基板轉(zhuǎn)移裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板轉(zhuǎn)移裝置，所述基板轉(zhuǎn)移裝置包含：托盤(pán)，基板安裝在所述托盤(pán)上；磁性轉(zhuǎn)移部分，其安置在所述托盤(pán)下方，磁性地使所述托盤(pán)懸浮并藉由磁力轉(zhuǎn)移所述托盤(pán)；導(dǎo)引單元，其導(dǎo)引所述托盤(pán)的轉(zhuǎn)移而不接觸所述托盤(pán)；以及間隙維持構(gòu)件，其設(shè)在所述磁性轉(zhuǎn)移部分與所述導(dǎo)引單元之間的至少一個(gè)區(qū)域上。
【專利說(shuō)明】
基板轉(zhuǎn)移裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明是關(guān)于基板轉(zhuǎn)移裝置，且更明確而言是關(guān)于經(jīng)由無(wú)接觸方法轉(zhuǎn)移安裝了基 板的托盤(pán)(tray)的基板轉(zhuǎn)移裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 大體而言，平板顯示器件(Flat Panel Display device，簡(jiǎn)稱:FFO)(諸如液晶顯 不器件（Liquid Crystal Display device，簡(jiǎn)稱：LCD)、等離子體顯不面板器件（Plasma Display Panel device，簡(jiǎn)稱：PDP)、場(chǎng)發(fā)射顯不器件（Field Emission Display device， 簡(jiǎn)稱:FED)以及電致發(fā)光顯不器件（Electro luminescence Display device，簡(jiǎn)稱：ELD)) 是藉由在基板上執(zhí)行多個(gè)制程而制造。即，在基板上，重復(fù)進(jìn)行沉積(deposition)制程、光 微影(photo lithography)制程以及蝕刻(etching)制程多次，且另外執(zhí)行清潔、附接以及切 割制程以制造平板顯示器件。
[0003] 平板顯示器件的此等制造過(guò)程是在其中準(zhǔn)備了最佳環(huán)境的多個(gè)腔室內(nèi)部執(zhí)行。為 此，設(shè)想了線內(nèi)方法，其中基板安裝于托盤(pán)(Tray)上，且所述托盤(pán)接著被垂直或傾斜豎立地 轉(zhuǎn)移以便通過(guò)所述多個(gè)腔室的內(nèi)部。
[0004] 用于轉(zhuǎn)移基板的轉(zhuǎn)移裝置可包含基板安裝在其上的托盤(pán)，及接觸所述托盤(pán)的底部 并由馬達(dá)旋轉(zhuǎn)以藉此將推力提供至所述托盤(pán)的驅(qū)動(dòng)滾筒。即，現(xiàn)有技術(shù)轉(zhuǎn)移裝置藉由設(shè)在 腔室的下部部分上并接觸托盤(pán)底部的驅(qū)動(dòng)滾筒的力矩轉(zhuǎn)移托盤(pán)。此等轉(zhuǎn)移裝置的實(shí)例揭露 于韓國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)卦S公開(kāi)案第2003-0068292號(hào)中。
[0005] 然而，存在限制，因?yàn)殡S著驅(qū)動(dòng)滾筒與托盤(pán)底部之間的摩擦增加而產(chǎn)生顆粒 (particle)。所述顆粒附著至經(jīng)轉(zhuǎn)移基板，藉此產(chǎn)生顯示器件中的缺陷，并根據(jù)高規(guī)格/高 效能器件的開(kāi)發(fā)而引起缺陷器件。又，顆粒被引入用于在腔室內(nèi)部形成真空的真空栗中，導(dǎo) 致真空栗的故障。
[0006] (現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)）
[0007] 韓國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)卦S公開(kāi)案第2003-0068292號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 所要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0009] 本發(fā)明提供由于在不接觸托盤(pán)的情況下轉(zhuǎn)移基板而能夠防止顆粒產(chǎn)生的基板轉(zhuǎn) 移裝置。
[0010] 本發(fā)明提供由于托盤(pán)在被磁性懸浮的同時(shí)進(jìn)行轉(zhuǎn)移而能夠防止顆粒產(chǎn)生的基板 轉(zhuǎn)移裝置。
[0011] 解決問(wèn)題的技術(shù)手段
[0012] 根據(jù)例示性實(shí)施例，基板轉(zhuǎn)移裝置包含:托盤(pán)，基板安裝在所述托盤(pán)上;磁性轉(zhuǎn)移 單元，其安置在所述托盤(pán)下方，磁性地使所述托盤(pán)懸浮，并藉由磁力轉(zhuǎn)移所述托盤(pán)；以及導(dǎo) 引單元，其在不接觸所述托盤(pán)的情況下導(dǎo)引所述托盤(pán)的轉(zhuǎn)移。
[0013] 基板轉(zhuǎn)移裝置可進(jìn)一步包含轉(zhuǎn)移基底，其包含經(jīng)提供以接觸所述托盤(pán)的下側(cè)的接 觸區(qū)域以及自接觸區(qū)域兩側(cè)向下延伸的延伸區(qū)域。
[0014] 磁性轉(zhuǎn)移單元可包含:磁性懸浮部分，其安置于轉(zhuǎn)移基底的一個(gè)區(qū)域上并磁性地 使托盤(pán)懸?。灰约按判赞D(zhuǎn)移部分，其安置在磁性懸浮部分下方以在一個(gè)方向中轉(zhuǎn)移由磁力 懸浮的托盤(pán)。
[0015] 磁性懸浮部分可包含：第一磁性懸浮部分，其接觸轉(zhuǎn)移基底，并包含至少一個(gè)磁 體；以及第二磁性懸浮部分，其與第一磁性懸浮部分隔開(kāi)，并包含將被施加來(lái)自第一磁性懸 浮部分的吸力及斥力中的至少任一個(gè)的至少一個(gè)磁體。
[0016] 磁性轉(zhuǎn)移部分可包含:旋轉(zhuǎn)軸;磁性旋轉(zhuǎn)部分，其包含經(jīng)安置以環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸的 多個(gè)磁體;以及磁性轉(zhuǎn)移部分，其與磁性旋轉(zhuǎn)部分隔開(kāi)并包含多個(gè)磁體。
[0017] 基板轉(zhuǎn)移裝置可進(jìn)一步包含容納部分，其在內(nèi)部容納磁性旋轉(zhuǎn)部分，其中所述容 納部分的上部部分接觸第二磁性懸浮部分。
[0018] 磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個(gè)磁體可設(shè)在轉(zhuǎn)移基底的延伸區(qū)域的至少一個(gè)區(qū)域上，所 述一個(gè)區(qū)域面對(duì)磁性旋轉(zhuǎn)部分。
[0019]磁性旋轉(zhuǎn)部分的所述多個(gè)磁體可經(jīng)提供以使得具有彼此不同極性的磁體被交替 地安置，以便以預(yù)定角度環(huán)繞旋轉(zhuǎn)軸，且磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個(gè)磁體可經(jīng)提供以使得具 有彼此不同極性的磁體被交替地安置，以便具有與磁性旋轉(zhuǎn)部分的角度相同的角度。
[0020] 導(dǎo)引單元可包含:第一導(dǎo)引磁體，其耦接至托盤(pán)的上部部分；以及第二導(dǎo)引磁體， 其設(shè)在腔室的上壁上以與第一導(dǎo)引磁體隔開(kāi)預(yù)定距離，其中第一導(dǎo)引磁體及第二導(dǎo)引磁體 被施加吸力或斥力中的至少任一個(gè)。
[0021] 導(dǎo)引單元可進(jìn)一步包含設(shè)在托盤(pán)與腔室內(nèi)壁之間的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件。
[0022] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在延伸區(qū)域與腔室內(nèi)壁之間。
[0023] 基板轉(zhuǎn)移裝置可進(jìn)一步包含設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元與導(dǎo)引單元之間的至少一個(gè)區(qū)域 上的間隙維持構(gòu)件。
[0024] 間隙維持構(gòu)件可設(shè)在延伸區(qū)域與磁性懸浮部分之間的區(qū)域或延伸區(qū)域與轉(zhuǎn)移導(dǎo) 引件之間的區(qū)域中的至少一個(gè)上。
[0025] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件的至少一部分可在接近托盤(pán)的方向中及在遠(yuǎn)離托盤(pán)的方向中移動(dòng)。
[0026] 當(dāng)托盤(pán)被轉(zhuǎn)移時(shí)，設(shè)在橫移腔室中的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可位于鄰近于托盤(pán)的第一位置 處，且當(dāng)托盤(pán)被返回時(shí)，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可位于遠(yuǎn)離托盤(pán)的第二位置處。
[0027]發(fā)明效果
[0028] 根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置包含:磁性轉(zhuǎn)移部分，其在托盤(pán)下方，所述磁性 轉(zhuǎn)移部分磁性地懸浮并轉(zhuǎn)移其上安裝基板的托盤(pán)；以及導(dǎo)引單元，其在托盤(pán)之上并在托盤(pán) 的側(cè)表面上，導(dǎo)引單元導(dǎo)引托盤(pán)的移動(dòng)。因此，由于并未在托盤(pán)與磁性轉(zhuǎn)移部分之間產(chǎn)生摩 擦，因此不產(chǎn)生顆粒，且因此不會(huì)出現(xiàn)由顆粒引起的產(chǎn)品缺陷且不會(huì)出現(xiàn)諸如真空栗的零 件的故障。
[0029] 在根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置中，導(dǎo)引托盤(pán)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件的至少一 部分可在接近托盤(pán)的方向上及在遠(yuǎn)離托盤(pán)的方向上移動(dòng)。亦即，當(dāng)托盤(pán)被轉(zhuǎn)移時(shí)，橫移腔室 的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件接近于托盤(pán)而安置，且當(dāng)托盤(pán)被返回時(shí)，橫移腔室的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件遠(yuǎn)離托盤(pán)而 安置以允許托盤(pán)的位置被容易地移動(dòng)。因此，當(dāng)在橫移腔室中移動(dòng)托盤(pán)的位置時(shí)，可增加托 盤(pán)的移動(dòng)裕度。
