立板形成有一卡槽，該立板具有一界定出該卡槽的圍繞面，該圍繞面具有一下側(cè)面部及一上側(cè)面部，該旋轉(zhuǎn)組件包含一樞接于該第一定位架的轉(zhuǎn)軸、一設(shè)置于該轉(zhuǎn)軸一端用以供旋轉(zhuǎn)的旋鈕、一固定地連接于該轉(zhuǎn)軸另一端的偏心軸，及一套設(shè)于該偏心軸上的軸承，該轉(zhuǎn)軸及該偏心軸的中心軸線彼此平行且相間隔，該軸承穿設(shè)于該卡槽內(nèi)且分別卡接于該下側(cè)面部及該上側(cè)面部。
[0014]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該偏心軸包括一軸件，及一用以將該軸件固定于該轉(zhuǎn)軸的插銷。
[0015]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該滑動(dòng)架更包括一設(shè)置于該立板并與其垂直的承載板，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)更包括一設(shè)置于該承載板上的安裝治具，該安裝治具包含兩個(gè)左右相間隔的側(cè)壁，各該側(cè)壁形成有多個(gè)上下相間隔排列的導(dǎo)引槽，該第一承載架接合于該安裝治具且位于所述側(cè)壁前側(cè)，所述第一容置槽分別與所述導(dǎo)引槽位置對(duì)齊，各該導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引對(duì)應(yīng)的該晶圓移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的該第二容置槽內(nèi)。
[0016]在一些實(shí)施態(tài)樣中，該第一定位架包括一固定于該立壁的第一導(dǎo)軌、一固定于該立壁且間隔位于該第一導(dǎo)軌后側(cè)的第二導(dǎo)軌，該第一導(dǎo)軌及該第二導(dǎo)軌分別呈長(zhǎng)形且其長(zhǎng)向平行于該上下方向，該立板設(shè)置于該第一導(dǎo)軌與該第二導(dǎo)軌間，且該立板分別與該第一導(dǎo)軌及該第二導(dǎo)軌抵接。
[0017]本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法適于將一第一承載架所承載的晶圓轉(zhuǎn)移傳送至一第二承載架內(nèi)，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量小于所述第二容置槽的數(shù)量，該方法包含以下步驟:安裝步驟，將該第一承載架及該第二承載架分別安裝于一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)及一定位架，使該第一承載架位于一第一高度位置，所述第一容置槽與所述第二容置槽中的一部分容置槽位置相互對(duì)齊;第一次頂推步驟，通過(guò)一頂推機(jī)構(gòu)將位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽與所述第二容置槽中的所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)；更換步驟，將空的該第一承載架移離該高度調(diào)整機(jī)構(gòu);高度調(diào)整步驟，將滿載晶圓的另一個(gè)第一承載架安裝于該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，通過(guò)該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)將該另一個(gè)第一承載架調(diào)整至一高度高于該第一高度位置的第二高度位置，使該另一個(gè)第一承載架的所述第一容置槽與所述第二容置槽中的另一部分容置槽位置相互對(duì)齊;及第二次頂推步驟，通過(guò)該頂推機(jī)構(gòu)頂推與所述第二容置槽中的另一部分容置槽相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓，以將所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)。
[0018]在一些實(shí)施態(tài)樣中，所述第一容置槽數(shù)量為所述第二容置槽數(shù)量的一半，所述第二容置槽數(shù)量為偶數(shù)個(gè)，在該安裝步驟中，所述第一容置槽是分別與位在偶數(shù)位置的所述第二容置槽相互對(duì)齊，在該高度調(diào)整步驟中，所述第一容置槽是分別與位在奇數(shù)位置的所述第二容置槽相互對(duì)齊。
[0019]本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，適于將一第一承載架所承載的晶圓轉(zhuǎn)移傳送至一第二承載架內(nèi)，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量大于所述第二容置槽的數(shù)量，該方法包含以下步驟:安裝步驟，將該第一承載架及該第二承載架分別安裝于一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)及一定位架，使該第一承載架位于一第一高度位置，所述第一容置槽中的一部分容置槽與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊;第一次頂推步驟，通過(guò)一頂推機(jī)構(gòu)將與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)；更換步驟，將滿載晶圓的該第二承載架移離該定位架，并將另一個(gè)空的第二承載架安裝于該定位架;高度調(diào)整步驟，通過(guò)該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)將該第一承載架調(diào)整至一高度高于該第一高度位置的第二高度位置，使所述第一容置槽中的另一部分容置槽與該另一個(gè)空的第二承載架的所述第二容置槽位置相互對(duì)齊;及第二次頂推步驟，通過(guò)該頂推機(jī)構(gòu)頂推與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽的另一部分容置槽中的所述晶圓，以將所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)。
