一種漏晶檢測裝置及其檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種檢測裝置及其檢測方法，特別是涉及一種漏晶檢測裝置及其檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]固晶機(jī)一般由取晶固晶裝置、取晶臂轉(zhuǎn)軸和漏晶檢測裝置組成。其中，取晶固晶裝置由吸嘴、取晶臂、真空管和真空發(fā)生器組成。吸嘴安裝在取晶臂上，與真空管的一端連接，真空管的另一端與真空發(fā)生器連接。取晶臂在取晶臂轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下，從原點(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)到取晶位置，真空發(fā)生器的電磁閥打開，真空發(fā)生器工作，吸嘴內(nèi)部變成真空，在吸嘴下方由于氣壓差產(chǎn)生空氣吸力，吸嘴吸取晶片，取晶臂運(yùn)動(dòng)回到原點(diǎn)位置，由漏晶檢測裝置進(jìn)行漏晶檢測后，取晶臂再從原點(diǎn)位置運(yùn)動(dòng)到固晶位置，電磁閥關(guān)閉，真空發(fā)生器停止工作，吸嘴內(nèi)外氣壓流動(dòng)，氣壓為零，晶片落入固晶位置，取晶臂再次返回到原點(diǎn)位置，再次進(jìn)行漏晶檢測，向固晶機(jī)發(fā)出取晶移晶成功信號。
[0003]專利申請?zhí)枮?01420063264.7公開的漏晶檢測裝置，設(shè)置了光敏傳感器、反光平面鏡、漏晶檢測燈以及光纖，每次取晶臂經(jīng)過反光平面鏡時(shí)做漏晶檢測，該漏晶檢測裝置僅僅根據(jù)取晶臂從取晶位置返回，經(jīng)過反光平面鏡時(shí)吸嘴上是否有晶片，以及取晶臂從固晶位置返回，經(jīng)過反光平面鏡時(shí)吸嘴上是否沒有晶片來判斷是否有漏晶現(xiàn)象。這種檢測不全面，精度低，原因在于沒有考慮到吸嘴取晶成功后，即經(jīng)過反光平面鏡進(jìn)行了第一次判斷后，從反光平面鏡處高速運(yùn)動(dòng)至固晶位置的過程中因機(jī)械原因或其它原因晶片掉落，或者在固晶位置晶片還沒掉落，取晶臂就從固晶位置往反光平面鏡方向運(yùn)動(dòng)，并在運(yùn)動(dòng)到反光平面鏡前是否會因機(jī)械原因或其它原因晶片掉落，該漏晶檢測裝置根據(jù)第一次判斷吸嘴有晶片，第二次判斷吸嘴沒有晶片，繼而給出取晶成功的信號給固晶機(jī)，而事實(shí)上可能出現(xiàn)誤判；該漏晶檢測裝置還存在容易受外界光影響導(dǎo)致檢測結(jié)果失效的問題，且當(dāng)晶片透明度較高時(shí)，信號較弱，光敏傳感器會在吸嘴有晶片時(shí)判斷為吸嘴沒有晶片，導(dǎo)致漏晶檢測裝置出現(xiàn)誤判。
[0004]漏晶檢測裝置必須準(zhǔn)確無誤地對所有可能的漏晶情況發(fā)出警報(bào)，才能提高成品率。后續(xù)的取晶固晶檢測裝置中，在真空管內(nèi)設(shè)置了流量傳感器，流量傳感器連通于吸嘴與真空發(fā)生器，流量傳感器用于檢測氣管內(nèi)的氣流量并輸出電信號，由于不同的晶片所需的真空吸力是不一樣的，所以用于判斷吸嘴上是否有晶片的電信號強(qiáng)弱不同，不能一概而論地給出統(tǒng)一的電信號值來判斷取晶移晶是否成功。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種漏晶檢測裝置及其檢測方法，解決現(xiàn)有漏晶檢測裝置檢測精度低的問題。
[0006]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案解決上述問題:
[0007]一種漏晶檢測裝置，由數(shù)字負(fù)壓表和單片機(jī)模塊組成；
[0008]所述數(shù)字負(fù)壓表的輸入端與外部取晶固晶裝置中流量傳感器的輸出端連接；
[0009]所述外部取晶固晶裝置由吸嘴、取晶臂、真空管、流量傳感及真空發(fā)生器組成，所述吸嘴安裝于所述取晶臂的一端，所述取晶臂的另一端與外部取晶臂轉(zhuǎn)軸連接，所述真空管位于取晶臂上方，一端連通吸嘴，另一端連通真空發(fā)生器，所述流量傳感器安裝于真空管內(nèi)，連通于吸嘴和真空發(fā)生器；
[0010]數(shù)字負(fù)壓表的輸出端與單片機(jī)模塊的輸入端連接，單片機(jī)模塊的輸出端與外部取晶固晶裝置的報(bào)警電路的控制端連接。
[0011]一種漏晶檢測裝置的檢測方法為:
[0012]I)根據(jù)取晶時(shí)晶片所需要的吸力，確定晶片被吸起時(shí)所需的負(fù)氣壓值，并設(shè)置數(shù)字負(fù)壓表的對照值，根據(jù)取晶臂的運(yùn)動(dòng)軌跡和運(yùn)動(dòng)速率在單片機(jī)模塊設(shè)置采集時(shí)長和采集時(shí)間間隔；
[0013]2)取晶臂在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動(dòng)下從原點(diǎn)移動(dòng)到取晶位置，按照負(fù)氣壓值啟動(dòng)真空發(fā)生器，使得真空管內(nèi)氣壓達(dá)到該負(fù)氣壓值，吸嘴在空氣壓差的作用下吸取晶片，流量傳感器感應(yīng)真空管內(nèi)的負(fù)氣壓，根據(jù)負(fù)氣壓的大小輸出電信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述電信號數(shù)字量化，內(nèi)部產(chǎn)生數(shù)字信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述數(shù)字信號與對照值比較，若低于對照值，輸出低電平，說明吸嘴吸取到晶片，若高于對照值，輸出高電平，說明吸嘴未吸取晶片；
[0014]3)取晶臂在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動(dòng)下從取晶位置往固晶位置移動(dòng)，移動(dòng)過程中，若數(shù)字負(fù)壓表的輸出端持續(xù)為低電平，說明晶片未在移動(dòng)過程中掉落，若出現(xiàn)了高電平，說明晶片在移動(dòng)過程中掉落；
[0015]4)取晶臂在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動(dòng)下移動(dòng)到固晶位置，關(guān)閉真空發(fā)生器，真空管內(nèi)外氣體流動(dòng)，吸嘴處內(nèi)外壓值為零，晶片落入固晶位置，流量傳感器感應(yīng)真空管內(nèi)的負(fù)氣壓，根據(jù)氣壓的大小輸出電信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述電信號數(shù)字量化，內(nèi)部產(chǎn)生數(shù)字信號，數(shù)字負(fù)壓表將所述數(shù)字信號與對照值比較，若低于對照值，輸出低電平，說明晶片未從吸嘴掉落，若高于對照值，輸出高電平，說明晶片在移動(dòng)過程中或在固晶位置已經(jīng)掉落；
[0016]5)取晶臂在外部取晶臂轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動(dòng)下從固晶位置移動(dòng)到原點(diǎn)位置的過程中，若數(shù)字負(fù)壓表的輸出端持續(xù)為高電平，說明晶片在移動(dòng)過程中或在固晶位置已經(jīng)掉落；若出現(xiàn)低電平，說明晶片未從吸嘴掉落；
