放電燈、具有該放電燈的光源裝置以及放電燈用發(fā)送器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及放電燈，尤其涉及具有發(fā)送器的放電燈以及具有該放電燈的光源裝置，該發(fā)送器發(fā)送用于防止安裝錯(cuò)誤以及不恰當(dāng)?shù)狞c(diǎn)亮以安全地進(jìn)行點(diǎn)亮的信息。
【背景技術(shù)】
[0002]作為在半導(dǎo)體、液晶面板或印刷布線板等上形成圖案的曝光裝置的光源，使用了短弧型放電燈。存在如下等放電燈:封入有作為放電氣體的Xe氣、Kr氣、Ar氣等稀有氣體和水銀的放電燈；作為放映機(jī)或投影儀的光源來(lái)使用的稀有氣體型放電燈；或者除放電氣體和水銀之外還封入有金屬蒸氣的金屬蒸氣放電燈。此外，在這些放電燈中還存在在常溫下在發(fā)光管內(nèi)封入有1個(gè)氣壓以上的放電氣體和金屬蒸氣的短弧型放電燈。以下，將這些封入有放電氣體的放電燈簡(jiǎn)稱(chēng)作燈或者放電燈。
[0003]分別對(duì)燈預(yù)先確定最佳的電氣特性和冷卻條件，并在該條件下使其點(diǎn)亮，由此，燈能夠發(fā)揮原本的性能。在光源裝置上安裝燈并使其點(diǎn)亮?xí)r，如果誤將與原本應(yīng)在該裝置中使用的燈不同的燈點(diǎn)亮，則按照不恰當(dāng)?shù)碾姎馓匦渣c(diǎn)亮了燈，不僅無(wú)法獲得所需的照度，還會(huì)對(duì)燈施加不必要的負(fù)荷，從而導(dǎo)致燈的破裂等。
[0004]并且，當(dāng)誤將已經(jīng)以某種程度點(diǎn)亮過(guò)的燈作為未使用的燈安裝在光源裝置上并使其點(diǎn)亮?xí)r，由光源裝置測(cè)定出的燈的點(diǎn)亮?xí)r間與實(shí)際的燈的累積點(diǎn)亮?xí)r間之間產(chǎn)生差異，從而超過(guò)燈使用極限時(shí)間(燈壽命時(shí)間，能夠在不發(fā)生不良的情況下點(diǎn)亮燈的極限時(shí)間)地點(diǎn)亮了燈，會(huì)導(dǎo)致燈破損。除此之外，在該放電燈是需要根據(jù)點(diǎn)亮?xí)r間來(lái)改變點(diǎn)亮電力(或者電流、電壓)的燈的情況下，如果由光源裝置測(cè)定出的燈的點(diǎn)亮?xí)r間與實(shí)際的燈的累積點(diǎn)亮?xí)r間之間產(chǎn)生了差異，則無(wú)法以與實(shí)際的燈的累積點(diǎn)亮?xí)r間對(duì)應(yīng)的恰當(dāng)電力進(jìn)行點(diǎn)亮。其結(jié)果是，會(huì)對(duì)燈施加不必要的負(fù)荷，導(dǎo)致燈破損。
[0005]基于這樣的理由，需要由光源裝置對(duì)燈的類(lèi)型和點(diǎn)亮?xí)r間等燈信息進(jìn)行管理。以下，列舉與此相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)的例子。
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2所公開(kāi)的技術(shù)將封入有高壓氣體的燈的信息記錄在1C標(biāo)簽中。并且，通過(guò)設(shè)置于光源裝置的讀寫(xiě)器讀出記錄在1C標(biāo)簽中的燈信息，電源的控制部參考所讀出的信息，進(jìn)行能否點(diǎn)亮燈的判斷或者點(diǎn)亮控制。
[0007]【專(zhuān)利文獻(xiàn)1】日本特開(kāi)2008-269976號(hào)公報(bào)