[0020]在一些實(shí)施態(tài)樣中，所述第一容置槽數(shù)量為所述第二容置槽數(shù)量的二倍，所述第一容置槽數(shù)量為偶數(shù)個(gè)，在該安裝步驟中，所述第二容置槽是分別與位在奇數(shù)位置的所述第一容置槽相互對(duì)齊，在該高度調(diào)整步驟中，所述第二容置槽是分別與位在偶數(shù)位置的所述第一容置槽相互對(duì)齊。
[0021 ]本發(fā)明的有益效果在于:通過(guò)該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)帶動(dòng)該第一承載架分別在第一高度位置及第二高度位置時(shí)借由該頂推機(jī)構(gòu)將所述晶圓自該第一承載架轉(zhuǎn)換至該第二承載架，且第一承載架與第二承載架的可容置的晶圓數(shù)量不相同，如此便可達(dá)成在不同承載裝置間轉(zhuǎn)換晶圓的目的。
【附圖說(shuō)明】
[0022]本發(fā)明其他的特征及功效，將于參照?qǐng)D式的實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明中清楚地呈現(xiàn)，其中:
[0023]圖1是一立體圖，說(shuō)明本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的一第一實(shí)施例；
[0024]圖2是一局部剖面前視圖，說(shuō)明該第一實(shí)施例的一第一承載架在一第一高度位置；
[0025]圖3是一局部剖面前視圖，說(shuō)明該第一實(shí)施例的該第一承載架在一第二高度位置；
[0026]圖4是一俯視圖，說(shuō)明該第一實(shí)施例的一頂推機(jī)構(gòu)尚未頂推多個(gè)晶圓，所述晶圓位于該第一承載架的狀態(tài)；
[0027]圖5是一俯視圖，說(shuō)明該第一實(shí)施例的一頂推機(jī)構(gòu)將所述晶圓自該第一承載架頂推至一第二承載架的狀態(tài)；
[0028]圖6是一流程示意圖，說(shuō)明本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，適用于該第一實(shí)施例；
[0029]圖7為圖2的一局部放大圖，說(shuō)明所述晶圓位于該第一承載架的多個(gè)第一容置槽內(nèi)；
[0030]圖8是一局部放大剖面前視圖，說(shuō)明所述晶圓被該頂推機(jī)構(gòu)頂推至該第二承載架的多個(gè)第二容置槽內(nèi)；
[0031]圖9為圖3的一局部放大圖，說(shuō)明所述晶圓位于所述第一容置槽內(nèi)；
[0032]圖10是一局部放大剖面前視圖，說(shuō)明所述晶圓被該頂推機(jī)構(gòu)頂推至所述第二容置槽內(nèi)；
[0033]圖11是一立體圖，說(shuō)明本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的一第二實(shí)施例；
[0034]圖12是一立體圖，為圖11的另一視角；
[0035]圖13是一部分立體分解圖，說(shuō)明該第二實(shí)施例的一旋轉(zhuǎn)組件及一立板；
[0036]圖14是一部分立體分解圖，為圖13的另一視角；
[0037]圖15是一部分剖面?zhèn)纫晥D，說(shuō)明該第二實(shí)施例的該旋轉(zhuǎn)組件及該立板；
[0038]圖16是一部分立體圖，說(shuō)明一頂針及該頂針的溝槽；
[0039]圖17為圖16的一側(cè)視圖；
[0040]圖18是一部分剖面前視圖，說(shuō)明該第一承載架在第一高度位置，所述晶圓位于所述第一容置槽中；
[0041]圖19是一部分剖面?zhèn)纫晥D，說(shuō)明該旋轉(zhuǎn)組件的一偏心軸在第一高度位置；
[0042]圖20是一部分剖面前視圖，說(shuō)明該第一承載架在第二高度位置，所述晶圓位于所述第一容置槽中；
[0043]圖21是一部分剖面?zhèn)纫晥D，說(shuō)明該旋轉(zhuǎn)組件的該偏心軸在第二高度位置；
[0044]圖22是一流程示意圖，說(shuō)明本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，適用于該第二實(shí)施例；
[0045]圖23是一部分剖面?zhèn)纫晥D，說(shuō)明所述頂針在第一高度位置頂推所述晶圓至所述第二容置槽內(nèi)；及
[0046]圖24是一部分剖面?zhèn)纫晥D，說(shuō)明所述頂針在第二高度位置頂推所述晶圓至所述第二容置槽內(nèi)。
【具體實(shí)施方式】
[0047]在本發(fā)明被詳細(xì)描述前，應(yīng)當(dāng)注意在以下的說(shuō)明內(nèi)容中，類似的元件是以相同的編號(hào)來(lái)表不。
[0048]參閱圖1及圖2，本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置100的第一實(shí)施例可供一第一承載架6及一第二承載架7放置，該第一承載架6形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽61、一第一開(kāi)口62，及一相反于第一開(kāi)口 62的第二開(kāi)口 63，各第一容置槽61用以容置一晶圓8。第二承載架7形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽71，所述第一容置槽61的數(shù)量與所述第二容置槽71的數(shù)量不同。該第一實(shí)施例的晶圓轉(zhuǎn)換裝置100包含一基座1、一第一定位架2、一第二定位架3、一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4，及一頂推機(jī)構(gòu)5。在本實(shí)施例中，第一承載架6是采用鐵氟龍晶圓盒，第二承載架7是采用石英晶舟，第二容置槽71數(shù)量為偶數(shù)個(gè)，而第一容置槽61的數(shù)量小于第二容置槽71的數(shù)量，第一容置槽61數(shù)量為第二容置槽71數(shù)量的一半，其中，第一容置槽61數(shù)量是以25個(gè)為例，第二容置槽71數(shù)量是以50個(gè)為例，但不以此為限。