【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1是根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的正視圖。
[0031 ]圖2是說(shuō)明根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的側(cè)視圖。
[0032] 圖3是說(shuō)明根據(jù)第一例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0033] 圖4是說(shuō)明根據(jù)第一例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移部分的示意圖。 [0034]圖5是說(shuō)明根據(jù)第二例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0035] 圖6是說(shuō)明根據(jù)第三例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0036] 圖7是說(shuō)明根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的導(dǎo)引單元的側(cè)視圖。
[0037] 圖8是說(shuō)明根據(jù)第四例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0038] 圖9是說(shuō)明根據(jù)第五例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0039] 圖10及圖11是說(shuō)明根據(jù)第六例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040] 下文中，將參看附圖更詳細(xì)地描述例示性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可呈不同形式，且 不應(yīng)被理解為限于本文中所闡述的實(shí)施例。確切而言，提供此等實(shí)施例以使得本發(fā)明將為 透徹且完整的，且將向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的范疇。
[0041] 圖1是根據(jù)第一例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的正視圖，且圖2是說(shuō)明根據(jù)第一例 示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的側(cè)視圖。即，自安裝基板的方向來(lái)看，圖1是正視圖，且圖2是 側(cè)視圖。又，圖3是說(shuō)明根據(jù)第一例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖， 且圖4是說(shuō)明根據(jù)第一例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移部分的示意圖。
[0042] 參看圖1至圖4,根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤(pán)（100)，其轉(zhuǎn)移安 裝在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在所述托盤(pán)（100)下方，磁性地使所述托盤(pán) (100)懸浮，并藉由磁力轉(zhuǎn)移所述托盤(pán)（100);以及導(dǎo)引單元(300)，其安置在所述托盤(pán)（100) 上方以導(dǎo)引所述托盤(pán)(100)的轉(zhuǎn)移。
[0043] 托盤(pán)（100)是以中空矩形框架的形狀提供，且基板安裝在其上。即，托盤(pán)（100)可以 中空矩形框架的形狀制造，以使得具有預(yù)定長(zhǎng)度的四個(gè)條設(shè)在上部側(cè)、下部側(cè)、左側(cè)以及右 側(cè)上，彼此隔開(kāi)預(yù)定距離，且條的末端彼此接觸。又，用于可拆卸地夾持基板的多個(gè)夾具可 設(shè)在托盤(pán)（100)上。此處，基板的邊緣可按預(yù)定寬度接觸托盤(pán)（100)的四個(gè)側(cè)，且基板可藉由 夾具固定。此托盤(pán)（1〇〇)是在基板安裝于其上且所述托盤(pán)垂直地或傾斜地豎立的狀態(tài)中進(jìn) 行轉(zhuǎn)移。即，多個(gè)腔室在一個(gè)方向上連接，且在其上安裝有基板的托盤(pán)（100)移動(dòng)穿過(guò)所述 多個(gè)腔室的內(nèi)部的同時(shí)，在基板上執(zhí)行諸如薄膜沉積制程的預(yù)定制程。托盤(pán)(100)所移動(dòng)穿 過(guò)的所述多個(gè)腔室可包含:裝載腔室，在其中基板被安裝于托盤(pán)（100)上；以及多個(gè)沉積腔 室，在其中預(yù)定薄膜沉積于安裝在托盤(pán)（1〇〇)上的基板上；以及橫移(traverse)腔室，在其 中托盤(pán)（100)被提升且托盤(pán)（100)的位置被移動(dòng)。即，基板在裝載腔室中安裝于托盤(pán)（100) 上，接著在托盤(pán)移動(dòng)穿過(guò)所述多個(gè)沉積腔室的同時(shí)多個(gè)薄膜沉積于基板上，且接著在橫移 腔室中移動(dòng)托盤(pán)的位置以使得托盤(pán)可朝向裝載腔室移動(dòng)。此處，裝載腔室、所述多個(gè)沉積腔 室以及橫移腔室可維持真空狀態(tài)。又，基板可為用于制造包含液晶顯示器件的平板顯示器 件的各種基板，且可由包含(例如)玻璃、塑膠、薄膜或類似的材料制成。另外，接觸轉(zhuǎn)移單元 (200)的部分的轉(zhuǎn)移基底（110)可設(shè)在托盤(pán)（100)下方。轉(zhuǎn)移基底（110)可設(shè)在托盤(pán)（100)底 部的整個(gè)區(qū)域上。即，轉(zhuǎn)移基底(110)可具有與托盤(pán)(100)底部的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度，且可連接 至托盤(pán)（100)的底部以在向下方向上具有預(yù)定厚度。此轉(zhuǎn)移基底（110)可包含具有與托盤(pán) (100)寬度相同的寬度的第一區(qū)域(111)，及設(shè)在第一區(qū)域(111)下方并具有小于托盤(pán)(100) 寬度的寬度(例如，托盤(pán)（100)的一半寬度）的第二區(qū)域（112)。此處，磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的 部分可接觸第二區(qū)域(112)。當(dāng)然，可以各種形狀提供轉(zhuǎn)移基底(110)。
[0044] 磁性轉(zhuǎn)移單元(200)磁性地使托盤(pán)（100)懸浮并轉(zhuǎn)移托盤(pán)（100)同時(shí)維持與托盤(pán) (100)的無(wú)接觸狀態(tài)。此磁性轉(zhuǎn)移單元(200)可包含磁性地使托盤(pán)（100)懸浮的磁性懸浮部 分（210 )，及磁性轉(zhuǎn)移部分（220 )，磁性轉(zhuǎn)移部分(220)藉由被施加來(lái)自磁性懸浮部分(210) 的吸力或斥力而轉(zhuǎn)移由磁性懸浮部分(210)磁性地懸浮的托盤(pán)(100)。
[0045] 磁性懸浮部分（210)可包含經(jīng)提供以接觸轉(zhuǎn)移基底（110)的第一磁性懸浮部分 (211) ，及經(jīng)提供以與第一磁性懸浮部分(211)隔開(kāi)的第二磁性懸浮部分(212)。此處，第二 磁性懸浮部分(212)可設(shè)在托盤(pán)（100)與托盤(pán)（100)轉(zhuǎn)移穿過(guò)的所述多個(gè)腔室的內(nèi)壁之間。 此處，第二磁性懸浮部分(212)可固定至托盤(pán)（100)轉(zhuǎn)移穿過(guò)的所述多個(gè)腔室的內(nèi)壁，并固 定在距腔室底部部分的預(yù)定高度處。即，其上安裝有基板的托盤(pán)(100)可經(jīng)轉(zhuǎn)移穿過(guò)串聯(lián)連 接的多個(gè)腔室，第一磁性懸浮部分(211)可耦接至在托盤(pán)（100)下方的轉(zhuǎn)移基底（110)的第 二區(qū)域（112)的兩個(gè)側(cè)表面，且第二磁性懸浮部分（212)可設(shè)在托盤(pán)（100)與腔室之間以面 對(duì)第一磁性懸浮部分(211)并可耦接至腔室的內(nèi)壁或底部表面。如圖3中所說(shuō)明，第一磁性 懸浮部分(211)可包含：固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的兩個(gè)側(cè)表面的第一固定 構(gòu)件（211a)、設(shè)在第一固定構(gòu)件（21 la)的側(cè)表面的預(yù)定區(qū)域上的至少一個(gè)第一磁體 (211b)，以及設(shè)在第一固定構(gòu)件（211a)的底部表面的預(yù)定區(qū)域上的至少一個(gè)第二磁體 (211c)。即，第一及第二磁體(211b、211c)中的每一個(gè)可經(jīng)提供為單一磁體，或第一及第二 磁體(211 b、211 c)中的至少任一個(gè)可經(jīng)提供為兩個(gè)或大于兩個(gè)磁體。舉例而言，第一磁體 (211b)可經(jīng)提供為單一磁體，且第二磁體(211c)可經(jīng)提供為兩個(gè)或大于兩個(gè)磁體。第一固 定構(gòu)件(211a)可以具有預(yù)定高度及寬度的大致六面體形狀提供，且可沿轉(zhuǎn)移基底（110)的 第二區(qū)域（112)具有與第二區(qū)域(112)的長(zhǎng)度相同的長(zhǎng)度并具有與第二區(qū)域(112)的凹陷深 度相同的寬度。因此，第一磁性懸浮部分(211)可與轉(zhuǎn)移基底（110)共面。即，藉由第一固定 構(gòu)件(211a)及位于第一固定構(gòu)件之間的第二區(qū)域（112)界定的寬度可與轉(zhuǎn)移基底（110)的 第一區(qū)域（111)的寬度相同或與托盤(pán)(100)的寬度相同。當(dāng)然，藉由第二區(qū)域（112)及在第二 區(qū)域（112)的一側(cè)及另一側(cè)的第一磁性懸浮部分(211)界定的寬度可大于或小于轉(zhuǎn)移基底 (110)的寬度或托盤(pán)(100)的寬度。