[0008]【專(zhuān)利文獻(xiàn)2】日本特開(kāi)2008-269977號(hào)公報(bào)
[0009]但是，已經(jīng)判明在上述燈中存在以下的問(wèn)題。
[0010]為了通過(guò)讀寫(xiě)器從1C標(biāo)簽中讀出信息，需要與讀寫(xiě)器相對(duì)地配置1C標(biāo)簽，兩者的間隔距離為十幾_左右。因此，讀寫(xiě)器需要配置在燈供電線的附近。如果讀寫(xiě)器被設(shè)置在燈供電線的附近，則不僅會(huì)由于點(diǎn)亮所產(chǎn)生的燈的熱量而成為高溫狀態(tài)，還會(huì)被點(diǎn)亮所產(chǎn)生的紫外線照射。因此，存在讀寫(xiě)器發(fā)生故障、從而燈信息未被記錄到1C標(biāo)簽中的情況。
[0011]燈從點(diǎn)亮開(kāi)始直至達(dá)到燈壽命時(shí)間為止，不止被一個(gè)光源裝置進(jìn)行點(diǎn)亮。有時(shí)雖然沒(méi)有達(dá)到燈壽命時(shí)間，但被重新安裝到不同的光源裝置進(jìn)行點(diǎn)亮。在該情況下，記錄在1C標(biāo)簽中的燈的累積點(diǎn)亮?xí)r間未必與實(shí)際的燈的累積點(diǎn)亮?xí)r間一致。這是由多個(gè)光源裝置間的光源裝置規(guī)格的不同或1C標(biāo)簽與光源裝置的信息傳遞的不良等造成的。
[0012]例如，在多個(gè)光源裝置中存在不具有讀寫(xiě)器的光源裝置的情況下，無(wú)法將該光源裝置中的點(diǎn)亮?xí)r間傳遞到1C標(biāo)簽。同時(shí)，對(duì)于這種光源裝置，也無(wú)法經(jīng)由讀寫(xiě)器將燈信息傳遞到光源裝置。
[0013]此外，對(duì)于記錄在1C標(biāo)簽中的燈的點(diǎn)亮?xí)r間的更新，通過(guò)在燈點(diǎn)亮結(jié)束時(shí)將光源裝置計(jì)測(cè)出的燈的點(diǎn)亮?xí)r間傳遞到1C標(biāo)簽而進(jìn)行了更新。因此，如果產(chǎn)生光源裝置的故障等問(wèn)題，則點(diǎn)亮?xí)r間未被傳遞到1C標(biāo)簽，從而燈的點(diǎn)亮?xí)r間未被更新。其結(jié)果是，實(shí)際的點(diǎn)亮?xí)r間與記錄在1C標(biāo)簽中的點(diǎn)亮?xí)r間不一致。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]為了解決上述問(wèn)題，在本發(fā)明中，燈具備:發(fā)光管；在發(fā)光管內(nèi)相對(duì)的一對(duì)電極；以及供電結(jié)構(gòu)，其具有用于向電極供給電力的燈供電線和供電端子，在該燈中，構(gòu)成為在燈供電線上具有將與燈信息對(duì)應(yīng)的信號(hào)疊加到點(diǎn)亮電流的發(fā)送器。
[0015]發(fā)送器被配置成圍著燈供電線，通過(guò)使點(diǎn)亮電流流過(guò)燈供電線來(lái)進(jìn)行發(fā)送器的工作和動(dòng)作。