[0049]第一定位架2設(shè)置于基座1，第一定位架2包括一定位板21、二凸設(shè)于定位板21表面且左右相間隔的限位板22、一由定位板21與所述限位板22界定出的定位槽23、一前端24，及一相反于前端24的后端25。第一承載架6的第一開(kāi)口 62是朝向前端24，第二開(kāi)口 63是朝向后端25 ο
[0050]第二定位架3設(shè)置于基座I且位于第一定位架2的后端25，第二定位架3用以承載并定位第二承載架7。第二定位架3包括一設(shè)置于基座I的承載座31及一安裝治具32，承載座31的表面凹陷形成一放置槽313。該承載座31包括一形成有該放置槽313的基板311，及一凸設(shè)于該基板311后端用以阻擋該第二承載架7的阻擋板312。安裝治具32卡接于放置槽313內(nèi)，安裝治具32包含兩個(gè)左右相間隔的側(cè)壁321，各側(cè)壁321形成有多個(gè)上下相間隔排列的導(dǎo)引槽322。第二承載架7接合于安裝治具32后側(cè)，且所述第二容置槽71分別與所述導(dǎo)引槽322位置對(duì)齊。在本實(shí)施例中，導(dǎo)引槽322的數(shù)量與第二容置槽71的數(shù)量相同，皆為50個(gè)，但不以此為限，只要數(shù)量相同即可。
[0051 ]參閱圖1至圖3，高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4設(shè)置于第一定位架2，用以承載第一承載架6并可將第一承載架6由一第一高度位置(如圖2所示)調(diào)整至一高度高于第一高度位置的第二高度位置(如圖3所示)。高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4包括一第一承載板41及一第二承載板42，第一承載板41的高度Hl小于該第二承載板42的高度H2。第一承載板41及第二承載板42其中之一可選擇地卡置于第一定位架2的定位槽23內(nèi)，高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4即是借由第一承載板41及第二承載板42的置換來(lái)調(diào)整第一承載架6在第一高度位置及第二高度位置間轉(zhuǎn)換。第一承載板41可承載第一承載架6使其位在第一高度位置，該第二承載板42可承載第一承載架6使其位在該第二高度位置。當(dāng)?shù)谝怀休d架6在第一高度位置時(shí)，所述第一容置槽61與所述第二容置槽71其中之一的全部容置槽與其中另一的一部分容置槽位置相互對(duì)齊。當(dāng)?shù)谝怀休d架6在第二高度位置時(shí)，所述第一容置槽61與所述第二容置槽71其中之一的全部容置槽與其中另一的另一部分容置槽位置相互對(duì)齊。具體而言，在本實(shí)施例中，如圖2所示，當(dāng)?shù)谝怀休d架6在第一高度位置時(shí)，所述第一容置槽61的全部容置槽與所述第二容置槽71的偶數(shù)位置容置槽(由上至下數(shù)來(lái))相互對(duì)齊;如圖3所示，當(dāng)?shù)谝怀休d架6在第二高度位置時(shí)，所述第一容置槽61的全部容置槽與所述第二容置槽71的奇數(shù)位置容置槽(由上至下數(shù)來(lái))相互對(duì)齊。
[0052]參閱圖1至圖5，頂推機(jī)構(gòu)5可滑動(dòng)地設(shè)置于基座I且位于第一定位架2的前端24，且可沿一由前朝后的頂推方向P移動(dòng)，用以將與所述第二容置槽71位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽61中的所述晶圓8由所述第一容置槽61頂推至所述第二容置槽71內(nèi)。頂推機(jī)構(gòu)5包括一長(zhǎng)條狀連接桿51及一呈長(zhǎng)方形的頂推板52，連接桿51可滑動(dòng)地設(shè)置于基座I且沿垂直于基座I的方向延伸，頂推板52設(shè)置于連接桿51朝頂推方向P延伸。
[0053]參閱圖6，本實(shí)施例的晶圓轉(zhuǎn)換裝置100的晶圓轉(zhuǎn)換方法適于將第一承載架6所承載的晶圓8轉(zhuǎn)移傳送至第二承載架7內(nèi)，該轉(zhuǎn)換方法包含以下步驟:一安裝步驟S1、一第一次頂推步驟S2、一更換步驟S3、一高度調(diào)整步驟S4，及一第二次頂推步驟S5。
[0054]參閱圖4、圖6及圖7，在安裝步驟SI中，先將第二承載架7接合于安裝治具32后側(cè)，再將第一承載架6安裝于高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4的第一承載板41上，以及將安裝治具32卡接于第二定位架3的放置槽313內(nèi)。此時(shí)，第一承載架6位于第一高度位置，所述第一容置槽61的全部容置槽與所述第二容置槽71中的一部分容置槽位置相互對(duì)齊，在本實(shí)施例中，所述第一容置槽61的全部容置槽與所述第二容置槽71中的偶數(shù)位置容置槽相互對(duì)齊。
[0055]參閱圖5、圖6及圖8，在第一次頂推步驟S2中，使用者可通過(guò)手推動(dòng)頂推機(jī)構(gòu)5的連接桿51使頂推板52沿頂推方向P移動(dòng)。頂推板52沿頂推方向P移動(dòng)的過(guò)程中會(huì)穿伸入第一承載架6的第一開(kāi)口62內(nèi)，隨后頂推板52會(huì)頂推與所述第二容置槽71的偶數(shù)位置容置槽相互對(duì)齊的所述第一容置槽61中的所述晶圓8移動(dòng)，使各晶圓8移離第一容置槽61并且借由安裝治具32的對(duì)應(yīng)導(dǎo)引槽322導(dǎo)引而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的第二容置槽71內(nèi)。當(dāng)各晶圓8移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的第二容置槽71后，使用者可通過(guò)手拉動(dòng)頂推機(jī)構(gòu)5的連接桿51，使頂推機(jī)構(gòu)5沿一相反于頂推方向P的復(fù)位方向D移動(dòng)至圖4所示的一初始位置。