又，第一及第二磁體(211b、211c)可經(jīng)提供以嵌入于第一 固定構(gòu)件（211a)中達(dá)預(yù)定深度。即，第一及第二磁體（211b、211c)可設(shè)在第一固定構(gòu)件 (211a)中預(yù)定深度處，使得第一及第二磁體(211b、211c)的表面可與第一固定構(gòu)件(211a) 的表面共面。第一固定構(gòu)件(211a)可由諸如對(duì)由磁體產(chǎn)生的磁力不作出回應(yīng)的金屬、陶瓷、 塑膠或類似的材料形成，且可由（例如)鎢形成。第二磁性懸浮部分(212)可經(jīng)提供以與第一 磁性懸浮部分(211)隔開(kāi)預(yù)定距離并面對(duì)第一磁性懸浮部分(211)。即，第二磁性懸浮部分 (212) 可設(shè)在腔室的內(nèi)壁側(cè)面上并與第一磁性懸浮部分(211)隔開(kāi)，使得其內(nèi)表面面對(duì)第一 磁性懸浮部分(211)。此第二磁性懸浮部分(212)可包含:與第一磁性懸浮部分(211)的第一 固定構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定距離并面對(duì)其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及分別面對(duì)第一磁性懸 浮部分(211)的第一磁體(211b)及第二磁體(211c)的第三磁體及第四磁體(212b、212c)。此 處，第三及第四磁體（212b、212c)中的每一個(gè)可經(jīng)提供為單一磁體，或第三及第四磁體 (212b、212c)中的至少一個(gè)可經(jīng)提供為對(duì)應(yīng)于第一及第二磁體(211b、211c)的數(shù)目的兩個(gè) 或大于兩個(gè)磁體。舉例而言，當(dāng)提供一個(gè)第一磁體（21 lb)及兩個(gè)或大于兩個(gè)第二磁體 (211c)時(shí)，可提供一個(gè)第三磁體(212b)及兩個(gè)或大于兩個(gè)第四磁體(212c)。又，第二固定構(gòu) 件(212a)可連接至腔室的內(nèi)壁或底部表面并固定至其，并可經(jīng)提供以使得一側(cè)具有形 狀且另一側(cè)具有。? ?形狀以便與具有矩形橫截面的第一固定構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定距離。第 一磁體(211b)及第三磁體(212b)可具有彼此不同的極性且吸力可在其間起作用。然而，第 二磁體(211c)及第四磁體(212c)可具有彼此相同的極性，且斥力可在其間起作用。斥力在 第二與第四磁體(211c、212c)之間起作用，且因此托盤(pán)（100)可被懸浮。又，吸力在第一與第 三磁體(211b、212b)之間起作用，且因此可防止托盤(pán)（100)向上及向下移動(dòng)。即，托盤(pán)（100) 可藉由第二與第四磁體(211c、212c)之間的斥力而被磁性地懸浮并向上移動(dòng)，所述斥力可 藉由在第一與第三磁體(211b、212b)之間起作用的吸力抑制。類似于第一固定構(gòu)件(211a)， 第二固定構(gòu)件(212a)可由諸如對(duì)由磁體產(chǎn)生的磁力不作出回應(yīng)的金屬、陶瓷、塑膠或類似 的材料形成，且可由（例如）鎢形成。第一磁性懸浮部分(211)可在托盤(pán)（100)的長(zhǎng)度方向上 (即，在托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移方向上)設(shè)在轉(zhuǎn)移基底（110)的整個(gè)區(qū)域上，且第二磁性懸浮部分 (212) 可設(shè)在托盤(pán)(100)移動(dòng)穿過(guò)的整個(gè)區(qū)域上。即，由于托盤(pán)(100)通過(guò)所述多個(gè)腔室的內(nèi) 部，因此第二磁性懸浮部分（212)可設(shè)在所述多個(gè)腔室的內(nèi)壁的面對(duì)第一磁性懸浮部分 (211)的區(qū)域上。然而，第一及第二磁性懸浮部分(21U212)中的至少任一個(gè)可被提供多個(gè)， 以使得第一及第二磁性懸浮部分(211、212)中的至少任一個(gè)的該多個(gè)以預(yù)定間隔配置。舉 例而言，第二磁性懸浮部分(212)可在長(zhǎng)度方向上設(shè)在整個(gè)區(qū)域上，且可提供多個(gè)第一磁性 懸浮部分(211)以使得所述多個(gè)第一磁性懸浮部分(211)以預(yù)定間隔配置。又，第一磁性懸 浮部分(211)的第一及第二磁體(211b、211c)以及第二磁性懸浮部分(212)的第三及第四磁 體(212b、212c)可在長(zhǎng)度方向上設(shè)在整個(gè)區(qū)域上，且可被提供多個(gè)而按預(yù)定間隔隔開(kāi)。舉例 而言，第一磁體(211b)及第二磁體(211c)可設(shè)在整個(gè)區(qū)域之上，且可以預(yù)定間隔提供第三 及第四磁體(21213、212〇)。又，用于維持第一與第二磁性懸浮部分(211、212)之間的間隙的 間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在第一磁性懸浮部分(211)與第二磁性懸浮部分(212)之間。即，由 于吸力在彼此面對(duì)的第一與第三磁體(211b、212b)之間起作用，因此第一與第二磁性懸浮 部分(21U212)之間的間隙減少或第一及第三磁體(211b、212b)可彼此附著。可藉由提供間 隙維持構(gòu)件(213)而維持第一與第二磁性懸浮部分(211、212)之間的間隙。此間隙維持構(gòu)件 (213) 可設(shè)在第一及第三磁體(211b、212b)下方的區(qū)域上。即，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在第 一磁性懸浮部分(211)的外表面與第二磁性懸浮部分(212)的內(nèi)表面之間。又，間隙維持構(gòu) 件(213)可設(shè)在第一與第二磁性懸浮部分(21U212)之間在長(zhǎng)度方向上的整個(gè)區(qū)域上，且可 以預(yù)定間隔提供多個(gè)間隙維持構(gòu)件(213)。
[0046]磁性轉(zhuǎn)移部分(220)可包含:經(jīng)提供以與轉(zhuǎn)移基底（110)的底面隔開(kāi)預(yù)定距離的磁 性旋轉(zhuǎn)部分(221)，及設(shè)在轉(zhuǎn)移基底（110)下方以與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)隔開(kāi)預(yù)定距離的磁 性轉(zhuǎn)移部分(222)。磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)可經(jīng)提供以與轉(zhuǎn)移基底（110)的底面隔開(kāi)預(yù)定距離。 此處，磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)可具有與托盤(pán)（100)寬度相同的寬度，且可具有大于或小于托盤(pán) (100)寬度的寬度。如圖3及圖4中所說(shuō)明，此磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)可包含旋轉(zhuǎn)軸(221 a)及形 成于旋轉(zhuǎn)軸(221a)的表面上的多個(gè)第五磁體(221b)。旋轉(zhuǎn)軸(221a)可具有大致圓形條的形 狀并藉由旋轉(zhuǎn)馬達(dá)(未圖示)在一個(gè)或另一個(gè)方向上旋轉(zhuǎn)。又，所述多個(gè)第五磁體(221b)可 以按預(yù)定角度環(huán)繞軸的形狀設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸（221a)的表面上，且舉例而言，可具有螺紋形狀。 即，可在旋轉(zhuǎn)軸(221a)上提供多個(gè)所述第五磁體(221b)(如圖4中所說(shuō)明）以按角度(例如， 45°)環(huán)繞軸。此處，所述多個(gè)第五磁體（221b)可經(jīng)提供以使得S極及N極在按角度（例如， 45°)環(huán)繞旋轉(zhuǎn)軸的同時(shí)被交替地提供。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可設(shè)在轉(zhuǎn)移基底(110)下方。即， 磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可設(shè)在磁性懸浮部分(210)之間的轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)下 方。在此磁性轉(zhuǎn)移部分(222)中，具有彼此不同極性的磁體可交替地安置。即，如圖4中所說(shuō) 明，磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可包含固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的底面的第三固定 構(gòu)件(222a)，及設(shè)在第三固定構(gòu)件(222a)的一個(gè)表面上的多個(gè)第六磁體(222b)，其中極性 彼此不同，即，S極及N極可被交替地提供至所述多個(gè)第六磁體(222b)。此處，可提供磁性轉(zhuǎn) 移部分（222)的多個(gè)第六磁體（222b)以具有與磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)的所述多個(gè)第五磁體 (221b)的角度相同的角度(例如，45° )。因此，由于歸因于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)的極性 及磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的極性彼此不同或相同，且吸力或斥力藉此起作用，因此磁性轉(zhuǎn)移部 分(222)根據(jù)磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)在一個(gè)方向上移動(dòng)。即，磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn) 轉(zhuǎn)換為磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的線性運(yùn)動(dòng)以移動(dòng)磁性懸浮的托盤(pán)(100)。
