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一種具有漏粒子收集裝置的二氧化碳激光器的制造方法_2

文檔序號:9473296閱讀:來源:國知局

[0027]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為漏粒子收集裝置的結(jié)構(gòu)示意圖,
圖中標(biāo)記:1_放電管,2-輸出鏡片,3-漏粒子收集裝置,4-陰電極,5-凸起,6-連接體。
【具體實(shí)施方式】
[0028]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。
[0029]實(shí)施例1,如圖1和2所示,一種具有漏粒子收集裝置的二氧化碳激光器,
包括有放電管I和輸出鏡片2,所述放電管I上設(shè)置有陰電極4,所述陰電極4與所述輸出鏡片2之間設(shè)置有漏粒子收集裝置3,所述漏粒子收集裝置3設(shè)置的位置保證其不阻擋的激光束,所述漏粒子收集裝置3與所述陰電極4導(dǎo)電連接。
[0030]在本實(shí)施例的上述方案中,在放電管I中產(chǎn)生輝光放電時,放電管I內(nèi)具有極高的電場,正粒子受電場加速撞擊陰電極4,會產(chǎn)生漏粒子,由于設(shè)置了漏粒子收集裝置3,漏粒子收集裝置3收集這些漏粒子,減小漏粒子對輸出鏡片2造成的沖擊,同時也減少了漏粒子沉積附著在輸出鏡片2上的可能,使得輸出鏡片2的使用壽命增加,進(jìn)而提高激光器的使用壽命,并且,輸出鏡片2的光潔度能夠得到良好的保證,所以也提高了激光束的輸出質(zhì)量;由于漏粒子帶有正電荷,所以,在本實(shí)施例中,漏粒子收集裝置3與陰電極4導(dǎo)電連接,提高漏粒子收集裝置3收集陰電極4濺射出的粒子以及漏粒子的能力,進(jìn)一步的提高輸出鏡片2的使用壽命增加,進(jìn)而提高激光器的使用壽命,并且,輸出鏡片2的光潔度能夠得到良好的保證,所以也提高了激光束的輸出質(zhì)量。
[0031]實(shí)施例2,如圖1和2所示,如實(shí)施例1所述的具有漏粒子收集裝置的二氧化碳激光器,
所述漏粒子收集裝置3包括有與所述陰電極4導(dǎo)電連接的連接體6,所述連接體6上設(shè)置有若干凸起5,所述凸起5具有尖角,所述連接體6 —端與所述陰電極4配合,另一端與所述輸出鏡片2相配合,所述連接體6與所述輸出鏡片2之間為間隙配合連接,所述連接體6為空心的筒體,所述連接體6為空心的筒體,所述連接體6設(shè)置在所述陰電極4與輸出鏡片2之間,所述凸起5設(shè)置在所述連接體6的內(nèi)壁,所述凸起5與所述連接體6為一體式結(jié)構(gòu),所述凸起5的尖角向所述連接體6內(nèi)部翹起,所述漏粒子收集裝置3為鈦材料或鈦合金材料制得。本實(shí)施例中,連接體6的一端與陰電極4的連接,可以是連接體6直接套設(shè)在陰電極4之上,也可以是連接體6與陰電極4之間隔開設(shè)置,然后通過導(dǎo)電體連接陰電極4與連接體6。
[0032]在本實(shí)施例的上述方案中,在連接體6上設(shè)置凸起5,進(jìn)一步的提高漏粒子收集裝置3收集漏粒子的能力;在上述方案中,凸起5具有角尖,基于尖端放電的原理,進(jìn)一步的提高本實(shí)施例的漏粒子收集裝置3收集漏粒子的能力;在上述方案中,連接體6與輸出鏡片2相配合,使得連接體6盡量靠近輸出鏡片2,盡量多的收集漏粒子,進(jìn)一步的提高本實(shí)施例漏粒子收集裝置3收集漏粒子的能力;避免本實(shí)施例的漏粒子收集裝置3刮傷輸出鏡片2,提高激光器的可靠性;連接體6設(shè)置在陰電極4與輸出鏡片2之間,首先是方便了漏粒子收集裝置3的連接,同時由于連接體6為空心筒狀,進(jìn)而避免了對激光束的阻擋;更為重要的是,連接體6具有較大的表面積,并且設(shè)置在陰電極4與輸出鏡片2上,進(jìn)而,進(jìn)一步的提高了本實(shí)施例漏粒子收集裝置3收集漏粒子的能力;由于連接體6和凸起5尖角的共同作用,進(jìn)一步的提高本實(shí)施例漏粒子收集裝置3收集漏粒子的能力;在上述方案中,本實(shí)施例的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)鈦材料或鈦合金材料在受到漏粒子沖擊時,濺射量和蒸發(fā)量極小,幾乎可以忽略不計,進(jìn)一步的提高了本實(shí)施例漏粒子收集裝置3收集漏粒子的能力。
[0033]凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種具有漏粒子收集裝置的二氧化碳激光器,包括有放電管和輸出鏡片,所述放電管上設(shè)置有陰電極,其特征在于,所述陰電極與所述輸出鏡片之間設(shè)置有漏粒子收集裝置,所述漏粒子收集裝置設(shè)置的位置保證其不阻擋的激光束。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述漏粒子收集裝置與所述陰電極導(dǎo)電連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述漏粒子收集裝置包括有與所述陰電極導(dǎo)電連接的連接體。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述連接體上設(shè)置有若干凸起。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述凸起具有尖角。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述連接體一端與所述陰電極連接,另一端與所述輸出鏡片相配合。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述連接體與所述輸出鏡片之間為間隙配合連接。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述連接體為空心的筒體,所述連接體設(shè)置在所述陰電極與輸出鏡片之間,所述凸起設(shè)置在所述連接體的內(nèi)壁。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述凸起與所述連接體為一體式結(jié)構(gòu),所述凸起的尖角向所述連接體內(nèi)部翹起。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的二氧化碳激光器,其特征在于,所述漏粒子收集裝置為鈦材料或鈦合金材料制得。
【專利摘要】本發(fā)明涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種具有漏粒子收集裝置的二氧化碳激光器,包括有放電管和輸出鏡片,所述放電管上設(shè)置有陰電極,所述陰電極與所述輸出鏡片之間設(shè)置有漏粒子收集裝置,所述漏粒子收集裝置設(shè)置的位置保證其不阻擋的激光束。在本申請的上述方案中,在放電管中產(chǎn)生輝光放電時,放電管內(nèi)具有極高的電場,正粒子受電場加速撞擊陰電極,會產(chǎn)生漏粒子,由于設(shè)置了漏粒子收集裝置,漏粒子收集裝置收集這些漏粒子,減小漏粒子對輸出鏡片造成的沖擊,同時也減少了漏粒子沉積附著在輸出鏡片上的可能,使得輸出鏡片的使用壽命增加,進(jìn)而提高激光器的使用壽命,并且,輸出鏡片的光潔度能夠得到良好的保證,所以也提高了激光束的輸出質(zhì)量。
【IPC分類】H01S3/03
【公開號】CN105226484
【申請?zhí)枴緾N201510765472
【發(fā)明人】殷衛(wèi)援
【申請人】成都微深科技有限公司
【公開日】2016年1月6日
【申請日】2015年11月11日
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