[0056]參閱圖6及圖9，在更換步驟S3中，將空的該第一承載架6移離第一承載板41。
[0057]在高度調(diào)整步驟S4中，先將第一承載板41移離第一定位架2的定位槽23，隨后將第二承載板42安裝于定位槽23內(nèi)，接著，將另一個(gè)滿載晶圓8的第一承載架6安裝于高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4的第二承載板42上。借由將第一承載板41更換為第二承載板42的方式，便可將該另一個(gè)滿載晶圓8的第一承載架6調(diào)整至第二高度位置，使該另一個(gè)第一承載架6的所述第一容置槽61與所述第二容置槽71中的另一部分容置槽位置相互對(duì)齊，在本實(shí)施例中，所述第一容置槽61的全部容置槽是與所述第二容置槽71中的奇數(shù)位置容置槽相互對(duì)齊。
[0058]參閱圖5、圖6及圖10，在第二次頂推步驟S5中，使用者可通過(guò)手推動(dòng)頂推機(jī)構(gòu)5的連接桿51使頂推板52沿頂推方向P移動(dòng)。頂推板52沿頂推方向P移動(dòng)的過(guò)程中會(huì)穿伸入第一承載架6的第一開(kāi)口62內(nèi)，隨后頂推板52會(huì)頂推與所述第二容置槽71中的奇數(shù)位置的第二容置槽71相互對(duì)齊的所述第一容置槽61中的所述晶圓8移動(dòng)，使各晶圓8移離第一容置槽61并且借由安裝治具32的對(duì)應(yīng)導(dǎo)引槽322導(dǎo)引而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的第二容置槽71內(nèi)。如此便完成將晶圓8由兩個(gè)25片裝的鐵氟龍晶圓盒轉(zhuǎn)換至50片裝的石英晶舟的步驟。
[0059]參閱圖11及圖12，本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的第二實(shí)施例可供一第一承載架6’及一第二承載架7’放置，該第一承載架6’形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽61’(如圖18所示)、一位于前端的第一開(kāi)口 62 ’，及一位于后端且相反于第一開(kāi)口 62 ’的第二開(kāi)口 63 ’，各該第一容置槽61’用以容置一晶圓8。該第二承載架7’形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽71 ’，所述第一容置槽61 ’的數(shù)量與所述第二容置槽71 ’的數(shù)量不同。該第二實(shí)施例的晶圓轉(zhuǎn)換裝置200包含一基座I ’、一第一定位架2 ’、一第二定位架3 ’、一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4 ’，及一頂推機(jī)構(gòu)5 ’ ο在本實(shí)施例中，第一承載架6 ’是采用石英晶舟，第二承載架7 ’是采用鐵氟龍晶圓盒，第一容置槽61’的數(shù)量為偶數(shù)個(gè)，第一容置槽61’的數(shù)量大于第二容置槽71’的數(shù)量，第一容置槽61’數(shù)量為第二容置槽71’數(shù)量的二倍，其中，第一容置槽61’數(shù)量是以50個(gè)為例，第二容置槽71’的數(shù)量是以25個(gè)為例，但不以此為限。
[0060]基座I ’包括一立壁11 ’。第一定位架2 ’包括一前端23 ’、一相反于前端23 ’的后端24’、一固定于立壁11’的第一導(dǎo)軌21 ’、一固定于該立壁11’且間隔位于第一導(dǎo)軌21 ’后側(cè)的第二導(dǎo)軌22’，及一固接于第一導(dǎo)軌21’及第二導(dǎo)軌22’的鎖固板25’。第一導(dǎo)軌21’及第二導(dǎo)軌22 ’分別呈長(zhǎng)條形且沿一上下方向Dl延伸。第二定位架3 ’設(shè)置于立壁11 ’且位于第一定位架2’的后端24’，用以承載并定位第二承載架7’。
[0061 ]參閱圖11、圖12及圖13，高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4 ’設(shè)置于第一定位架2 ’，用以承載第一承載架6’并可將第一承載架6’由一第一高度位置調(diào)整至一高度高于第一高度位置的第二高度位置。高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4’包括一可滑動(dòng)地連接于第一定位架2’并可承載第一承載架6’的滑動(dòng)架41’、一設(shè)置于第一定位架2 ’并與該滑動(dòng)架41’相連接的旋轉(zhuǎn)組件42’，及一設(shè)置于滑動(dòng)架
41’的安裝治具43 ’?；瑒?dòng)架41 ’包括一可滑動(dòng)地連接于該第一定位架2 ’的第一導(dǎo)軌21 ’及第二導(dǎo)軌22 ’間的立板44 ’，及一設(shè)置于立板44 ’并與其垂直的承載板45 ’。立板44 ’形成有一卡槽441 ’，且具有一界定出卡槽441 ’的圍繞面442 ’，圍繞面442 ’具有一下側(cè)面部442b ’及一上側(cè)面部442a ’。承載板45 ’是用以承載安裝治具43 ’及第一承載架6 ’。旋轉(zhuǎn)組件42 ’可通過(guò)滑動(dòng)架41’沿上下方向Dl帶動(dòng)第一承載架6’在第一高度位置與第二高度位置間移動(dòng)。安裝治具43’包含兩個(gè)左右相間隔的側(cè)壁431’，各側(cè)壁431’形成有多個(gè)上下相間隔排列的導(dǎo)引槽432 ’ (如圖18所示)，第一承載架6 ’接合于安裝治具43 ’且位于兩側(cè)壁431 ’前側(cè)，所述第一容置槽61’分別與所述導(dǎo)引槽432’位置對(duì)齊，各導(dǎo)引槽432’用以導(dǎo)引對(duì)應(yīng)的晶圓8移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的該第二容置槽71’內(nèi)。在本實(shí)施例中，導(dǎo)引槽432’的數(shù)量與第一容置槽61 ’的數(shù)量相同，皆為50，但不以此為限，只要數(shù)量相同即可。