[0047] 導(dǎo)引單元（300)可包含耦接至托盤(pán)（100)的上部部分的第一導(dǎo)引磁體(310)，及設(shè) 在腔室的上壁上以與第一導(dǎo)引磁體(310)隔開(kāi)預(yù)定距離的第二導(dǎo)引磁體(320)。此處，第一 及第二導(dǎo)引磁體(310、320)可具有相同的極性以使得斥力在其間起作用，或可具有彼此不 同的極性以使得吸力在其間起作用。又，可以各種形狀提供第一及第二導(dǎo)引磁體（310、 320)。舉例而言，可以直線形狀彼此面對(duì)地提供第一及第二導(dǎo)引磁體(310、320)。又，第一導(dǎo) 引磁體(310)可以圓形條形狀提供，且第二導(dǎo)引磁體(320)可具有例如以"η"形狀彎曲的橫 截面以自導(dǎo)引磁體(310)上方環(huán)繞第一導(dǎo)引磁體(310)。即，第二導(dǎo)引磁體(320)可經(jīng)提供以 環(huán)繞第一導(dǎo)引磁體(310)同時(shí)與第一導(dǎo)引磁體(310)隔開(kāi)預(yù)定距離。因此，托盤(pán)（100)的上部 末端經(jīng)導(dǎo)引以使得托盤(pán)(100)在被轉(zhuǎn)移的同時(shí)不落下，這是因?yàn)榈诙?dǎo)引磁體(320)在第一 導(dǎo)引磁體(310)兩側(cè)對(duì)第一導(dǎo)引磁體(310)施加推力或拉力。
[0048] 其中組合鐵芯及線圈的電磁體、永久磁體或電磁體與永久磁體的組合可用作例示 性實(shí)施例的磁體。
[0049] 如上文所描述，根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置具備安置在托盤(pán)（100)下方并 磁性地懸浮及轉(zhuǎn)移托盤(pán)（100)的磁體轉(zhuǎn)移單元(200)，及安置在托盤(pán)（100)之上并導(dǎo)引托盤(pán) (100)的導(dǎo)引單元(300)。又，磁體轉(zhuǎn)移單元(200)包含磁性地使托盤(pán)（100)懸浮的磁性懸浮 部分(210 )，及歸因于磁力將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成線性運(yùn)動(dòng)以轉(zhuǎn)移磁性懸浮的托盤(pán)(100)的磁性轉(zhuǎn)移 部分(220)。因此，根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置藉由磁性懸浮部分(210)磁性地使托 盤(pán)（100)懸浮，且接著磁性旋轉(zhuǎn)部分(220)在一個(gè)方向上旋轉(zhuǎn)以在一個(gè)方向上轉(zhuǎn)移磁性懸浮 的托盤(pán)(100)。在此例示性實(shí)施例中，由于并未在托盤(pán)(100)與磁性轉(zhuǎn)移單元(200)之間產(chǎn)生 摩擦，因此不產(chǎn)生顆粒。因此，并未產(chǎn)生歸因于顆粒的產(chǎn)品缺陷，且不發(fā)生諸如真空栗的零 件的故障。
[0050] 根據(jù)例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可經(jīng)由在托盤(pán)（100)下方磁性地使托盤(pán)（100) 懸浮及藉由使用磁力轉(zhuǎn)移托盤(pán)（100)的各種方法來(lái)實(shí)施。即，在托盤(pán)（100)下方的結(jié)構(gòu)可以 不同方式受到修改。此另一例示性實(shí)例是在圖5及圖6中說(shuō)明。圖5是說(shuō)明根據(jù)第二例示性實(shí) 施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖，且將藉由使用此圖5在下文描述第二例示 性實(shí)施例。
[0051] 參看圖5,根據(jù)第二例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤(pán)（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤(pán)（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤(pán) (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其安置在托盤(pán)（100)之上以導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移。此處，將不 描述或簡(jiǎn)單地描述與第一例示性實(shí)施例相同的組態(tài)。
[0052] 轉(zhuǎn)移基底（110)設(shè)在托盤(pán)(100)下方，且轉(zhuǎn)移基底（110)可包含具有與托盤(pán)(100)寬 度相同的寬度的第一區(qū)域（111)、安置在第一區(qū)域（111)下方并具有小于第一區(qū)域（111)寬 度的第二區(qū)域（112)，以及設(shè)在第二區(qū)域（112)下方以環(huán)繞磁性旋轉(zhuǎn)部分(222)的第三區(qū)域 (113)。第三區(qū)域(113)可包含自第二區(qū)域（112)向下延伸的延伸部分、水平地設(shè)在延伸部分 下方的水平部分（113a)，以及自水平部分（113a)的兩側(cè)向下延伸的垂直部分（113b、113c)。 此處，水平部分（113a)經(jīng)提供以具有大于磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)的寬度的寬度且垂直部分 (113b、113c)經(jīng)提供以具有大于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的高度的高度。因此，水平部分（113a) 以及在水平部分兩側(cè)的垂直部分（113b、113c)經(jīng)提供以環(huán)繞磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的上部部 分及側(cè)部分。
[0053]此磁性轉(zhuǎn)移單元（200)可包含磁性地使托盤(pán)（100)懸浮的磁性懸浮部分(210 )，及 藉由允許吸力或斥力在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與磁性懸浮部分(210)之間起作用而轉(zhuǎn)移藉由 磁性懸浮部分(210)磁性懸浮的托盤(pán)（100)的磁性轉(zhuǎn)移部分(220)。磁性懸浮部分(210)可包 含設(shè)在轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)上的第一磁性懸浮部分(211)、經(jīng)提供以與第一磁 性懸浮部分（211)隔開(kāi)的第二磁性懸浮部分（212)、用于維持第一與第二磁性懸浮部分 (211、212)之間的間隙的間隙維持構(gòu)件(213)，以及支撐第二磁性懸浮部分(212)的支撐構(gòu) 件(214)。第一磁性懸浮部分(211)可包含：固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的側(cè)表 面及底部表面的第一固定構(gòu)件(211a)、設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的側(cè)表面的預(yù)定區(qū)域上的 至少一個(gè)第一磁體(211b)，以及設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的底部表面的預(yù)定區(qū)域上的至少 一個(gè)第二磁體(211c)。第一固定構(gòu)件(211a)可經(jīng)提供以具有具有形狀的一個(gè)側(cè)面及具 有?形狀的另一側(cè)面。此處，第一固定構(gòu)件(211a)可經(jīng)提供以自轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū) 域（111)突出。即，藉由第一固定構(gòu)件(211a)及在第一固定構(gòu)件之間的第二區(qū)域（112)所界 定的寬度可大于轉(zhuǎn)移基底(110)的第一區(qū)域(111)的寬度或托盤(pán)(100)的寬度。又，第一及第 二磁體(211b、211c)中的每一個(gè)可經(jīng)提供為單一磁體，或第一及第二磁體(21 lb、211 c)中的 至少任一個(gè)可以兩個(gè)或大于兩個(gè)磁體提供。舉例而言，第一磁體(21 lb)可經(jīng)提供為單一磁 體，且第二磁體(211 c)可經(jīng)提供為兩個(gè)或大于兩個(gè)磁體。第二磁性懸浮部分(212)可經(jīng)提供 以與第一磁性懸浮部分(211)隔開(kāi)預(yù)定距離以面對(duì)第一磁性懸浮部分(211)。此第二磁性懸 浮部分(212)可包含與第一磁性懸浮部分(211)的第一固定構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定距離并面 向其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及分別面對(duì)第一磁性懸浮部分(211)的第一磁體(211b)及 第二磁體（211c)的第三及第四磁體(21213、212(：)。此處，第三及第四磁體(21213、212(3)中的 每一個(gè)可以單一磁體提供，或第三及第四磁體(212b、212c)中的至少一個(gè)可以對(duì)應(yīng)于第一 及第二磁體(211b、211c)的數(shù)目的兩個(gè)或大于兩個(gè)磁體提供。舉例而言，當(dāng)提供一個(gè)第一磁 體(211 b)以及兩個(gè)或大于兩個(gè)第二磁體(211 c)時(shí)，可提供一個(gè)第三磁體(212b)及兩個(gè)或大 于兩個(gè)第四磁體(212c)。又，第二固定構(gòu)件(212a)可經(jīng)提供以具有具有"I·"形狀的一個(gè)側(cè)面 及具有形狀的另一側(cè)面以便與第一固定構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定距離。支撐構(gòu)件(214)可設(shè) 在第二磁性懸浮部分(212)下方以支撐第二磁性懸浮部分(212)。即，支撐構(gòu)件(214)可設(shè)在 第二磁性懸浮部分(212)的水平部分與腔室底部之間以支撐第二磁性懸浮部分(212)的水 平部分。支撐構(gòu)件(214)支撐第二磁性懸浮部分(212)的水平部分，且因此第二磁性懸浮部 分(212)可被更穩(wěn)定地支撐。即，第二磁性懸浮部分(212)的垂直部分是藉由腔室的內(nèi)壁固 定且第二磁性懸浮部分(212)的水平部分是藉由支撐構(gòu)件(214)支撐，且因此第二磁性懸浮 部分(212)可被更穩(wěn)定地實(shí)施。轉(zhuǎn)移基底（110)的一部分及磁性轉(zhuǎn)移部分(220)可設(shè)在支撐 構(gòu)件(214)的內(nèi)部。即，轉(zhuǎn)移基底（110)的第三區(qū)域(113)可設(shè)在支撐構(gòu)件(214)的內(nèi)部，且磁 性轉(zhuǎn)移部分(220)可設(shè)在第三區(qū)域(113)的內(nèi)部。