[0017]6)單片機(jī)模塊在采集時(shí)長內(nèi)按采集時(shí)間間隔采集數(shù)字負(fù)壓表輸出端的電平信號，如果在取晶位置電平由高轉(zhuǎn)向低，并在移動(dòng)過程中持續(xù)為低電平，且在固晶位置電平由低轉(zhuǎn)向高，并在取晶臂從固晶位置運(yùn)動(dòng)回原點(diǎn)位置的過程中電平持續(xù)為高電平，說明取晶移晶成功，單片機(jī)模塊發(fā)送低電平至報(bào)警電路，報(bào)警電路不工作，否則，發(fā)送高電平，啟動(dòng)報(bào)警電路報(bào)警。
[0018]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與效果是:
[0019]本發(fā)明使用數(shù)字負(fù)壓表檢測流量傳感器的輸出端的電信號，根據(jù)晶片被吸取所需要的真空吸力設(shè)置一個(gè)對照值，通過比對該電信號與對照值來判斷吸嘴是否有晶片，其檢測時(shí)間從吸嘴吸取到晶片的瞬間到取晶臂運(yùn)動(dòng)到固晶位置后再次回到原點(diǎn)位置的瞬間，是一種時(shí)間段的檢測，單片機(jī)模塊對這段時(shí)間內(nèi)數(shù)字負(fù)壓表輸出端電平的變化做出判斷，給出取晶移晶是否成功的信號，其檢測并不局限在某個(gè)固定位置、某個(gè)固定時(shí)間點(diǎn)進(jìn)行，也不存在受光線、晶體透明度影響的問題，能解決現(xiàn)有漏晶檢測裝置檢測精度低的問題。
【附圖說明】
[0020]圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)連接圖。
[0021]圖中標(biāo)號為:1、吸嘴；2、取晶臂；3、真空管；4、流量傳感器；5、真空發(fā)生器。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
[0023]一種漏晶檢測裝置，由數(shù)字負(fù)壓表和單片機(jī)模塊組成。其中，數(shù)字負(fù)壓表的輸入端與外部取晶固晶裝置中流量傳感器4的輸出端連接；外部取晶固晶裝置由吸嘴1、取晶臂2、真空管3、流量傳感4及真空發(fā)生器5組成，吸嘴I安裝于取晶臂2的一端，取晶臂2的另一端與外部取晶臂轉(zhuǎn)軸連接，真空管3位于取晶臂2上方，一端連通吸嘴I，另一端連通真空發(fā)生器5，所述流量傳感器4安裝于真空管3內(nèi)，連通于吸嘴I和真空發(fā)生器5 ;數(shù)字負(fù)壓表的輸出端與單片機(jī)模塊的輸入端連接，單片機(jī)模塊的輸出端與外部取晶固晶裝置的報(bào)警電路的控制端連接。
[0024]流量傳感器4安裝在真空管3內(nèi)，用于感應(yīng)真空管3中的負(fù)氣壓，將其轉(zhuǎn)換為電信號輸出。在取晶固晶裝置中，吸嘴I取晶時(shí)，真空管3內(nèi)為負(fù)氣壓，吸嘴I未取晶或取晶后晶片掉落，真空管3內(nèi)氣壓值為零。在零氣壓到負(fù)氣壓的變化過程中，流量傳感器4根據(jù)檢測到的氣壓值，輸出的電信號有一個(gè)范圍值，根據(jù)晶片所需真空吸力的不同，電信號中體現(xiàn)取晶或未取晶的電信號的界限點(diǎn)會有所差異。
[0025]數(shù)字負(fù)壓表是一種在線測量儀表，用于體現(xiàn)真空管內(nèi)壓力變化，將流量傳感器輸出端的電信號處理后輸出數(shù)字信號；內(nèi)置自動(dòng)連鎖和傳感裝置，精度高，誤差< I %，能高質(zhì)量完成漏晶檢測任務(wù)；穩(wěn)定性高，防護(hù)堅(jiān)固，能適用于復(fù)