電氣設(shè)備,特別是有機(jī)發(fā)光設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及包括用于保護(hù)電氣設(shè)備的電氣單元以防水和/或氧氣的比如薄膜封裝(TFE)的保護(hù)元件的電氣設(shè)備、用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的檢測(cè)裝置以及對(duì)應(yīng)的檢測(cè)方法。本發(fā)明還涉及用于生產(chǎn)所述電氣設(shè)備的生產(chǎn)裝置和生產(chǎn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光設(shè)備對(duì)濕氣非常敏感。出于此原因，有機(jī)發(fā)光設(shè)備一般包括TFE，其可以包括單個(gè)無(wú)機(jī)層或形成多層堆疊的無(wú)機(jī)和/或有機(jī)層的組合。TFE —般提供抵擋濕氣的良好保護(hù)。然而，TFE屏障的質(zhì)量可能由于針孔或空隙而降低，從而提供用于使?jié)駳馔ㄟ^(guò)TFE的穿透通路。
[0003]US 7，767，498 B2公開(kāi)了一種用于測(cè)試屏障結(jié)構(gòu)的有效性的系統(tǒng)。該系統(tǒng)使用利用多層屏障堆疊封裝的玻璃上的金屬鈣試樣。通過(guò)滲透的透明氧化鈣和氫氧化鈣的形成增加可見(jiàn)光通過(guò)鈣試樣的透射，可以對(duì)此進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)以用于確定多層屏障堆疊的滲透性程度。這種鈣測(cè)試在技術(shù)上相對(duì)復(fù)雜并且花費(fèi)相對(duì)長(zhǎng)的時(shí)間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供包括電氣單元和用于保護(hù)電氣單元以防水和/或氧氣的保護(hù)元件的電氣設(shè)備、用于檢測(cè)電氣設(shè)備的保護(hù)元件的滲透性的檢測(cè)裝置以及對(duì)應(yīng)的檢測(cè)方法，其允許保護(hù)元件的滲透性的更快檢測(cè)。本發(fā)明還涉及用于生產(chǎn)電氣設(shè)備的生產(chǎn)裝置和生產(chǎn)方法。
[0005]在本發(fā)明的第一方面中，呈現(xiàn)了一種電氣設(shè)備，其中電氣設(shè)備包括:
-電氣單元，
-保護(hù)元件，其至少部分地覆蓋電氣單元，以用于保護(hù)電氣單元以防水和/或氧氣，
-布置在保護(hù)元件與電氣單元之間或保護(hù)元件內(nèi)的檢測(cè)層，其中檢測(cè)層包括有機(jī)材料并且被適配成使得如果檢測(cè)層與可用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的接觸氣體接觸則檢測(cè)層的性質(zhì)改變。
[0006]由于檢測(cè)層包括有機(jī)材料并且如果檢測(cè)層與可用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的接觸氣體接觸則改變其性質(zhì)，并且由于該檢測(cè)層布置在保護(hù)元件與電氣單元之間或保護(hù)元件內(nèi)，因此用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的檢測(cè)測(cè)試可以容易地集成到用于生產(chǎn)電氣設(shè)備的生產(chǎn)過(guò)程中，即不要求如在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)US 7，767，498 B2中所公開(kāi)的耗時(shí)的外部滲透性測(cè)試。例如，用于使水，特別是濕氣和/或氧氣通過(guò)保護(hù)元件的穿透路徑可以在生產(chǎn)過(guò)程期間通過(guò)檢測(cè)包括有機(jī)材料的檢測(cè)層的性質(zhì)的改變來(lái)相對(duì)快速地檢測(cè)。特別是可以相對(duì)快速地檢測(cè)造成穿透路徑的針孔或其它缺陷。
