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一種高分辨率飛行時(shí)間質(zhì)譜探測(cè)器俯仰角真空外調(diào)節(jié)裝置的制造方法

文檔序號(hào):9549340閱讀:277來源:國(guó)知局
一種高分辨率飛行時(shí)間質(zhì)譜探測(cè)器俯仰角真空外調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種高分辨率飛行時(shí)間質(zhì)譜探測(cè)器俯仰角真空外調(diào)節(jié)裝置,屬于質(zhì)譜分析領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]飛行時(shí)間質(zhì)譜的原理為:在真空環(huán)境下,不同質(zhì)荷比的離子在同一電壓加速下,將獲得不同的飛行速度,經(jīng)過自由飛行和離子反射區(qū),先后達(dá)到離子探測(cè)器,實(shí)現(xiàn)質(zhì)量分辨。分辨率是評(píng)判飛行時(shí)間質(zhì)譜性能的核心指標(biāo)之一。相同質(zhì)荷比離子到達(dá)探測(cè)器表面飛行時(shí)間的分散程度直接決定了飛行時(shí)間質(zhì)譜的分辨率。到達(dá)探測(cè)器表面附近時(shí),如果離子空間聚焦良好,探測(cè)器的安裝角度會(huì)極大地影響離子飛行時(shí)間的分散程度。但受限于加工及安裝精度,探測(cè)器平面與離子聚焦平面的平行度很難保證在±0.05°內(nèi)。
[0003]根據(jù)采集信號(hào)的峰寬,采用在真空外實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)探測(cè)器俯仰角的方式,可實(shí)現(xiàn)探測(cè)器平面與離子聚焦平面盡可能的平行,這將有助于高分辨率的實(shí)現(xiàn)?,F(xiàn)有的方法是利用真空專用精密電機(jī)來調(diào)節(jié)探測(cè)器俯仰角,其具有真空影響小的優(yōu)點(diǎn),但也存在著控制系統(tǒng)復(fù)雜、成本高的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述問題,本發(fā)明的目的是提供一種真空影響小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的高分辨率飛行時(shí)間質(zhì)譜探測(cè)器俯仰角真空外調(diào)節(jié)裝置。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種高分辨率飛行時(shí)間質(zhì)譜探測(cè)器俯仰角真空外調(diào)節(jié)裝置,其特征在于:它包括一主體法蘭、兩調(diào)節(jié)絲桿和一俯仰板;所述主體法蘭的一側(cè)為大氣側(cè),另一側(cè)為真空側(cè);在所述主體法蘭的大氣側(cè)相隔180°緊固連接兩密封差分塊,每一所述密封差分塊上設(shè)置有一穿透至所述主體法蘭的所述真空側(cè)的密封孔,在每一所述密封差分塊的頂部緊固連接一中心帶有螺紋孔的絲桿配合塊;兩所述調(diào)節(jié)絲桿分別設(shè)置在一所述密封差分塊的密封孔中;每一所述調(diào)節(jié)絲桿的一端為一螺紋桿,另一端設(shè)有一中心螺紋孔;所述調(diào)節(jié)絲桿的所述螺紋桿與所述絲桿配合塊的螺紋孔配合連接,所述調(diào)節(jié)絲桿帶有中心螺紋孔的一端延伸至所述主體法蘭的所述真空側(cè);所述俯仰板通過兩與所述調(diào)節(jié)絲桿中心螺紋孔配合連接的螺紋桿間隔支撐在所述主體法蘭的所述真空側(cè);所述俯仰板通過多個(gè)螺紋桿與所述質(zhì)譜探測(cè)器緊固連接。
[0006]還包括一拉簧壓板,所述拉簧壓板緊固連接在所述主體法蘭的真空側(cè);所述俯仰板與所述拉簧壓板之間通過兩間隔布置的拉簧連接。
[0007]在所述主體法蘭的所述真空側(cè)緊固連接一固定支點(diǎn)塊,所述固定支點(diǎn)塊伸入位于所述俯仰板上的沉孔內(nèi)且與兩所述調(diào)節(jié)絲桿呈三角形分布。
[0008]在所述俯仰板上設(shè)置一用于為所述質(zhì)譜探測(cè)器的連接導(dǎo)線提供容納空間的中心孔。
[0009]在所述拉簧壓板上設(shè)置一用于為質(zhì)譜探測(cè)器的連接導(dǎo)線提供容納空間的中心孔。
[0010]在所述主體法蘭的所述大氣側(cè)緊固連接四個(gè)電穿通和一個(gè)信號(hào)采集電穿通,所述信號(hào)采集電穿通設(shè)有連接所述質(zhì)譜探測(cè)器的連接導(dǎo)線。
[0011]在所述主體法蘭的所述真空側(cè)緊固連接一將所述俯仰板和質(zhì)譜探測(cè)器包覆在內(nèi)的屏蔽罩,所述屏蔽罩與所述質(zhì)譜探測(cè)器相對(duì)的位置設(shè)置一中心孔,所述中心孔的孔徑大于所述質(zhì)譜探測(cè)器的口徑。
