技術(shù)編號(hào):9525484
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。作為在半導(dǎo)體、液晶面板或印刷布線(xiàn)板等上形成圖案的曝光裝置的光源,使用了短弧型放電燈。存在如下等放電燈封入有作為放電氣體的Xe氣、Kr氣、Ar氣等稀有氣體和水銀的放電燈;作為放映機(jī)或投影儀的光源來(lái)使用的稀有氣體型放電燈;或者除放電氣體和水銀之外還封入有金屬蒸氣的金屬蒸氣放電燈。此外,在這些放電燈中還存在在常溫下在發(fā)光管內(nèi)封入有1個(gè)氣壓以上的放電氣體和金屬蒸氣的短弧型放電燈。以下,將這些封入有放電氣體的放電燈簡(jiǎn)稱(chēng)作燈或者放電燈。分別對(duì)燈預(yù)先確定最佳的電氣特性和...
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