[0007]接觸氣體優(yōu)選地為選自包括水、氧氣、臭氧、氟、溴、氯及其組合的組的氣體。然而，也可以使用其它氣體，其可以通過(guò)保護(hù)元件的有缺陷部分穿透。接觸氣體可以是具有小于或等于臭氧分子的尺寸，更優(yōu)選地小于或等于氧氣分子的尺寸，并且甚至更優(yōu)選地小于或等于水分子的尺寸的氣體分子的氣體。
[0008]電氣單元優(yōu)選地為比如有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的有機(jī)發(fā)光單元，并且保護(hù)元件優(yōu)選地為T(mén)FE，其可以包括單個(gè)無(wú)機(jī)層或形成多層堆疊的若干無(wú)機(jī)和/或有機(jī)層。
[0009]優(yōu)選的是，檢測(cè)層被適配成使得檢測(cè)層的性質(zhì)在檢測(cè)層與接觸氣體接觸的位置處局部改變。這允許確定比如通過(guò)保護(hù)元件的穿透路徑的缺陷所存在的位置，其中然后在所確定的位置處可以修復(fù)該缺陷。
[0010]還優(yōu)選的是，檢測(cè)層被適配成通過(guò)與接觸氣體的化學(xué)反應(yīng)而改變其性質(zhì)?；瘜W(xué)反應(yīng)優(yōu)選地為光化學(xué)反應(yīng)。為了執(zhí)行光化學(xué)反應(yīng)，可以使用具有某一波長(zhǎng)的光，比如紫外(UV)光。這允許以相對(duì)簡(jiǎn)單和可靠的方式修改檢測(cè)層的性質(zhì)，使得可以以相對(duì)高的精度檢測(cè)到檢測(cè)層與接觸氣體的接觸。
[0011]在優(yōu)選實(shí)施例中，檢測(cè)層被適配成改變其性質(zhì)使得通過(guò)光學(xué)測(cè)量設(shè)備可觀察到改變。特別地，檢測(cè)層被適配成如果檢測(cè)層與接觸氣體，特別是濕氣和/或氧氣接觸，則改變光致發(fā)光、反射率和吸收的組中的至少一個(gè)。
[0012]如果性質(zhì)中的改變應(yīng)當(dāng)在光學(xué)上檢測(cè)到，則保護(hù)元件可以關(guān)于用于光學(xué)檢測(cè)性質(zhì)改變的光至少部分地透明。如果保護(hù)元件是具有多個(gè)層的TFE并且如果檢測(cè)層布置在TFE的這些層之間，則布置在檢測(cè)層與測(cè)量設(shè)備的光源之間的TFE的僅一個(gè)或若干層可以對(duì)光源所發(fā)射的光至少部分地透明，以便允許光橫穿TFE的這一個(gè)或若干層使得其能夠到達(dá)檢測(cè)層以用于檢測(cè)可能的性質(zhì)改變。
[0013]檢測(cè)層可以具有在納米或微米范圍中的厚度。
[0014]在實(shí)施例中，檢測(cè)層可以包括光致發(fā)光有機(jī)層，其被適配成使得如果檢測(cè)層與接觸氣體接觸則其降解，以便改變其性質(zhì)。光致發(fā)光有機(jī)層可以是可光降解的，其中如果光致發(fā)光有機(jī)層被光照射并且如果其與接觸氣體接觸，則其降解。特別地，光致發(fā)光有機(jī)層可以被適配成如果光致發(fā)光有機(jī)層被UV光照射并且如果其與接觸氣體接觸則降解。光致發(fā)光有機(jī)層是例如三(8-輕基喹啉)銷(xiāo)(Tris-(8-hydroxyquinoline) aluminum) (Alq3)0 在另一實(shí)施例中，檢測(cè)層包括單體，其如果被照射并且如果與接觸氣體接觸則聚合，以便改變其性質(zhì)。單體優(yōu)選地為比如有機(jī)光致抗蝕劑的有機(jī)單體。聚合優(yōu)選地由UV光引發(fā)。使用這些檢測(cè)層允許以高精度，特別是空間分辨的高精度檢測(cè)與接觸氣體的接觸。