[0054] 磁性轉(zhuǎn)移部分(220)可包含磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)及與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)隔開(kāi)預(yù)定 距離的磁性轉(zhuǎn)移部分（222)。磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)可設(shè)在水平部分（113a)以及垂直部分 (113b、113c)的內(nèi)部以與其隔開(kāi)預(yù)定距離。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可設(shè)在水平部分（113a)以及 垂直部分（113b、113c)的至少一個(gè)區(qū)域上。類似于例示性實(shí)施例，磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)包含 旋轉(zhuǎn)軸（221a)，以及經(jīng)提供以按預(yù)定角度環(huán)繞旋轉(zhuǎn)軸（221a)的表面的多個(gè)第五磁體 (221b)。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可經(jīng)提供至垂直部分（113b、113c)。即，磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可 經(jīng)提供至磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)的兩側(cè)。當(dāng)然，磁性轉(zhuǎn)移部分（222)可經(jīng)提供至水平部分 (113a)，且經(jīng)提供至水平部分（113a)以及垂直部分（113b、113c)兩個(gè)。此磁性轉(zhuǎn)移部分 (222)可具備預(yù)定固定構(gòu)件，且S極及N極可交替地設(shè)在固定構(gòu)件上。此處，磁性轉(zhuǎn)移部分 (222)可經(jīng)提供以具有與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的所述多個(gè)第五磁體(221b)的角度相同的角 度(例如45° )。因此，由于歸因于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)的極性及磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的 極性彼此相同，且吸力藉此起作用，因此磁性轉(zhuǎn)移部分(222)根據(jù)磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋 轉(zhuǎn)在一個(gè)方向上移動(dòng)。即，磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的線性運(yùn) 動(dòng)以移動(dòng)磁性懸浮的托盤(pán)(100)。
[0055]圖6是說(shuō)明根據(jù)第三例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。 [0056]參看圖6,根據(jù)第三例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤(pán)（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤(pán)（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤(pán) (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其安置在托盤(pán)（100)之上以導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移。此處，在第 三例示性實(shí)施例中，磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的磁性懸浮部分(210)的結(jié)構(gòu)不同于使用圖5描述 的第二例示性實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，且此將主要利用另一例示性實(shí)施例而描述如下。
[0057]磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的磁性懸浮部分(210)可包含:第一磁性懸浮部分(211 )，其設(shè) 在轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)上;第二磁性懸浮部分(212)，其經(jīng)提供以與第一磁性懸 浮部分(211)隔開(kāi);間隙維持構(gòu)件(213)，其用于維持第一與第二磁性懸浮部分(21U212)之 間的間隙；以及支撐構(gòu)件(214)，其支撐第二磁性懸浮部分(212)。第一磁性懸浮部分(211) 可包含:第一固定構(gòu)件(211a)，其固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的側(cè)表面及底部 表面，并具有具有" 形狀的一個(gè)側(cè)面及具有。d，，_形狀的另一側(cè)面；至少一個(gè)第一磁體 (211b)，其設(shè)在第一固定構(gòu)件（211a)的上表面的預(yù)定區(qū)域上；以及至少一個(gè)第二磁體 (211c)，其設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的底部表面的預(yù)定區(qū)域上。即，盡管第一磁體(211b)在 第一及第二例示性實(shí)施例中設(shè)在第一固定構(gòu)件(21 la)的側(cè)表面上，但在第三實(shí)施例中第一 磁體(211b)可設(shè)在第一固定構(gòu)件（211a)的上表面上。此處，第一磁體(211b)可設(shè)在第一固 定構(gòu)件(211a)的上表面上同時(shí)與轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域（111)的側(cè)表面隔開(kāi)。又，第二 磁性懸浮部分(212)可經(jīng)提供以與第一磁性懸浮部分(211)隔開(kāi)預(yù)定距離以面對(duì)第一磁性 懸浮部分(211)。此第二磁性懸浮部分(212)可包含與第一磁性懸浮部分(211)的第一固定 構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定距離并面對(duì)其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及分別面對(duì)第一磁性懸浮部 分(211)的第一磁體(211b)及第二磁體(211c)的第三及第四磁體(212b、212c)。此處，第二 固定構(gòu)件(212a)可與第一固定構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定距離并面對(duì)其，且可經(jīng)提供以具有具有 "Π "形狀的一個(gè)側(cè)面及具有"二"形狀的另一側(cè)面以便面對(duì)第一固定構(gòu)件(211a)的上表面。 第二固定構(gòu)件(212a)可經(jīng)提供以具有短上部側(cè)面及長(zhǎng)下部側(cè)面，并在其整個(gè)區(qū)域之內(nèi)與第 一固定構(gòu)件（211a)隔開(kāi)相同距離。此處，第一磁體(211b)及第三磁體(212b)彼此可具有不 同極性，且吸力可藉此起作用。第二磁體(211c)及第四磁體(212c)彼此可具有相同極性，且 斥力可藉此起作用。又，在其之間吸力起作用的磁體可進(jìn)一步設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的 側(cè)表面及第二固定構(gòu)件(212a)的側(cè)表面上。
[0058] 圖7是說(shuō)明根據(jù)例示性實(shí)施例的導(dǎo)引單元(300)的側(cè)視圖。
[0059] 參看圖7,根據(jù)例示性實(shí)施例的導(dǎo)引單元(300)可包含:第一板(311)，其耦接至托 盤(pán)（100)的上部;第一導(dǎo)引磁體(310)，其設(shè)在第一板(311)上;第二板(321)，其固定至腔室 的上壁；第二導(dǎo)引磁體（320)，其與第一導(dǎo)引磁體（310)隔開(kāi)預(yù)定距離并設(shè)在第二板（321) 上；側(cè)板（330)，其自第二板(321)的側(cè)表面向下延伸；第三導(dǎo)引磁體(340)，其設(shè)在第一板 (311)的側(cè)表面上;第四導(dǎo)引磁體(350)，其與第三導(dǎo)引磁體(340)隔開(kāi)預(yù)定距離并面對(duì)第三 導(dǎo)引磁體(340)且設(shè)在側(cè)板(330)上；以及第二間隙維持構(gòu)件(360)，其設(shè)在側(cè)板(330)的預(yù) 定區(qū)域上以維持側(cè)板(330)與導(dǎo)引磁體(310、320、340、350)之間的間隙。此處，第三及第四 導(dǎo)引磁體（340、350)可設(shè)在第二導(dǎo)引磁體（320)之上的第二板（321)與面對(duì)第二板的側(cè)板 (330)之間，且可設(shè)在第一板(311)與面對(duì)第一板的側(cè)板(330)之間及第二板(321)與面對(duì)第 二板的側(cè)板(330)之間的兩個(gè)區(qū)域上。又，第一及第二導(dǎo)引磁體(310、320)可具有相同極性 以使得斥力在其間起作用，或可具有彼此不同的極性以使得吸力在其間起作用。又，第三及 第四導(dǎo)引磁體(340、350)可具有相同極性以使得斥力在其間起作用。因此，托盤(pán)（100)的上 部末端部分可藉由第一與第二導(dǎo)引磁體（310、320)之間的吸力及第三與第四導(dǎo)引磁體 (340、350)之間的斥力而轉(zhuǎn)移同時(shí)被導(dǎo)引而不落下。即，由于斥力是由第三及第四導(dǎo)引磁體 (340、350)自側(cè)表面施加，因此與使用第一及第二導(dǎo)引磁體（310、320)的狀況相比，托盤(pán) (100)的垂直姿勢(shì)轉(zhuǎn)移可更容易執(zhí)行。又，由于進(jìn)一步提供第二間隙維持構(gòu)件(360)，因此托 盤(pán)(100)的搖動(dòng)寬度可被均勻地維持，且因此托盤(pán)(100)的垂直姿勢(shì)轉(zhuǎn)移可更容易執(zhí)行。
