甲醚乙酸酯（沸點(diǎn)為145°C)、乳酸甲酯（沸點(diǎn)為 145°C )、乳酸乙酯（沸點(diǎn)為155°C )、二丙酮醇（沸點(diǎn)為169°C )、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸 點(diǎn)為145°C )、3_甲氧基-3-甲基-1-丁醇（沸點(diǎn)為174°C )、二丙二醇單甲醚（沸點(diǎn)為 188°C )、二丙二醇正丁醚（沸點(diǎn)為229°C )、γ - 丁內(nèi)酯（沸點(diǎn)為204°C )、二乙二醇單乙醚 乙酸酯（沸點(diǎn)為217°C )、二乙二醇丁醚乙酸酯（沸點(diǎn)為246°C )、乙酰乙酸乙酯（沸點(diǎn)為 181°C )、N-甲基-2-吡咯烷酮（沸點(diǎn)為204°C )、N，N-二甲基咪唑烷酮（沸點(diǎn)為226°C )、 二丙二醇甲基醚乙酸酯（沸點(diǎn)為213°C )、1，3-丁二醇二乙酸酯（沸點(diǎn)為232°C )、二異丁 酮（沸點(diǎn)為168°C )、丙二醇叔丁醚（沸點(diǎn)為151°C )、丙二醇正丁醚（沸點(diǎn)為170°C )、乙酰 丙酮（沸點(diǎn)為140°C)、二乙二醇單丁醚（沸點(diǎn)為171°C)、二乙二醇單丁醚乙酸酯（沸點(diǎn)為 245 °C ) 〇
[0069] 另外，作為沸點(diǎn)小于100°C的溶劑的具體例子，可以舉出甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、 叔丁醇等醇類、乙醚、二異丙醚等醚類、甲基乙基酮等酮類、乙酸異丙酯、乙酸乙酯、乙酸丙 酯、乙酸正丙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯等乙酸酯類、己烷、環(huán)己烷等脂肪族烴等。
[0070] 本發(fā)明的雜質(zhì)擴(kuò)散組合物可以含有表面活性劑。通過(guò)含有表面活性劑，可以改善 涂布不均，得到均勻的涂布膜。作為表面活性劑，優(yōu)選使用氟類表面活性劑、有機(jī)硅類表面 活性劑。
[0071] 作為氟類表面活性劑的具體例子，可以舉出含有在末端、主鏈及側(cè)鏈中的至少任 一個(gè)部位上具有氟烷基或氟亞烷基的化合物的氟類表面活性劑，所述在末端、主鏈及側(cè)鏈 中的至少任一個(gè)部位上具有氟烷基或氟亞烷基的化合物例如為1，1，2,2_四氟辛基（1，1， 2, 2-四氟丙基）醚、1，1，2, 2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二（1，1，2, 2-四氟丁基）醚、六乙 二醇（1，1，2, 2, 3, 3-六氟戊基）醚、八丙二醇二（1，1，2, 2-四氟丁基）醚、六丙二醇二（1， 1，2, 2, 3, 3-六氟戊基）醚、全氟十二烷基磺酸鈉、1，1，2, 2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1， 1，2,2,3,3_六氟癸烷、N-[3-(全氟辛基磺酰胺基）丙基]-N，Ν' -二甲基-N-羧基亞甲基 胺甜菜堿、全氟烷基磺酰胺基丙基三甲基銨鹽、全氟烷基-Ν-乙磺?；拾彼猁}、雙（Ν-全 氟辛基磺酰基-Ν-乙基氨基乙基）磷酸酯、單全氟烷基乙基磷酸酯等。另外，作為市售品， 有 MEGAFACE F 142D、MEGAFACE F172、MEGAFACE F173、MEGAFACE F183、MEGAFACE F444、 MEGAFACE F475、MEGAFACE F477(以上，大日本油墨化學(xué)工業(yè)（株）制）、EFT0P EF301、EFT0P 3〇3、EFTOP 352 (新秋田化成（株）制）、Fluorad FC-43〇、Fluorad FC-4：31(住友 3M(株） 制))、AsahiGuard AG710、Surflon S-382、Surflon SC-101、Surflon SC-102、Surflon SC-103、Surflon SC-104、Surflon SC-105、Surflon SC-106(旭硝子（株）制）、BM-1000、 81-1100(裕商（株）制）、他乂-15、？了乂-218、0?乂-218((株）呢03制）等氟類表面活性劑。