[0016]光源裝置具有以下單元:根據(jù)燈信息判斷能否點(diǎn)亮燈的單元；以及在判斷出不能點(diǎn)亮燈的情況下將燈控制成無(wú)法正常使用的單元。并且，光源裝置具有根據(jù)燈信息控制燈點(diǎn)亮電力的單元。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，除了預(yù)先記錄在發(fā)送器中的燈信息之外，還能夠單獨(dú)通過(guò)發(fā)送器來(lái)測(cè)定燈點(diǎn)亮?xí)r間等。即使未設(shè)置1C標(biāo)簽的讀寫(xiě)器那樣的燈信息傳遞單元，也能夠通過(guò)將燈信息疊加到點(diǎn)亮電流而將其傳遞到燈電源。并且，能夠利用點(diǎn)亮電流流過(guò)燈供電線這一情況，使發(fā)送器進(jìn)行工作，即使在燈長(zhǎng)時(shí)間沒(méi)有被點(diǎn)亮的情況下，發(fā)送器也能夠可靠地進(jìn)行工作。由此，可控制成燈電源能夠根據(jù)燈信息恰當(dāng)?shù)貙酎c(diǎn)亮。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是示出了本發(fā)明實(shí)施例中的燈和光源裝置的圖。
[0019]圖2是能否繼續(xù)點(diǎn)亮的判斷和點(diǎn)亮電力調(diào)整的流程圖。
[0020]圖3是示出了本發(fā)明實(shí)施例中的發(fā)送器的圖。
[0021 ] 圖4是示出了本發(fā)明實(shí)施例中的發(fā)送器的另一例的圖。
[0022]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0023]1:燈；5:燈供電線；6:發(fā)送器；7:光源裝置；10:燈電源；12:發(fā)送部。
【具體實(shí)施方式】
[0024]本發(fā)明的實(shí)施例是一種燈，該燈具有將與燈信息對(duì)應(yīng)的頻率疊加到點(diǎn)亮電流的發(fā)送器，本發(fā)明的實(shí)施例還是一種光源裝置，該光源裝置從疊加到點(diǎn)亮電流的頻率中讀出燈信息，根據(jù)所讀出的燈信息對(duì)電源進(jìn)行控制。燈信息例如包含以下信息中的任意一個(gè)或者這些信息的組合信息:燈類(lèi)型、累積點(diǎn)亮?xí)r間、與累積點(diǎn)亮?xí)r間對(duì)應(yīng)的恰當(dāng)?shù)狞c(diǎn)亮電力特性相關(guān)的信息、型號(hào)、批號(hào)、識(shí)別編號(hào)、額定燈電流、額定燈電壓、冷卻條件、在裝置上的安裝方向、燈壽命時(shí)間。
[0025]圖1是使用了實(shí)施例的燈和光源裝置的概略整體圖。
[0026]在圖1中，燈1是在半導(dǎo)體、液晶面板或印刷布線板等上形成圖案的曝光裝置用的短弧型放電燈，點(diǎn)亮電流在直流10A以上。發(fā)光管2是在內(nèi)部具有一對(duì)電極(未圖示)，并通過(guò)放電進(jìn)行發(fā)光的部分。密封管3是密封發(fā)光管2并且保持電極的部分。燈頭4是從外部接受電力并且通過(guò)光源裝置保持放電燈的部分。燈供電線5是向放電燈供給電力的導(dǎo)線。燈供電線5與放電燈的電極電連接，并從燈頭4被引出。在燈供電線5上，以沿周向圍著燈供電線5的方式接近地配置有發(fā)送器6。
[0027]燈供電線5經(jīng)由光源裝置7的連接器8與光源裝置7內(nèi)的光源裝置側(cè)供電線9電連接。光源裝置側(cè)供電線9與燈電源10連接。燈1與電源10的供電距離、即燈供電線5和光源裝置側(cè)供電線9相加后的長(zhǎng)度大概為10m左右。
[0028]當(dāng)從燈電源10經(jīng)由光源裝置側(cè)供電線9和燈供電線5向燈1供給點(diǎn)亮電力時(shí)，燈
1點(diǎn)亮。