[0062]參閱圖13至圖15，在此更進(jìn)一步介紹旋轉(zhuǎn)組件42’，其具有一轉(zhuǎn)軸46 ’、一^合于轉(zhuǎn)軸46’一端用以供旋轉(zhuǎn)的旋鈕47’、一固定地連接于轉(zhuǎn)軸46’另一端的偏心軸48’，及一套設(shè)于偏心軸48 ’上的軸承49 ’。轉(zhuǎn)軸46 ’可轉(zhuǎn)動(dòng)地樞接于鎖固板25 ’的樞接孔251’。旋鈕47 ’上凹陷形成有一指示槽471’，用以指示高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4’是在何種高度位置。轉(zhuǎn)軸46’及偏心軸48’的中心軸線L1、L2彼此平行且相間隔，偏心軸48’包括一軸件481’及一用以將軸件481’固定于轉(zhuǎn)軸46 ’的插銷482 ’。軸承49 ’套設(shè)于偏心軸48 ’的軸件481 ’上，且軸承49 ’穿設(shè)于立板44’的卡槽441 ’內(nèi)且分別卡接于下側(cè)面部442b’及上側(cè)面部442a’。
[0063]參閱圖11、圖16及圖17，頂推機(jī)構(gòu)5’可滑動(dòng)地設(shè)置于基座I’的立壁11’且位于第一定位架2’的前端23’，且可沿一由前朝后的頂推方向P移動(dòng)，用以將與所述第二容置槽71’位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽61 ’中的所述晶圓8由所述第一容置槽61’頂推至所述第二容置槽71 ’內(nèi)。頂推機(jī)構(gòu)5’包括一可滑動(dòng)地連接于立壁11’的連接桿50’、多個(gè)彼此上下相間隔地設(shè)置于連接桿50’上的頂針51’，及一頂針導(dǎo)引板52’。每一頂針51’用以頂推對(duì)應(yīng)的該晶圓8，各該頂針51’末端面凹陷形成一溝槽511’，溝槽511’延伸于頂針51’左右兩端間，且該溝槽511’的縱向截面呈開(kāi)口朝后的V字形，此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是用以?shī)A持晶圓8在頂推的過(guò)程中不易晃動(dòng)產(chǎn)生上下的位移，確保頂推過(guò)程順利，防止晶圓8在過(guò)程中破裂。頂針導(dǎo)引板52’設(shè)置于基座I ’的立壁11’，且具有多個(gè)數(shù)量與所述頂針51’相同的穿孔521 ’，供所述頂針51 ’穿設(shè)定位。在本實(shí)施例中，所述頂針51’及穿孔521’的數(shù)量為25，但不以此為限。
[0064]參閱圖18及圖19，高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4’是借由操作旋鈕47 ’來(lái)改變高度位置。當(dāng)旋鈕47’的指示槽471’是指向后側(cè)，且偏心軸48’的中心軸線LI是低于轉(zhuǎn)軸46’的中心軸線L2，滑動(dòng)架41 ’將安裝治具43 ’及第一承載架6 ’支撐在第一高度位置。此時(shí)，第一承載架6 ’的所述第一容置槽61 ’中的奇數(shù)位置容置槽分別與所述頂針51 ’以及第二承載架7 ’的所述第二容置槽71 ’的全部容置槽位置相互對(duì)齊。接著參閱圖20及圖21，操作旋鈕47 ’順時(shí)針旋轉(zhuǎn)180度使指示槽471 ’指向前側(cè)，旋鈕47 ’會(huì)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸46 ’旋轉(zhuǎn)進(jìn)而帶動(dòng)偏心軸48 ’旋轉(zhuǎn)180度，使偏心軸48’的中心軸線LI高于轉(zhuǎn)軸46’的中心軸線L2，進(jìn)而使軸承49’向上位移并且同時(shí)帶動(dòng)立板44 ’及承載板45 ’向上移動(dòng)，使第一承載架6 ’到達(dá)第二高度位置。在第二高度位置時(shí)，所述第一容置槽61’中的偶數(shù)位置容置槽分別與所述頂針51 ’以及第二承載架7 ’的所述第二容置槽71 ’的全部容置槽位置相互對(duì)齊。
[0065]參閱圖22，本實(shí)施例的晶圓轉(zhuǎn)換裝置200的晶圓轉(zhuǎn)換方法適于將一第一承載架6’所承載的晶圓轉(zhuǎn)移傳送至一第二承載架7 ’內(nèi)，該轉(zhuǎn)換方法包含以下步驟:一安裝步驟SI ’、一第一次頂推步驟S2’、一更換步驟S3’、一高度調(diào)整步驟S4’，及一第二次頂推步驟S5’。
[0066]參閱圖18及圖22，在安裝步驟SI’，先將第一承載架6 ’接合于安裝治具43 ’內(nèi)，再將安裝治具43 ’安裝于高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4 ’的滑動(dòng)架41 ’的承載板45 ’上，以及將第二承載架7 ’安裝于第二定位架3 ’上。此時(shí)，第一承載架6 ’位于第一高度位置，所述第一容置槽61’中的一部分第一容置槽61 ’與所述第二容置槽71 ’位置相互對(duì)齊，在本實(shí)施例中，所述第一容置槽61 ’中的奇數(shù)位置容置槽與所述第二容置槽71 ’的全部容置槽以及所述頂針51’位置相互對(duì)齊。
[0067]參閱圖22及圖23，在第一次頂推步驟S2’中，使用者可通過(guò)手推動(dòng)頂推機(jī)構(gòu)5’的連接桿50’使所述頂針51’沿頂推方向P移動(dòng)。頂針51’沿頂推方向P移動(dòng)的過(guò)程中會(huì)穿伸入第一承載架6 ’的第一開(kāi)口 62 ’內(nèi)，隨后頂針51’會(huì)頂推與所述第二容置槽71’位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽61’的奇數(shù)位置容置槽中的所述晶圓8移動(dòng)，使各晶圓8移離第一容置槽61’并且借由安裝治具43’的對(duì)應(yīng)導(dǎo)引槽432’導(dǎo)引而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的第二容置槽71’內(nèi)。當(dāng)各晶圓8移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的第二容置槽71 ’后，使用者可通過(guò)手拉動(dòng)頂推機(jī)構(gòu)5 ’的連接桿50 ’，使頂推機(jī)構(gòu)5’沿一相反于頂推方向P的復(fù)位方向D移動(dòng)至圖18所示的初始位置。