[0060] 導(dǎo)引托盤(pán)(100)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可進(jìn)一步設(shè)在托盤(pán)（100)下方。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可 經(jīng)提供以與托盤(pán)（100)隔開(kāi)預(yù)定距離，其中托盤(pán)（100)安置在其間。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在托盤(pán) (100)與腔室的內(nèi)壁之間。即，兩個(gè)轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可經(jīng)提供以在腔室的側(cè)表面與托盤(pán)（100)之 間與托盤(pán)（100)隔開(kāi)預(yù)定距離。舉例而言，在圖3、圖5,以及圖6中，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在磁性懸 浮部分(210)的外部。即，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在磁性懸浮部分(210)的第二磁性懸浮部分(212) 與腔室的內(nèi)壁之間。當(dāng)轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件設(shè)在第二磁性懸浮部分(212)與腔室的內(nèi)壁之間時(shí)，可自 腔室的底部表面固定第二磁性懸浮部分(212)。將在下文使用圖8及圖9描述具備此轉(zhuǎn)移導(dǎo) 引件的基板轉(zhuǎn)移裝置。
[0061 ]圖8是說(shuō)明根據(jù)第四例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0062] 參看圖8,根據(jù)第四例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤(pán)（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤(pán)（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤(pán) (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其用于導(dǎo)引托盤(pán)（100)。導(dǎo)引單元(300)可設(shè)在托盤(pán)（100)之上 及下方。圖7中描述及說(shuō)明的組態(tài)可設(shè)在托盤(pán)（100)之上，且用于導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn) 移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在托盤(pán)(100)下方。此處，在第四例示性實(shí)施例中，與第一至第三例示性 實(shí)施例中的組態(tài)相同的組態(tài)將被簡(jiǎn)單描述或?qū)⒉槐幻枋觥?br>[0063] 轉(zhuǎn)移基底（110)設(shè)在托盤(pán)(100)下方，且轉(zhuǎn)移基底（100)可包含:第一區(qū)域（111)，其 具有與托盤(pán)(1〇〇)寬度相同的寬度；以及延伸區(qū)域(114)，其設(shè)在第一區(qū)域(111)的側(cè)表面上 并環(huán)繞磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)。即，延伸區(qū)域(114)可經(jīng)提供以自第一區(qū)域(111)的側(cè)表面向下 延伸。此處，延伸區(qū)域(114)可經(jīng)提供以具有大于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的寬度的寬度，以便與 磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)隔開(kāi)預(yù)定距離?？梢跃哂蓄A(yù)定寬度及長(zhǎng)度的板形狀提供此延伸區(qū)域 (114)。又，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)內(nèi)部的預(yù)定區(qū)域上。即，在使用圖6描 述的第三例示性實(shí)施例中，間隙維持構(gòu)件(213)設(shè)在第一與第二磁性懸浮部分(211、212)之 間以維持在第一磁性懸浮部分(211)與第二磁性懸浮部分(212)之間的間隙。在第四例示性 實(shí)施例中，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)內(nèi)部在延伸區(qū)域（114)與磁性轉(zhuǎn)移部 分(220)之間。當(dāng)然，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移部分(220)的一個(gè)區(qū)域上。即，間隙 維持構(gòu)件(213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)與磁性轉(zhuǎn)移部分(220)之間，或經(jīng)提供以固定至磁性 轉(zhuǎn)移部分(220)的預(yù)定區(qū)域。至少一個(gè)第七磁體（115)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)的至少一個(gè)區(qū) 域上，即設(shè)在延伸區(qū)域的外部區(qū)域上。
[0064] 磁性轉(zhuǎn)移單元（200)可包含磁性懸浮托盤(pán)（100)的磁性懸浮部分(210 )，及藉由允 許吸力或斥力在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與磁性懸浮部分(210)之間起作用而轉(zhuǎn)移由磁性懸浮 部分(210)磁性懸浮的托盤(pán)（100)的磁性轉(zhuǎn)移部分(220)。磁性懸浮部分(210)可包含經(jīng)提供 以固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域（111)的第一磁性懸浮部分(211)，以及經(jīng)提供以與第 一磁性懸浮部分（211)隔開(kāi)的第二磁性懸浮部分(212)。第一磁性懸浮部分(211)可包含固 定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域(111)的下表面的第一固定構(gòu)件(211a)，以及設(shè)在第一固定 構(gòu)件(211a)的下表面的預(yù)定區(qū)域上的至少一個(gè)第一磁體(211b)。其上部部分固定至第一區(qū) 域(111)的下部部分的第一固定構(gòu)件(211a)以及其底部表面可為水平的。此處，可提供大于 第一區(qū)域（111)的寬度的第一固定構(gòu)件(211a)的寬度。由于第一固定構(gòu)件(211a)經(jīng)提供以 具有大于第一區(qū)域（111)的寬度的寬度，因此接觸第一固定構(gòu)件(211a)的側(cè)表面的延伸區(qū) 域（114)可經(jīng)提供以具有大于第一區(qū)域111寬度的寬度。又，至少一個(gè)第一磁體211b可設(shè)在 第一固定構(gòu)件(211a)下方，例如可提供三個(gè)磁體同時(shí)維持其間的相同間隔。第二磁性懸浮 部分（212)可經(jīng)提供以與第一磁性懸浮部分(211)隔開(kāi)預(yù)定距離以面對(duì)第一磁性懸浮部分 (211)。此第二磁性懸浮部分（212)可包含與第一磁性懸浮部分（211)的第一固定構(gòu)件 (211a)隔開(kāi)預(yù)定距離并面對(duì)其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及面對(duì)第一磁性懸浮部分(211) 的至少一個(gè)第一磁體(21 lb)的至少一個(gè)第三磁體(212b)。又，第二固定構(gòu)件(212a)可經(jīng)提 供以具有與第一固定構(gòu)件(211a)的形狀相同的形狀，以便與第一固定構(gòu)件(211a)隔開(kāi)預(yù)定 距離。舉例而言，第一及第二固定構(gòu)件(211a、212a)可具有矩形橫截面形狀。此處，第二磁性 懸浮部分(212)的第二固定構(gòu)件(212a)可固定至磁性轉(zhuǎn)移部分(220)的一個(gè)區(qū)域。
[0065] 磁性轉(zhuǎn)移部分（220)可包含磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)、與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)隔開(kāi)預(yù)定 距離的磁性轉(zhuǎn)移部分(222)，以及其中容納磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的容納構(gòu)件(223)。容納構(gòu)件 (223)在內(nèi)部容納磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)，且其下部部分可固定至腔室底部。此處，容納構(gòu)件 (223)可經(jīng)提供以具有中空形狀以使得磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)可以可旋轉(zhuǎn)方式容納于其中。 又，可提供容納構(gòu)件(223)以使得在其側(cè)表面曝露磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的至少一部分。又，第 二磁性懸浮部分(212)可設(shè)在容納構(gòu)件(223)的上表面上。即，第二磁性懸浮部分(212)的第 二固定構(gòu)件(212a)可固定至容納構(gòu)件(223)的上部部分。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可包含至少一 個(gè)磁體，且可設(shè)在面對(duì)磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的延伸區(qū)域（114)上。即，延伸區(qū)域（114)可設(shè)在 容納構(gòu)件(223)外部以與容納構(gòu)件(223)隔開(kāi)預(yù)定距離，且包含至少一個(gè)磁體的磁性轉(zhuǎn)移部 分（222)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)內(nèi)部以便面對(duì)容納于容納構(gòu)件（223)中的磁性旋轉(zhuǎn)部分 (221) 〇
