信號線屏蔽結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種信號線屏蔽結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，小型化和高集成度已經(jīng)成為業(yè)界的主流。那么如何對各式各樣的信號線進行屏蔽，防止產(chǎn)生信號串擾，一直是業(yè)界所希望解決和優(yōu)化的問題。
[0003]通常情況下，版圖上對信號線進行屏蔽處理，是將信號線上下左右完全包住。如圖1所示，信號線I在上下左右被完全包住，包括位于信號線I同層的且位于其兩側(cè)的第一屏蔽線2、第二屏蔽線3，位于信號線I上層的第三屏蔽線5，位于信號線I下層的第四屏蔽線4，所述第一屏蔽線2和第二屏蔽線3通過第一插塞7與第三屏蔽線5相連接，所述第一屏蔽線2和第二屏蔽線3通過第二插塞6與第四屏蔽線4相連接。進一步的，所述第三屏蔽線5和第四屏蔽線4接地(GND)。
[0004]具體可結(jié)合圖2，第一屏蔽線2和第二屏蔽線3為沿著信號線I的長度方向上(即X方向)延伸，從而實現(xiàn)左右兩側(cè)通過第一屏蔽線2和第二屏蔽線3屏蔽。而第三屏蔽線5為上層金屬，第四屏蔽線4為下層金屬，從而實現(xiàn)上下由第三屏蔽線5和第四屏蔽線4屏蔽。
[0005]但在這種情況下，信號線對地的負載較大，從而嚴重影響了電路的響應(yīng)時間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于，提供一種信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，降低信號線對地的負載，優(yōu)化電路響應(yīng)時間。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，用于對信號線進行屏蔽，包括:
[0008]間隔位于所述信號線同層兩側(cè)的第一屏蔽線、第二屏蔽線，間隔位于所述信號線上層的第三屏蔽線及位于所述信號線下層的第四屏蔽線，所述第三屏蔽線和第四屏蔽線接地，所述第一屏蔽線和所述第二屏蔽線皆包括多個相間隔的金屬條，每個金屬條皆與第三屏蔽線和第四屏蔽線相連接。
[0009]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，每個所述金屬條通過插塞與第三屏蔽線和第四屏蔽線相連接。
[0010]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，所述金屬條大于0.2 μπι見方。
[0011]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，所述金屬條之間的間隔大于等于0.21 μπι。
[0012]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，所述第一屏蔽線距離信號線的間距大于等于0.21 μm，所述第二屏蔽線距離信號線的間距大于等于0.21 μπι。
[0013]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，所述第一屏蔽線與第二屏蔽線以信號線為軸對稱。
[0014]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，還包括第一輔助線和第二輔助線，所述第一輔助線和第二輔助線與所述信號線位于同一層。
[0015]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，所述第一輔助線位于第一屏蔽線遠離信號線的一側(cè)，所述第二輔助線位于第二屏蔽線遠離信號線的一側(cè)。
[0016]可選的，對于所述的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，所述第一輔助線距離第一屏蔽線的間距大于等于0.21 μm，所述第二輔助線距離第二屏蔽線的間距大于等于0.21 μπι。
[0017]本發(fā)明提供的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)中，包括間隔位于所述信號線同層兩側(cè)的第一屏蔽線、第二屏蔽線，間隔位于所述信號線上層的第三屏蔽線及位于所述信號線下層的第四屏蔽線，所述第一屏蔽線和所述第二屏蔽線皆包括多個相間隔的金屬條，每個金屬條皆與第三屏蔽線和第四屏蔽線相連接。相比現(xiàn)有技術(shù)，通過第一屏蔽線和第二屏蔽線的間隙，降低了信號線對地(第三屏蔽線和第四屏蔽線)的負載，從而優(yōu)化了電路響應(yīng)時間。
【附圖說明】
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中信號線屏蔽結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為沿圖1中1-1線的俯視圖；
[0020]圖3為本發(fā)明實施例中信號線屏蔽結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖4為沿圖1中I1-1I線的俯視圖。
【具體實施方式】
[0022]下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的信號線屏蔽結(jié)構(gòu)進行更詳細的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0023]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0024]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0025]本發(fā)明的核心思想在于，提供一種信號線屏蔽結(jié)構(gòu)，將信號線同層兩側(cè)的屏蔽線設(shè)置為間斷的，即有間隔，從而在保證了屏蔽作用的基礎(chǔ)上，大大降低了信號線對地的負載。
[0026]以下列舉所述信號線屏蔽結(jié)構(gòu)的較優(yōu)實施例，以清楚說明本發(fā)明的內(nèi)容，應(yīng)當明確的是，本發(fā)明的內(nèi)容并不限制于以下實施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進亦在本發(fā)明的思想范圍之內(nèi)。
[0027]請參考圖3和圖4，其中圖3為本發(fā)明實施例中信號線屏蔽結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為沿圖1中I1-1I線的俯視圖。
[0028]如圖3所示，在本實施例中，所述信號線屏蔽結(jié)構(gòu)包括:
[0029]間隔位于所述信號線10同層兩側(cè)的第一屏蔽線11、第二屏蔽線12，間隔位于所述信號線10上層的第三屏蔽線13及位于所述信號線10下層的第四屏蔽線14，所述第三屏蔽線13和第四屏蔽線14接地，所述第一屏蔽線11和所述第二屏蔽線12皆包括多個相間隔的金屬條，每個金屬條皆與第三屏蔽線13和第四屏蔽線14相連接。
[0030]如圖3所示，所述信號線屏蔽結(jié)構(gòu)可以先形成