[0012]在每一所述調(diào)節(jié)絲桿上間隔設(shè)置兩環(huán)形槽,在每一所述環(huán)形槽中設(shè)置一膠圈;在所述主體法蘭的所述大氣側(cè)通過一差分管固定塊連接一第一真空管和兩第二真空管;兩所述第二真空管的一端分別連通一所述密封差分塊的所述密封孔,另一端共同連通所述第一真空管;所述第二真空管與所述密封差分塊的連接孔位于所述調(diào)節(jié)絲桿的兩所述環(huán)形槽之間;所述第一真空管與一真空栗連接。
[0013]在所述調(diào)節(jié)絲桿的所述螺紋桿的端部設(shè)置有一“一”字形缺口 ;在位于所述絲桿配合塊外部的所述螺紋桿上配合連接一用于將所述調(diào)節(jié)絲桿鎖死固定的鎖死塊。
[0014]在所述主體法蘭的邊緣間隔緊固連接兩把手。
[0015]本發(fā)明由于采取以上技術(shù)方案,其具有以下優(yōu)點(diǎn):1、本發(fā)明在主體法蘭上連接兩個(gè)調(diào)節(jié)絲桿,調(diào)節(jié)絲桿的一端穿透至真空側(cè)且與俯仰板連接,故而當(dāng)在大氣側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)絲桿時(shí),調(diào)節(jié)絲桿便會(huì)向真空側(cè)旋進(jìn)或由真空側(cè)旋回,由此實(shí)現(xiàn)對(duì)固定連接在俯仰板上的質(zhì)譜探測(cè)器的俯仰角進(jìn)行調(diào)節(jié)。2、本發(fā)明由于在主體法蘭的真空側(cè)固定連接一拉簧壓板,拉簧壓板與俯仰板之間通過拉簧連接,因此能夠確保在調(diào)節(jié)俯仰角時(shí),俯仰板和位于俯仰板上的質(zhì)譜探測(cè)器振動(dòng)幅度極小,保證信號(hào)峰寬連續(xù)變化。3、本發(fā)明在調(diào)節(jié)絲桿的兩膠圈之間設(shè)置抽真空裝置,利用真空栗抽吸空氣后使兩膠圈之間的環(huán)形空間形成位于大氣環(huán)境與高真空環(huán)境之間的低真空環(huán)境,該氣壓差分系統(tǒng)可極大地降低機(jī)械傳動(dòng)對(duì)高真空環(huán)境的影響。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明的主視示意圖;
[0017]圖2是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018]圖3是本發(fā)明在另一視角下的立體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019]圖4是本發(fā)明調(diào)節(jié)絲桿的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0020]圖5是本發(fā)明拉簧壓板2的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0021]圖6是本發(fā)明拉簧壓板2的側(cè)視示意圖;
[0022]圖7是本發(fā)明俯仰板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0024]如圖1?3所示,本發(fā)明包括一主體法蘭1、一拉簧壓板2、兩調(diào)節(jié)絲桿3和一俯仰板4。主體法蘭1的一側(cè)為大氣側(cè),另一側(cè)為真空側(cè),在主體法蘭1的大氣側(cè)相隔180°緊固連接兩密封差分塊5,每一密封差分塊5上設(shè)置有一穿透至主體法蘭1的真空側(cè)的密封孔,在每一密封差分塊5的頂部緊固連接一中心帶有螺紋孔的絲桿配合塊7。拉簧壓板2緊固連接在主體法蘭1的真空側(cè),拉簧壓板2上設(shè)置一中心孔(如圖5所示),用于為質(zhì)譜探測(cè)器8的連接導(dǎo)線提供容納空間。兩調(diào)節(jié)絲桿3分別設(shè)置在一密封差分塊5的密封孔中,每一調(diào)節(jié)絲桿3的一端為一螺紋桿31 (如圖4所示),另一端設(shè)有一中心螺紋孔。調(diào)節(jié)絲桿3的螺紋桿31與絲桿配合塊7的螺紋孔配合連接,調(diào)節(jié)絲桿3帶有中心螺紋孔的一端穿過拉簧壓板2。俯仰板4通過兩與調(diào)節(jié)絲桿3中心螺紋孔配合連接的螺紋桿9間隔支撐在拉簧壓板2的一側(cè)。在主體法蘭1的真空側(cè)緊固連接一固定支點(diǎn)塊10,固定支點(diǎn)塊10穿過拉簧壓板2后伸入位于俯仰板4上的沉孔內(nèi),固定支點(diǎn)塊與兩調(diào)節(jié)絲桿3呈三角形分布。俯仰板4通過多個(gè)螺紋桿11與質(zhì)譜探測(cè)器8緊固連接。俯仰板4上亦設(shè)置一用于為質(zhì)譜探測(cè)器8的連接導(dǎo)線提供容納空間的中心孔(如圖7所示)。俯仰板4與拉簧壓板2之間還通過兩間隔布置的拉簧12連接。
[0025]上述實(shí)施例中,在主體法蘭1的大氣側(cè)緊固連接四個(gè)電穿通13和一個(gè)信號(hào)采集電穿通14,用
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