[0066] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與腔室之間。即，導(dǎo)引單元(300)可在 托盤(pán)（100)的上及下方導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在托盤(pán)（100)下方以自 磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的側(cè)表面導(dǎo)引磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的轉(zhuǎn)移。此轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在 磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與腔室的內(nèi)表面之間，且可具有預(yù)定寬度及高度。又，至少一個(gè)磁體設(shè) 在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)的內(nèi)部側(cè)面上的預(yù)定區(qū)域上。即，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可包含在高度方向 上設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與腔室之間的垂直板(371)，以及設(shè)在垂直板(371)的預(yù)定區(qū)域 上的至少一個(gè)第八磁體(372)。垂直板(371)可經(jīng)提供以具有例如第一磁性懸浮部分（211) 的高度。即，垂直板(371)可經(jīng)提供以具有直至轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域(111)與第一磁性 懸浮部分（211)的第一固定構(gòu)件（211a)之間的邊界表面的高度。又，至少一個(gè)第八磁體 (372)經(jīng)提供至垂直板(371)。第八磁體(372)可經(jīng)提供以面對(duì)設(shè)在延伸區(qū)域（114)上的第七 磁體（115)。此處，延伸區(qū)域（114)的第七磁體（115)及垂直板(371)的第八磁體(372)可具有 彼此不同的極性或相同的極性，且吸力或斥力可藉此起作用。在沉積腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引 件(370)可為固定的，且在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)可在接近托盤(pán)（100)或遠(yuǎn)離托 盤(pán)(100)的方向上移動(dòng)。此處，在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可使用磁性懸浮而無(wú)接觸地移 動(dòng)。即，與使用圖4描述的磁性轉(zhuǎn)移部分中的原理相同的原理可應(yīng)用于橫移腔室的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引 件(370)。舉例而言，具備旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)及設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸的表面上的多個(gè)磁體(未圖示)的磁 性旋轉(zhuǎn)部分(未圖示)可設(shè)在垂直板(371)下方以與垂直板(371)隔開(kāi)，且具有彼此不同極性 的磁體可以預(yù)定間隔設(shè)在垂直板(371)的下表面上以與磁性旋轉(zhuǎn)部分隔開(kāi)。因此，歸因于在 垂直板(371)下方的磁性旋轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)的極性與在磁性旋轉(zhuǎn)部分之上的磁性轉(zhuǎn)移部分的 極性可彼此不同或彼此相同。由于吸力或斥力藉此起作用，因此磁性轉(zhuǎn)移部分根據(jù)磁性旋 轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)在一個(gè)或另一個(gè)方向上移動(dòng)。即，磁性旋轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為磁性轉(zhuǎn)移部分 的線性運(yùn)動(dòng)，且因此移動(dòng)磁性懸浮的垂直板(371)。
[0067] 圖9是說(shuō)明根據(jù)第五例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0068] 參看圖9,根據(jù)第五例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤(pán)（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤(pán)（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤(pán) (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其用于導(dǎo)引托盤(pán)（100)。導(dǎo)引單元(300)可設(shè)在托盤(pán)（100)的上 及下方。圖7中描述及說(shuō)明的組態(tài)可設(shè)在托盤(pán)（100)之上，且導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移導(dǎo) 引件(370)可設(shè)在托盤(pán)（100)下方。此處，在第五例示性實(shí)施例中，間隙維持構(gòu)件(213)的安 置位置不同于使用圖8描述的第四例示性實(shí)施例的安置位置。即，除間隙維持構(gòu)件(213)設(shè) 在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)與延伸區(qū)域(114)之間的差異以外，根據(jù)第五例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移 裝置具有與根據(jù)第四例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置完全相同的組態(tài)。間隙維持構(gòu)件(213) 可設(shè)在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)與延伸區(qū)域（114)之間的延伸區(qū)域（114)上或設(shè)在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件 (370)的預(yù)定區(qū)域上。舉例而言，間隙維持構(gòu)件（213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)的第七磁體 (115)下方。因此，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)之間， 且因此即使當(dāng)磁性轉(zhuǎn)移單元(200)搖動(dòng)時(shí)仍可在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)內(nèi)部轉(zhuǎn)移磁性轉(zhuǎn)移單元 (200)。當(dāng)然，間隙維持構(gòu)件(213)可不僅設(shè)在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)與延伸區(qū)域(114)之間，而且 可設(shè)在延伸區(qū)域（114)與磁性轉(zhuǎn)移部分(220)之間。即，至少兩個(gè)或大于兩個(gè)間隙維持構(gòu)件 (213)可設(shè)在至少兩個(gè)或大于兩個(gè)區(qū)域上。
[0069] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)的至少一部分可在一個(gè)方向上或在與所述一個(gè)方向相反的另一 方向上移動(dòng)。舉例而言，在沉積腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件為固定的，且在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移 導(dǎo)引件可為可移動(dòng)的。即，當(dāng)托盤(pán)（100)自沉積腔室轉(zhuǎn)移時(shí)，設(shè)在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引 件藉由維持距托盤(pán)（100)的第一間隙而導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移，且當(dāng)托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移完成 且托盤(pán)朝向裝載腔室返回時(shí)，設(shè)在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件朝向腔室的內(nèi)壁移動(dòng)并維持 距托盤(pán)（100)的大于第一間隙的第二間隙。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件在橫移腔室內(nèi)部移動(dòng)，且因此當(dāng)托盤(pán) (100)的位置移動(dòng)時(shí)托盤(pán)100的移動(dòng)裕度可得以增加。即，托盤(pán)（100)可脫離磁性力的作用， 且因此有可能實(shí)現(xiàn)容易的橫移（即，改道(lane change))。將在下文使用圖10及圖11描述此 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)在其中移動(dòng)的基板轉(zhuǎn)移裝置。
[0070] 參看圖10及圖11，根據(jù)第六例示性實(shí)施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤(pán)（100)，其 轉(zhuǎn)移安裝在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元(200)，其安置在托盤(pán)（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn) 移托盤(pán)（100);以及導(dǎo)引單元(300)，其包含安置在托盤(pán)（100)下方以導(dǎo)引托盤(pán)（100)的轉(zhuǎn)移 的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可在彼此相反的一個(gè)方向及另一方向上移動(dòng)，且可 在接近托盤(pán)（100)的方向上及在遠(yuǎn)離托盤(pán)（100)的方向上移動(dòng)。此可移動(dòng)轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370) 可至少設(shè)在橫移腔室內(nèi)部。