[0029]發(fā)送器6利用點(diǎn)亮電流流過(guò)燈供電線5這一情況進(jìn)行工作。發(fā)送器6將與燈信息對(duì)應(yīng)的頻率疊加到點(diǎn)亮電流。
[0030]燈電源10經(jīng)由例如與光源裝置側(cè)供電線9耦合的電流互感器檢測(cè)疊加于燈供電線5和光源裝置側(cè)供電線9中流過(guò)的點(diǎn)亮電流的頻率，并將其檢測(cè)輸出轉(zhuǎn)換成燈信息。在點(diǎn)亮電流中沒(méi)有疊加與燈信息對(duì)應(yīng)的頻率的情況下，燈電源10使燈1熄滅，或者向作業(yè)人員發(fā)出警告。
[0031]設(shè)燈電源10具有以下單元:根據(jù)燈信息判斷能否繼續(xù)點(diǎn)亮燈的單元；以及在判斷出不能點(diǎn)亮燈的情況下，將所述放電燈控制成無(wú)法正常使用的單元。能否繼續(xù)點(diǎn)亮的判斷例如是指，在從發(fā)送器6傳遞來(lái)的燈的類(lèi)型或累積點(diǎn)亮?xí)r間與光源裝置中原本設(shè)定的燈種類(lèi)不同、或者超過(guò)燈壽命時(shí)間的情況下，判斷為不能繼續(xù)點(diǎn)亮，向作業(yè)人員發(fā)出警告或者使燈1熄滅。
[0032]設(shè)燈電源10具有以下單元，該單元根據(jù)燈信息判斷燈點(diǎn)亮電力的特性，并對(duì)燈點(diǎn)亮電力的特性、即點(diǎn)亮電力值、或者點(diǎn)亮電力的電流值或電壓值中的任意一方進(jìn)行控制(以下為點(diǎn)亮電力控制)。例如，當(dāng)判斷為能夠繼續(xù)點(diǎn)亮?xí)r，燈電源10根據(jù)從發(fā)送器6傳遞來(lái)的累積點(diǎn)亮?xí)r間，將供給到燈1的點(diǎn)亮電力控制為與預(yù)先確定的點(diǎn)亮?xí)r間對(duì)應(yīng)的點(diǎn)亮電力的特性。
[0033]在將燈1點(diǎn)亮的過(guò)程中，按照一定時(shí)間間隔或者間斷地實(shí)施燈電源10中的能否繼續(xù)點(diǎn)亮的判斷、以及點(diǎn)亮電力控制。
[0034]圖2針對(duì)能否繼續(xù)點(diǎn)亮燈的判斷以及點(diǎn)亮電力控制，示出燈電源10的概略流程圖的一例。燈電源10向燈1供給點(diǎn)亮電力，使燈點(diǎn)亮(S101)。然后，燈電源10檢測(cè)通過(guò)燈所具有的發(fā)送器6疊加到點(diǎn)亮電流的頻率(S102)，并轉(zhuǎn)換成燈信息。這時(shí)，在未能檢測(cè)出疊加到點(diǎn)亮電流的頻率、即在頻率沒(méi)有被疊加到點(diǎn)亮電流的情況下，通過(guò)控制單元使燈熄滅/發(fā)出警告(S107)，并結(jié)束流程。接著，根據(jù)對(duì)檢測(cè)出的頻率進(jìn)行轉(zhuǎn)換而得到的燈信息，判斷所點(diǎn)亮的燈的類(lèi)型是否恰當(dāng)(S103)，在不恰當(dāng)?shù)那闆r下，使燈熄滅/發(fā)出警告(S107)，并結(jié)束流程。接著，根據(jù)所獲得的燈信息，判斷所點(diǎn)亮的燈的累積點(diǎn)亮?xí)r間是否小于預(yù)先設(shè)定的燈壽命時(shí)間(S104)，在累積點(diǎn)亮?xí)r間在燈壽命時(shí)間以上的情況下，使燈熄滅/發(fā)出警告(S107)，并結(jié)束流程。接著，判斷所點(diǎn)亮的燈是否是需要根據(jù)累積點(diǎn)亮?xí)r