[0068]參閱圖20及圖22，在更換步驟S3’中，將滿載晶圓8的第二承載架7 ’移離第二定位架3’，并將另一個(gè)空的第二承載架7’安裝于第二定位架3’。
[0069]在高度調(diào)整步驟S4’中，通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋鈕47’帶動(dòng)滑動(dòng)架41’的立板44 ’及承載板45 ’向上位移，便可將第一承載架6’調(diào)整至一高度高于第一高度位置的第二高度位置，使所述第一容置槽61 ’中的另一部分第一容置槽61 ’與該另一個(gè)空的第二承載架7 ’的所述第二容置槽71’位置相互對(duì)齊，在本實(shí)施例中，所述第一容置槽61’中的偶數(shù)位置容置槽與所述第二容置槽71 ’的全部容置槽以及所述頂針51’位置相互對(duì)齊。
[0070]參閱圖22及圖24，在第二次頂推步驟S5’中，使用者可通過(guò)手推動(dòng)頂推機(jī)構(gòu)5’的連接桿50’使所述頂針51’沿頂推方向P移動(dòng)。頂針51’沿頂推方向P移動(dòng)的過(guò)程中會(huì)穿伸入第一承載架6 ’的第一開(kāi)口 62 ’內(nèi)，隨后頂針51’會(huì)頂推與所述第二容置槽71’位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽61’中的所述晶圓8移動(dòng)，使各晶圓8移離第一容置槽61’并且借由安裝治具43’的對(duì)應(yīng)導(dǎo)引槽432’導(dǎo)引而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的第二容置槽71’內(nèi)。如此便完成將晶圓8由50片裝的石英晶舟轉(zhuǎn)換至兩個(gè)25片裝的鐵氟龍晶圓盒的步驟。
[0071 ]值得一提的是，本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的第二實(shí)施例，只需稍微地修改其設(shè)計(jì)，將頂推機(jī)構(gòu)5 ’以第二承載架7 ’為基準(zhǔn)鏡像地設(shè)置在第二承載架7 ’的后側(cè)，如此一來(lái)頂推機(jī)構(gòu)5 ’便可將第二承載架7’中的晶圓8頂推至第一承載架6’中，達(dá)到本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的第一實(shí)施例所能達(dá)到的效果，將晶圓8由25片裝的鐵氟龍晶圓盒轉(zhuǎn)換至50片裝的石英晶舟。
[0072]需要說(shuō)明的是，本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置的發(fā)明背景是因?yàn)樵诎雽?dǎo)體制程中有一燒結(jié)站制程，晶圓在進(jìn)行此制程前是以25片裝的鐵氟龍晶圓盒做輸送的作業(yè)，但在進(jìn)行燒結(jié)制程前須將晶圓轉(zhuǎn)換至石英晶舟才可繼續(xù)進(jìn)行燒結(jié)制程。為了提高燒結(jié)站點(diǎn)的產(chǎn)能效率，石英晶舟的容量設(shè)計(jì)為50片裝。因此先借由本發(fā)明第一實(shí)施例的晶圓轉(zhuǎn)換裝置100的本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換方法，經(jīng)步驟SI?S5將晶圓自鐵氟龍晶圓盒轉(zhuǎn)換至石英晶舟。待燒結(jié)制程結(jié)束后，再借由本發(fā)明第二實(shí)施例的晶圓轉(zhuǎn)換裝置200的晶圓轉(zhuǎn)換方法，經(jīng)步驟SI’?S5’將晶圓自石英晶舟轉(zhuǎn)換至鐵氟龍晶圓盒內(nèi)，便可通過(guò)鐵氟龍晶圓盒承載晶圓以進(jìn)行后續(xù)的制程。因此，借由本發(fā)明晶圓轉(zhuǎn)換裝置使晶圓可達(dá)到在不同容量的承載裝置間轉(zhuǎn)換的目的，進(jìn)而可提高整體制程的產(chǎn)能效率。其中，還需要補(bǔ)充的是，第一高度位置及第二高度位置的高度差只為石英晶舟的一個(gè)槽位的高度，因此高度調(diào)整機(jī)構(gòu)只需控制第一承載架在此高度差間變化，不需要大量的機(jī)構(gòu)作動(dòng)空間，可精簡(jiǎn)整體裝置的設(shè)計(jì)。再者，高度調(diào)整機(jī)構(gòu)帶動(dòng)第一承載架移動(dòng)一小段的移動(dòng)行程便能使其由第一高度位置調(diào)整至第二高度位置，借此，使得操作人員能迅速地調(diào)整第一承載架的高度，以縮短操作工時(shí)并提升操作上的效率。
[0073]綜上所述，通過(guò)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)4、4’調(diào)整第一承載架6、6 ’分別在第一高度位置及第二高度位置移動(dòng)，借由頂推機(jī)構(gòu)5、5’將所述晶圓8自該第一承載架6、6’頂推傳送至該第二承載架7、7 ’內(nèi)，如此便可達(dá)成在不同容量的第一承載架6、6 ’與第二承載架7、7 ’間轉(zhuǎn)換晶圓8的目的，進(jìn)而可提高整體制程的產(chǎn)能效率，所以確實(shí)能達(dá)成本發(fā)明的目的。