[0071] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)可包含垂直板(371a)及水平板(371b)，且垂直板(371a)可設(shè)在 水平板（371b)之上。即，可自水平板（371b)的預(yù)定區(qū)域在向上方向上垂直地提供垂直板 (371a)。又，在垂直板(371a)中，可提供至少一個(gè)第八磁體(372)以便面對(duì)設(shè)在托盤(pán)（100)的 延伸區(qū)域（114)上的第七磁體（115)。水平板(371b)可設(shè)在垂直板(371a)下方并可被水平地 提供。此處，可移動(dòng)部分(395)可設(shè)在水平板(371b)下方?？梢苿?dòng)部分(395)可經(jīng)提供以使得 其下部區(qū)域的至少一部分圍繞導(dǎo)軌(390)，且可沿著導(dǎo)軌(390)在彼此相反的一個(gè)及另一個(gè) 方向上移動(dòng)。當(dāng)可移動(dòng)部分（395)移動(dòng)時(shí)，位于其上方的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)移動(dòng)。支撐部分 (380)設(shè)在導(dǎo)軌（390)下方。支撐部分（380)支撐導(dǎo)軌（390)及在導(dǎo)軌之上的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件 (370)。又，用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)部分(395)的驅(qū)動(dòng)單元(未圖示）可設(shè)在支撐部分(380)內(nèi)部。驅(qū) 動(dòng)單元包含汽缸、馬達(dá)或類似的，且在如圖10中所說(shuō)明接近托盤(pán)(100)的一個(gè)方向上及在如 圖11中所說(shuō)明遠(yuǎn)離托盤(pán)（100)的另一個(gè)方向上移動(dòng)可移動(dòng)部分(395)。此處，當(dāng)自沉積腔室 轉(zhuǎn)移托盤(pán)(100)時(shí)，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371)位于接近托盤(pán)（100)的第一位置處。在執(zhí)行改道(即，橫 移以使托盤(pán)（100)朝向裝載腔室返回）的情況下，可移動(dòng)部分(395)由驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)以使得 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371)在遠(yuǎn)離托盤(pán)（100)的方向上移動(dòng)以位于第二位置處。在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371) 移動(dòng)之后，托盤(pán)（100)被提升，且接著朝向裝載腔室返回。接著，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371)再次被移 動(dòng)至第一位置。
[0072] 如上文所描述，已關(guān)于上述實(shí)施例特定地描述本發(fā)明的技術(shù)思想，但應(yīng)注意前述 實(shí)施例僅經(jīng)提供用于說(shuō)明而不限制本發(fā)明?？商峁└鞣N實(shí)施例以允許本領(lǐng)域技術(shù)人員理解 本發(fā)明的范疇，但本發(fā)明不限于此。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種基板轉(zhuǎn)移裝置，包括： 托盤(pán)，基板安裝在所述托盤(pán)上； 磁性轉(zhuǎn)移單元，其安置在所述托盤(pán)下方，并經(jīng)組態(tài)以磁性地使所述托盤(pán)懸浮并藉由磁 力轉(zhuǎn)移所述托盤(pán)；以及 導(dǎo)引單元，其經(jīng)組態(tài)以導(dǎo)引所述托盤(pán)的所述轉(zhuǎn)移而不接觸所述托盤(pán)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其進(jìn)一步包括轉(zhuǎn)移基底，所述轉(zhuǎn)移基底包含經(jīng) 提供以接觸所述托盤(pán)的下部側(cè)面的接觸區(qū)域，以及自所述接觸區(qū)域的兩側(cè)向下延伸的延伸 區(qū)域。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性轉(zhuǎn)移單元包括： 磁性懸浮部分，其安置于所述轉(zhuǎn)移基底的一個(gè)區(qū)域上以磁性地使所述托盤(pán)懸?。灰约?磁性轉(zhuǎn)移部分，其安置在所述磁性懸浮部分下方以在一個(gè)方向上轉(zhuǎn)移藉由磁力懸浮的 所述托盤(pán)。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性懸浮部分包括： 第一磁性懸浮部分，其經(jīng)組態(tài)以接觸所述轉(zhuǎn)移基底，并包括至少一個(gè)磁體；以及 第二磁性懸浮部分，其與所述第一磁性懸浮部分隔開(kāi)，并包含將被施加來(lái)自所述第一 磁性懸浮部分的吸力及斥力中的至少任一個(gè)的至少一個(gè)磁體。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性轉(zhuǎn)移部分包括： 旋轉(zhuǎn)軸； 磁性旋轉(zhuǎn)部分，其包含經(jīng)安置以環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸的多個(gè)磁體；以及 磁性轉(zhuǎn)移部分，其與所述磁性旋轉(zhuǎn)部分隔開(kāi)，并包含多個(gè)磁體。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其進(jìn)一步包括經(jīng)組態(tài)以在內(nèi)部容納所述磁性 旋轉(zhuǎn)部分的容納部分，其中所述容納部分的上部部分接觸所述第二磁性懸浮部分。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個(gè)磁體設(shè)在 所述轉(zhuǎn)移基底的所述延伸區(qū)域的至少一個(gè)區(qū)域上，所述一個(gè)區(qū)域面對(duì)所述磁性旋轉(zhuǎn)部分。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中 所述磁性旋轉(zhuǎn)部分的所述多個(gè)磁體經(jīng)提供以使得具有彼此不同極性的所述磁體被交 替地安置以便以預(yù)定角度環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸，且 所述磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個(gè)磁體經(jīng)提供以使得具有彼此不同極性的所述磁體被交 替地安置以便具有與所述磁性旋轉(zhuǎn)部分的角度相同的角度。9. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述導(dǎo)引單元包括： 第一導(dǎo)引磁體，其耦接至所述托盤(pán)的上部部分；以及 第二導(dǎo)引磁體，其設(shè)在腔室的上壁上以與所述第一導(dǎo)引磁體隔開(kāi)預(yù)定距離， 其中所述第一導(dǎo)引磁體及所述第二導(dǎo)引磁體被施加吸力或斥力中的至少任一個(gè)。10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述導(dǎo)引單元進(jìn)一步包括設(shè)在所述托盤(pán) 與所述腔室的內(nèi)壁之間的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件。11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件設(shè)在所述延伸區(qū)域與 所述腔室的所述內(nèi)壁之間。12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其進(jìn)一步包括設(shè)在所述磁性轉(zhuǎn)移單元與所 述導(dǎo)引單元之間的至少一個(gè)區(qū)域上的間隙維持構(gòu)件。13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述間隙維持構(gòu)件設(shè)在所述延伸區(qū)域 與所述磁性懸浮部分之間的區(qū)域或所述延伸區(qū)域與所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件之間的區(qū)域中的至少 一個(gè)上。14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件的至少一部分在接近 所述托盤(pán)的方向上及在遠(yuǎn)離所述托盤(pán)的方向上移動(dòng)。15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中 當(dāng)所述托盤(pán)被轉(zhuǎn)移時(shí)，設(shè)在橫移腔室中的所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件位于鄰近于所述托盤(pán)的第一 位置處，且 當(dāng)所述托盤(pán)被返回時(shí)，所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件位于遠(yuǎn)離所述托盤(pán)的第二位置處。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK105993068SQ201580003423
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年11月26日
【發(fā)明人】金正健, 金善吉, 金南訓(xùn), 金鍾大, 高元, 高元一, 蘇秉鎬, 孫承京, 李起泰, 李尚浩, 千敏鎬, 韓應(yīng)龍
【申請(qǐng)人】Ulvac韓國(guó)股份有限公司