[0072] 作為有機(jī)硅類表面活性劑的市售品，可以舉出SH28PA、SH7PA、SH21PA、SH30PA、 ST94PA(均為Dow Corning Toray Co.，Ltd.制）、BYK067A，BYK310、BYK322、BYK331、BYK333、 BYK355(BYK-Chemie Japan(株）制）等。
[0073] 添加時(shí)，表面活性劑的含量?jī)?yōu)選為雜質(zhì)擴(kuò)散組合物中的0. 0001~1重量％。
[0074] 本發(fā)明的雜質(zhì)擴(kuò)散組合物優(yōu)選含有用于調(diào)整粘度的增稠劑。由此，可以通過(guò)絲網(wǎng) 印刷等印刷法以更精密的圖案進(jìn)行涂布。作為增稠劑，在有機(jī)類中，可以舉出纖維素、纖 維素衍生物、淀粉、淀粉衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、聚乙烯醇縮丁 醛、聚氨酯樹(shù)脂、聚脲樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、聚苯乙烯類樹(shù)脂、聚酯樹(shù) 月旨、合成橡膠、天然橡膠、聚丙烯酸、各種丙烯酸類樹(shù)脂、聚乙二醇、聚環(huán)氧乙烷、聚丙二醇、 聚環(huán)氧丙烷、硅油、海藻酸鈉、黃原酸膠類多糖類、結(jié)冷膠類多糖類、瓜爾膠類多糖類、角叉 菜膠類多糖類、刺槐豆膠類多糖類、羧基乙烯基聚合物、氫化蓖麻油類、氫化蓖麻油類和脂 肪酸酰胺錯(cuò)類、特殊脂肪酸類、聚氧化乙稀類（polyethylene oxide-based ones)、聚氧化 乙烯類和酰胺類的混合物、脂肪酸類多元羧酸、磷酸酯類表面活性劑、長(zhǎng)鏈聚氨基酰胺和磷 酸的鹽、特殊改性聚酰胺類等。無(wú)機(jī)類中，可以舉出膨潤(rùn)土、蒙脫石、鎂蒙脫石（magnesian montmorilIonite)、鐵蒙脫石(iron montmorilIonite)、鐵儀蒙脫石（iron magnesian montmorillonite)、貝得石、氧化錯(cuò)貝得石（alumine beidellite)、阜石、氧化錯(cuò)阜石、鋰阜 石、硅酸鋁、硅酸鎂鋁、有機(jī)鋰蒙脫石、微粒氧化硅、膠體氧化鋁、碳酸鈣等。上述成分也可以 組合使用多種。
[0075] 另外，作為市售品，作為纖維素類增稠劑，有1110、1120、1130、1140、1150、1160、 1170、1180、1190、2200、2260、2280、2450(均為 Daicel Finechem Ltd.制）。作為多糖類增 稠劑，有 ViscarinPC209、ViscarinPC389、SeaKemXP8012(以上，F(xiàn)MC Chemicals Inc.制）、 CAM-H、GJ-182、SV-300、LS-20、LS-30、XGT、XGK-D、G-100、LG-10(均為三菱商事（株）） 等。作為丙烯酸類增稠劑，有#2434T、KC7000、KC1700P(以上，共榮社化學(xué)（株）制）、 AC-10LHPK、AC-10SHP、845H、PW-120(以上，東亞合成（株）制）等。作為氫化蓖麻油類增稠 劑，有DISPARL0N308、NAML0NT-206(以上，楠本化成（株）制）、T-20SF、T-75F(以上，伊藤 制油（株）制）等。作為聚氧化乙烯類增稠劑，有D-10A、D-120、D-120-10、D-1100、DS-525、 DS-313(以上，伊藤制油（株）制）、DISPARLON 4200-20、DISPARLON PF-911、DISPARLON PF-930、DISPARL0N 4401-25X、DISPARL0N NS-30、DISPARL0N NS-5010、DISPARL0N NS-5025、 DISPARLON NS-5810、DISPARL0N NS-5210、DISPARL0N NS-5310(以上，楠本化成（株）制）、 FLOWNON SA-300、FL0WN0N SA-300H(以上，共榮社化學(xué)（株）制）等。