[0074]以上所述，僅為本發(fā)明的實(shí)施例而已，當(dāng)不能以此限定本發(fā)明實(shí)施的范圍，即大凡依本發(fā)明權(quán)利要求書及專利說(shuō)明書內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓轉(zhuǎn)換裝置，可供一第一承載架及一第二承載架放置，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量與所述第二容置槽的數(shù)量不同，其特征在于，該晶圓轉(zhuǎn)換裝置包含: 一基座； 一第一定位架，設(shè)置于該基座，該第一定位架包括一前端，及一相反于該前端的后端； 一第二定位架，設(shè)置于該基座且位于該第一定位架的該后端，該第二定位架用以承載并定位該第二承載架； 一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該第一定位架，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)用以承載該第一承載架并可將該第一承載架由一第一高度位置調(diào)整至一高度高于該第一高度位置的第二高度位置，當(dāng)該第一承載架在該第一高度位置時(shí)，所述第一容置槽與所述第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的一部分容置槽位置相互對(duì)齊，當(dāng)該第一承載架在該第二高度位置時(shí)，所述第一容置槽與所述第二容置槽其中之一的全部容置槽與其中另一的另一部分容置槽位置相互對(duì)齊;及 一頂推機(jī)構(gòu)，可滑動(dòng)地設(shè)置于該基座且位于該第一定位架的該前端，該頂推機(jī)構(gòu)可沿一由前朝后的頂推方向移動(dòng)，用以將與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括一第一承載板，及一第二承載板，該第一承載板的高度小于該第二承載板的高度，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地設(shè)置于該第一定位架，該第一承載板可承載該第一承載架使其位在該第一高度位置，該第二承載板可承載該第一承載架使其位在該第二高度位置。3.如權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該第一定位架包括一定位板、二凸設(shè)于該定位板表面且左右相間隔的限位板，及一由所述限位板及該定位板界定出的定位槽，該第一承載板及該第二承載板其中之一可選擇地卡置于該定位槽內(nèi)。4.如權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該第二定位架包括一設(shè)置于該基座的承載座，及一安裝治具，該承載座的表面凹陷形成一放置槽，該安裝治具卡接于該放置槽內(nèi)，該安裝治具包含兩個(gè)左右相間隔的側(cè)壁，各該側(cè)壁形成有多個(gè)上下相間隔排列的導(dǎo)引槽，該第二承載架接合于該安裝治具后側(cè)，且所述第二容置槽分別與所述導(dǎo)引槽位置對(duì)齊，各該導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引對(duì)應(yīng)的該晶圓移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的該第二容置槽內(nèi)。5.如權(quán)利要求4所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該承載座包括一形成有該放置槽的基板，及一凸設(shè)于該基板后端用以阻擋該第二承載架的阻擋板。6.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該基座包括一立壁，該第一定位架及該第二定位架設(shè)置于該立壁，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括一可滑動(dòng)地連接于該第一定位架并可承載該第一承載架的滑動(dòng)架，及一設(shè)置于該第一定位架并與該滑動(dòng)架相連接的旋轉(zhuǎn)組件，該旋轉(zhuǎn)組件可通過(guò)該滑動(dòng)架沿一上下方向帶動(dòng)該第一承載架在該第一高度位置與該第二高度位置間移動(dòng)。7.如權(quán)利要求6所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該頂推機(jī)構(gòu)包括一頂針導(dǎo)引板，及多個(gè)頂針，每一頂針用以頂推對(duì)應(yīng)的該晶圓，各該頂針末端面凹陷形成一溝槽，該溝槽延伸于該頂針左右兩端間，且該溝槽的縱向截面呈開(kāi)口朝后的V字形，該頂針導(dǎo)引板設(shè)置于該基座，且具有多個(gè)數(shù)量與所述頂針相同的穿孔，供所述頂針穿設(shè)定位。8.如權(quán)利要求7所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該滑動(dòng)架包括一可滑動(dòng)地連接于該第一定位架的立板，該立板形成有一卡槽，該立板具有一界定出該卡槽的圍繞面，該圍繞面具有一下側(cè)面部及一上側(cè)面部，該旋轉(zhuǎn)組件包含一樞接于該第一定位架的轉(zhuǎn)軸、一設(shè)置于該轉(zhuǎn)軸一端用以供旋轉(zhuǎn)的旋鈕、一固定地連接于該轉(zhuǎn)軸另一端的偏心軸，及一套設(shè)于該偏心軸上的軸承，該轉(zhuǎn)軸及該偏心軸的中心軸線彼此平行且相間隔，該軸承穿設(shè)于該卡槽內(nèi)且分別卡接于該下側(cè)面部及該上側(cè)面部。9.如權(quán)利要求8所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該偏心軸包括一軸件，及一用以將該軸件固定于該轉(zhuǎn)軸的插銷。10.如權(quán)利要求9所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該滑動(dòng)架更包括一設(shè)置于該立板并與其垂直的承載板，該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)更包括一設(shè)置于該承載板上的安裝治具，該安裝治具包含兩個(gè)左右相間隔的側(cè)壁，各該側(cè)壁形成有多個(gè)上下相間隔排列的導(dǎo)引槽，該第一承載架接合于該安裝治具且位于所述側(cè)壁前側(cè)，所述第一容置槽分別與所述導(dǎo)引槽位置對(duì)齊，各該導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引對(duì)應(yīng)的該晶圓移動(dòng)至對(duì)應(yīng)的該第二容置槽內(nèi)。11.