[0015]在本發(fā)明的另一方面中，呈現(xiàn)了一種用于檢測(cè)如權(quán)利要求1中所限定的電氣設(shè)備的保護(hù)元件的滲透性的檢測(cè)裝置，其中保護(hù)元件至少部分地覆蓋電氣設(shè)備的電氣單元并且被適配成保護(hù)電氣單元以防水和/或氧氣，其中檢測(cè)裝置包括用于測(cè)量電氣設(shè)備的檢測(cè)層的性質(zhì)中的改變的測(cè)量設(shè)備，如果檢測(cè)層與可用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的接觸氣體接觸，則生成所述性質(zhì)中的改變。測(cè)量設(shè)備優(yōu)選地被適配成光學(xué)檢測(cè)層的性質(zhì)中的改變。特別地，測(cè)量設(shè)備被適配成使用光學(xué)顯微鏡、光譜儀、反射測(cè)量、吸收測(cè)量和亮度測(cè)量或其組合的組中的一個(gè)，其中光學(xué)顯微鏡可以是近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡(SNOM)。
[0016]在本發(fā)明的另一方面中，呈現(xiàn)了一種用于生產(chǎn)如權(quán)利要求1中所限定的電氣設(shè)備的生產(chǎn)裝置，其中生產(chǎn)裝置包括:
-用于提供電氣單元的電氣單元提供單元，
-用于提供保護(hù)電氣單元以防水和/或氧氣的保護(hù)元件并且用于提供檢測(cè)層的保護(hù)元件和檢測(cè)層提供單元，其中檢測(cè)層包括有機(jī)材料并且被適配成如果檢測(cè)層與可用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的接觸氣體接觸則改變檢測(cè)層的性質(zhì)，其中保護(hù)元件和檢測(cè)層被提供成使得保護(hù)元件至少部分地覆蓋電氣單元并且檢測(cè)層布置在保護(hù)元件與電氣單元之間或保護(hù)元件內(nèi)。
[0017]在本發(fā)明的另一方面中，呈現(xiàn)了一種用于檢測(cè)如權(quán)利要求1中所限定的電氣設(shè)備的保護(hù)元件的滲透性的檢測(cè)方法，其中保護(hù)元件至少部分地覆蓋電氣設(shè)備的電氣單元并且被適配成保護(hù)電氣單元以防水和/或氧氣，檢測(cè)方法包括測(cè)量電氣設(shè)備的檢測(cè)層的性質(zhì)中的改變，如果檢測(cè)層與可用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的接觸氣體接觸，則生成所述性質(zhì)中的改變。
[0018]在本發(fā)明的另一方面中，呈現(xiàn)了一種用于生產(chǎn)如權(quán)利要求1中所限定的電氣設(shè)備的生產(chǎn)方法，其中生產(chǎn)方法包括:
-提供電氣單元，
-提供用于保護(hù)電氣單元以防水和/或氧氣的保護(hù)元件和檢測(cè)層，其中檢測(cè)層包括有機(jī)材料并且被適配成使得如果檢測(cè)層與可用于檢測(cè)保護(hù)元件的滲透性的接觸氣體接觸則檢測(cè)層的性質(zhì)改變，其中保護(hù)元件和檢測(cè)層被提供成使得保護(hù)元件至少部分地覆蓋電氣單元并且檢測(cè)層布置在保護(hù)元件與電氣單元之間或保護(hù)元件內(nèi)。
[0019]檢測(cè)層和/或保護(hù)層可以通過(guò)比如熱蒸發(fā)、濺射、旋涂、化學(xué)氣相沉積、原子層沉積或分子層沉積之類(lèi)的沉積技術(shù)來(lái)提供。
[0020]應(yīng)當(dāng)理解的是，權(quán)利要求1的電氣設(shè)備、權(quán)利要求11的檢測(cè)裝置、權(quán)利要求13的生產(chǎn)裝