r>[0020]于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例中，所述襯套單元進(jìn)一步包含多個襯套，其中所述多個襯套分別包含用于與所述第一腔體連接的所述第一連接部和用于與另一腔體連接的所述第二連接部，所述多個襯套的所述第一連接部及第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。
[0021]于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例中，當(dāng)所述襯套單元的所述第二連接部與所述第二腔體的所述對接部對接后，所述第二連接部與所述第二腔體之間形成一容置空間，用于容置一氣密元件。
[0022]于本實(shí)用新型其中之一優(yōu)選實(shí)施例中，所述襯套單元的所述第二連接部形成為一階梯狀，包含一第一階、一第二階和一第三階，當(dāng)所述襯套單元的所述第二連接部與所述第二腔體的所述對接部對接后，所述第二腔體的所述對接部與所述第一階的一第一水平階梯面和所述第三階的一第三水平階梯面連接，并且與所述第二階共同形成容置所述氣密元件的所述容置空間。
[0023]本實(shí)用新型還提供一種用于等離子反應(yīng)裝置的襯套單元，所述等離子反應(yīng)裝置具有一第一腔體以及多個第二腔體，所述襯套單元包含:一第一連接部，用于與所述第一腔體連接，并且所述第一連接部與所述第一腔體的一內(nèi)側(cè)壁的結(jié)構(gòu)互補(bǔ)；以及多個第二連接部，用于分別與所述多個第二腔體的一對接部對接，其中所述第一連接部及每一所述第二連接部兩者的橫向邊長尺寸不同。
【附圖說明】
[0024]圖1繪示一種傳統(tǒng)的等離子反應(yīng)裝置。
[0025]圖2繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的組裝爆炸圖。
[0026]圖3繪示圖2的局部組裝視圖。
[0027]圖4繪示圖2的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的剖面爆炸圖。
[0028]圖5繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的剖面爆炸圖。
[0029]圖6繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的剖面組裝視圖。
[0030]圖7繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的組裝爆炸圖。
[0031]圖8繪示圖7的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的剖面爆炸圖。
[0032]圖9繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第五實(shí)施例的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的剖面爆炸圖。
[0033]圖10繪示圖9的剖面組裝視圖。
[0034]圖11繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第六實(shí)施例的襯套單元與等離子反應(yīng)裝置的剖面爆炸圖。
[0035]圖12繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第七實(shí)施例的襯套單元的局部放大視圖。
[0036]圖13繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第八實(shí)施例的襯套單元的局部放大視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]為了讓本實(shí)用新型的上述及其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文將特舉本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。
[0038]請參照圖2、圖3及圖4，繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的用于等離子反應(yīng)裝置100的襯套單元110，其中圖2繪示所述襯套單元110與所述等離子反應(yīng)裝置100的組裝爆炸圖，圖3繪示圖2的所述襯套單元110與所述等離子反應(yīng)裝置100的局部組裝視圖，以及圖4繪示圖2的所述襯套單元110與等離子反應(yīng)裝置100的剖面爆炸圖。所述等離子反應(yīng)裝置100具有一第一腔體120和一第二腔體130，以及所述襯套單元110包含一第一連接部112和一第二連接部114。