作為酰胺類增稠劑， 有！'-250卩、1'-55(^、1'-85(^、1'-1700、1'-1800、1'-2000(以上，伊藤制油（株）制）、015?八虬(^ 6500、DISPARLON 6300、DISPARLON 6650、DISPARLON 6700、DISPARLON 3900EF(以上，楠本 化成（株）制）、TALEN 7200、TALEN 7500、TALEN 8200、TALEN 8300、TALEN 8700、TALEN 8900、TALEN KY-2000、KU-700、TALEN M-1020、TALEN VA-780、TALEN VA-750B、TALEN 2450、 FLOWNON SD-700、FL0WN0N SDR-80、FL0WN0N EC-121(以上，共榮社化學(xué)（株）制）等。作為 膨潤(rùn)土類增稠劑，有 BEN-GEL、BEN-GEL HV、BEN-GEL HVP、BEN-GEL F、BEN-GEL FW、BEN-GEL BRIGHT 11、BEN-GEL A、BEN-GEL W-100、BEN-GEL W-100U、BEN-GEL W-300U、BEN-GEL SH、 MULTI-BEN、S-BEN、S-BENC、S-BEN E、S-BEN W、S-BEN P、S-BEN WX、ORGANITE、ORGANITED (以 上，（株）H0JUN制）等。作為微粒氧化硅類增稠劑，有AEROSIL R972、AER0SIL R974、AER0SIL NY50、AEROSIL RY200S、AEROSIL RY200、AEROSIL RX50、AEROSIL NAX50、AEROSIL RX200、 AEROSIL RX300、AER0SIL VPNKC130、AER0SIL R805、AER0SIL R104、AER0SIL R711、AER0SIL 0X50、AEROSIL 50、AEROSIL 90G、AEROSIL 130、AEROSIL 200、AEROSIL 300、AEROSIL 380(以上，Nippon Aerosil Co.，制）、WACKER HDK S 13、WACKER V15、WACKER N20、WACKER N20P、WACKER T30、WACKER T40、WACKER H15、WACKER H18、WACKER H20、WACKER H30(以上， 旭化成（株）制）等。
[0076] 從形成致密膜、減少殘?jiān)挠^點(diǎn)考慮，增稠劑的90%熱分解溫度優(yōu)選為400°C以 下。具體地，優(yōu)選聚乙二醇、聚環(huán)氧乙烷、聚丙二醇、聚環(huán)氧丙烷、各種丙烯酸酯類樹(shù)脂，特別 優(yōu)選聚環(huán)氧乙烷、聚環(huán)氧丙烷或丙烯酸酯類樹(shù)脂。從保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，特別優(yōu)選為丙 烯酸酯類樹(shù)脂。此處，90%熱分解溫度是指，增稠劑的重量因熱分解而減少90%的溫度。熱 分解溫度可以使用熱重分析儀（TGA)等測(cè)定。
[0077] 作為丙烯酸酯類樹(shù)脂，可以舉出聚甲基丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸乙酯、聚甲基丙 烯酸丙酯、聚甲基丙烯酸丁酯、聚丙烯酸甲酯、聚丙烯酸乙酯、聚丙烯酸丙酯、聚丙烯酸丁 酯、聚甲基丙烯酸羥基乙酯、聚甲基丙烯酸芐基酯、聚甲基丙烯酸縮水甘油酯等聚丙烯酸酯 及它們的共聚物。為共聚物時(shí)，上述丙烯酸酯成分的聚合比率為60mol %以上即可，作為其 他的共聚成分，可以共聚聚丙烯酸、聚苯乙烯等能夠烯類聚合的成分。
[0078] 另外，對(duì)于聚環(huán)氧乙烷、聚環(huán)氧丙烷，這兩種成分的共聚物也是優(yōu)選的。對(duì)于丙烯 酸酯類樹(shù)脂、聚環(huán)氧乙烷、聚環(huán)氧丙烷而言，重均分子量為10萬(wàn)以上時(shí)增稠效果高，因此是 優(yōu)選的。
[0079] 這些增稠劑的含量