如權(quán)利要求6所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，該第一定位架包括一固定于該立壁的第一導(dǎo)軌、一固定于該立壁且間隔位于該第一導(dǎo)軌后側(cè)的第二導(dǎo)軌，該第一導(dǎo)軌及該第二導(dǎo)軌分別呈長(zhǎng)形且其長(zhǎng)向平行于該上下方向，該滑動(dòng)架包括一可滑動(dòng)地連接于該第一定位架的立板，該立板設(shè)置于該第一導(dǎo)軌與該第二導(dǎo)軌間，且該立板分別與該第一導(dǎo)軌及該第二導(dǎo)軌抵接。12.—種晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，適于將一第一承載架所承載的晶圓轉(zhuǎn)移傳送至一第二承載架內(nèi)，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量小于所述第二容置槽的數(shù)量，其特征在于，該方法包含以下步驟: 安裝步驟，將該第一承載架及該第二承載架分別安裝于一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)及一定位架，使該第一承載架位于一第一高度位置，所述第一容置槽與所述第二容置槽中的一部分容置槽位置相互對(duì)齊； 第一次頂推步驟，通過(guò)一頂推機(jī)構(gòu)將與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)； 更換步驟，將空的該第一承載架移離該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)； 高度調(diào)整步驟，將滿載晶圓的另一個(gè)第一承載架安裝于該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，通過(guò)該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)將該另一個(gè)第一承載架調(diào)整至一高度高于該第一高度位置的第二高度位置，使該另一個(gè)第一承載架的所述第一容置槽與所述第二容置槽中的另一部分容置槽位置相互對(duì)齊;及 第二次頂推步驟，通過(guò)該頂推機(jī)構(gòu)頂推與所述第二容置槽中的另一部分容置槽相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓，以將所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)。13.如權(quán)利要求12所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，其特征在于，所述第一容置槽數(shù)量為所述第二容置槽數(shù)量的一半，所述第二容置槽數(shù)量為偶數(shù)個(gè)，在該安裝步驟中，所述第一容置槽是分別與位在偶數(shù)位置的所述第二容置槽相互對(duì)齊，在該高度調(diào)整步驟中，所述第一容置槽是分別與位在奇數(shù)位置的所述第二容置槽相互對(duì)齊。14.一種晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，適于將一第一承載架所承載的晶圓轉(zhuǎn)移傳送至一第二承載架內(nèi)，該第一承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第一容置槽，各該第一容置槽用以容置一晶圓，該第二承載架形成有多個(gè)上下相間隔排列的第二容置槽，所述第一容置槽的數(shù)量大于所述第二容置槽的數(shù)量，其特征在于，該方法包含以下步驟: 安裝步驟，將該第一承載架及該第二承載架分別安裝于一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)及一定位架，使該第一承載架位于一第一高度位置，所述第一容置槽中的一部分容置槽與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊； 第一次頂推步驟，通過(guò)一頂推機(jī)構(gòu)將與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽中的所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)； 更換步驟，將滿載晶圓的該第二承載架移離該定位架，并將另一個(gè)空的第二承載架安裝于該定位架； 高度調(diào)整步驟，通過(guò)該高度調(diào)整機(jī)構(gòu)將該第一承載架調(diào)整至一高度高于該第一高度位置的第二高度位置，使所述第一容置槽中的另一部分容置槽與該另一個(gè)空的第二承載架的所述第二容置槽位置相互對(duì)齊;及 第二次頂推步驟，通過(guò)該頂推機(jī)構(gòu)頂推與所述第二容置槽位置相互對(duì)齊的所述第一容置槽的另一部分容置槽中的所述晶圓，以將所述晶圓由所述第一容置槽頂推至所述第二容置槽內(nèi)。15.如權(quán)利要求14所述的晶圓轉(zhuǎn)換裝置的晶圓轉(zhuǎn)換方法，其特征在于，所述第一容置槽數(shù)量為所述第二容置槽數(shù)量的二倍，所述第一容置槽數(shù)量為偶數(shù)個(gè)，在該安裝步驟中，所述第二容置槽是分別與位在奇數(shù)位置的所述第一容置槽相互對(duì)齊，在該高度調(diào)整步驟中，所述第二容置槽是分別與位在偶數(shù)位置的所述第一容置槽相互對(duì)齊。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK106098603SQ201610220193
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年4月11日 公開(kāi)號(hào)201610220193.0, CN 106098603 A, CN 106098603A, CN 201610220193, CN-A-106098603, CN106098603 A, CN106098603A, CN201610220193, CN201610220193.0
【發(fā)明人】林塘棋, 李德浩, 施英汝, 徐文慶
【申請(qǐng)人】環(huán)球晶圓股份有限公司