[0039]如圖2至圖4所示，所述襯套單元110的所述第一連接部112與所述第一腔體120相連接，并且所述第一連接部112的外側(cè)壁與所述第一腔體120的一相連接的內(nèi)側(cè)壁122彼此的結(jié)構(gòu)互補(bǔ)。如本實(shí)用新型的第一實(shí)施例所示，所述第一連接部112的外側(cè)壁與所述第一腔體120的內(nèi)側(cè)壁122皆為環(huán)形的結(jié)構(gòu)?？梢岳斫獾氖?，在其他實(shí)施例中相互結(jié)合的第一連接部的外側(cè)壁和第一腔體120內(nèi)側(cè)壁彼此可為各種結(jié)構(gòu)互補(bǔ)的幾何結(jié)構(gòu)。
[0040]另一方面，為了使所述襯套單元110的所述第一連接部112的外側(cè)壁與所述第一腔體120的內(nèi)側(cè)壁122之間緊密配合，可以利用例如在所述第一連接部112的外側(cè)壁與所述第一腔體120的所述內(nèi)側(cè)壁122的連接面分別形成結(jié)構(gòu)互補(bǔ)的螺紋，使得兩者間可緊密的鎖固，或者是在兩者的接面涂覆陶瓷導(dǎo)熱硅脂或以真空螺絲等方式，但不限定于此。除此之外，任何可以使所述襯套單元110的所述第一連接部112的外側(cè)壁與所述第一腔體120的所述內(nèi)側(cè)壁122達(dá)到緊密配合的方法亦可適用于本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中。
[0041]如圖2至圖4所示，當(dāng)所述襯套單元110的所述第一連接部112通過所述第一腔體120的一第一端口 124裝設(shè)入所述第一腔體120，并且與所述第一腔體120相結(jié)合后，將使所述襯套單元110的所述第二連接部114突伸出所述第一腔體120的所述第一端口 124之外。接著，再將所述襯套單元110與所述第二腔體130進(jìn)行組裝。如圖所示，所述襯套單元110的所述第二連接部114用于與所述第二腔體130的一對接部132對接。
[0042]如圖2至圖4所示，所述襯套單元110的所述第一連接部112的橫向邊長尺寸C1與所述第二連接部114的橫向邊長尺寸C2不同。更明確的說，如本實(shí)用新型第一實(shí)施例中所示，所述第一連接部112的橫向邊長尺寸C1小于所述第二連接部114的橫向邊長尺寸C2，然而在其他實(shí)施例中亦可將第一連接部112的橫向邊長尺寸C1設(shè)計(jì)為大于第二連接部114的橫向邊長尺寸C2。
[0043]再者，所述襯套單元110的所述第二連接部114和所述第二腔體130相結(jié)合前，優(yōu)選地先在所述第二連接部114的外側(cè)壁周圍放置0型環(huán)和/或陶瓷環(huán)和/或涂布真空脂，使得所述第一腔體120和所述第二腔體130相結(jié)合后具有優(yōu)選的氣密度。除此之外，任何可以達(dá)成優(yōu)選氣密效果的方法亦可適用于本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中。
[0044]請參照圖5，其繪示一種根據(jù)本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的襯套單元210與等離子反應(yīng)裝置200的剖面爆炸圖。所述等離子反應(yīng)裝置200包含一第一腔體130’和一第二腔體230，以及所述襯套單元210包含一第一連接部212和一第二連接部132’。
[0045]如圖5所示，所述襯套單元210的所述第一連接部212位于所述襯套單元210的外側(cè)壁，以及所述襯套單元210的所述第二連接部132’位于所述襯套單元210的內(nèi)側(cè)壁，其中所述襯套單元210的所述第一連接部212的橫向邊長尺寸C1與所述第二連接部132’的橫向邊長尺寸C2不同。更明確的說，所述第一連接部212的橫向邊長尺寸C1大于所述第二連接部132’的橫向邊長尺寸C2。
[0046]如圖5所示，所述襯套單元210的所述第一連接部212與所述第一腔體130’的內(nèi)側(cè)壁在結(jié)構(gòu)上彼此互補(bǔ)，使得兩者可相互結(jié)合。因?yàn)樗鲆r套單元210的所述第二連接部132’位于所述襯套單元210的內(nèi)側(cè)壁，所以當(dāng)所述襯套單元210的所述第一連接部212與所述第一腔體130’結(jié)合后，所述第二腔體230的一對接部232突伸入所述襯套單元210，并且收容于所述襯套單元210之內(nèi)，其中所述對接部232屬于所述第二腔體230外側(cè)壁的一部分。再者，如圖所示，所述第二腔體230可利用單一個腔體與一第二襯套單元210’相互組裝