中均具有若干第二感光區(qū)，第一環(huán)狀區(qū)域、第二環(huán)狀區(qū)域、第三環(huán)狀區(qū)域……、第N-1環(huán)狀區(qū)域、第N(N ^ 3)環(huán)狀區(qū)域中的至少2個相鄰的環(huán)狀區(qū)域上的至少2個相鄰的環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸相同，且靠近中間區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸小于遠離中間區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸，以兩個相鄰的環(huán)狀區(qū)域作為示例進行說明，即第M-1環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸與相鄰的第M(2 ^ M ^ N)環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸相同，且滿足第M-1環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)和第M (2彡M彡N)環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸大于第M-2環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸小于第M+1環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸。
[0049]每個環(huán)狀區(qū)域上的若干第二微透鏡的排布方式可以為呈矩形環(huán)狀排布、圓形環(huán)狀排布或不規(guī)則排布，或者也可以為其他的合適的排布方式。不同環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的排布方式可以相同或不同，一個環(huán)狀區(qū)域中的若干第二感光區(qū)的排布方式與該環(huán)狀區(qū)域上方的若干第二微透鏡的排布方式相同。
[0050]在一具體的實施例中，請參考圖3，以邊緣區(qū)域22包括三個環(huán)狀區(qū)域作為示例進行說明，邊緣區(qū)域22包括第一環(huán)狀區(qū)域31、第二環(huán)狀區(qū)域32和第三環(huán)狀區(qū)域33，第一環(huán)狀區(qū)域31環(huán)繞中間區(qū)域21，第二環(huán)狀區(qū)域32環(huán)繞第一環(huán)狀區(qū)域31，第三環(huán)狀區(qū)域33環(huán)繞第二環(huán)狀區(qū)域32，第一環(huán)狀區(qū)域31上具有若干第二微透鏡206a，第二環(huán)狀區(qū)域32上具有若干第二微透鏡206b，第三環(huán)狀區(qū)域上具有若干第二微透鏡206c，第一環(huán)狀區(qū)域31上的第二微透鏡206a的尺寸等于第二環(huán)狀區(qū)域32上第二微透鏡206b的尺寸，且第一環(huán)狀區(qū)域31上的第二微透鏡206a和第二環(huán)狀區(qū)域32上第二微透鏡206b的尺寸小于第三環(huán)狀區(qū)域13上的第二微透鏡206c的尺寸；相應(yīng)的，第一環(huán)狀區(qū)域31中具有若干第二感光區(qū)202a，第二環(huán)狀區(qū)域32中具有若干第二感光區(qū)202b，第三環(huán)狀區(qū)域33中具有若干第二感光區(qū)202c，第一環(huán)狀區(qū)域31中的第二感光區(qū)202a的尺寸等于第二環(huán)狀區(qū)域32中的第二感光區(qū)202b的尺寸，且第一環(huán)狀區(qū)域31中的第二感光區(qū)202a和第二環(huán)狀區(qū)域32中的第二感光區(qū)202b的尺寸小于第三環(huán)狀區(qū)域33中的第二感光區(qū)202c的尺寸。在其他實施例中，還可以為，第二環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸等于第三環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸，且第一環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸小于第二環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡和第三環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸，相應(yīng)的第二環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸等于第三環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸，且第一環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸小于第二環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)和第三環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸。
[0051]在又一實施例中，參考圖4，邊緣區(qū)域22的環(huán)狀區(qū)域的數(shù)量為I個，環(huán)狀區(qū)域中具有若干尺寸相同的第二微透鏡206，第二微透鏡206的尺寸小于中間區(qū)域21上的第一微透鏡205的尺寸，相應(yīng)的，所述環(huán)狀區(qū)域22中具有若干尺寸相同的第二感光區(qū)202，第二感光區(qū)202的尺寸小于中間區(qū)域21中的第一感光區(qū)201的尺寸，從而使得影像傳感器的邊緣區(qū)域22上的第二微透鏡206可以接收更多的入射光，使得邊緣區(qū)域22中的相應(yīng)的第二感光區(qū)202可以接受更多的入射光，從而改善或消除邊緣成像的失真和變形，提高影像傳感器成像的質(zhì)量。
[0052]所述第一感光區(qū)201和第二感光區(qū)202的尺寸包括長度和寬度，或者包括長度或?qū)挾?，或者包括面積。即當?shù)诙泄鈪^(qū)202的尺寸大于第一感光區(qū)201的尺寸表示:第二感光區(qū)202的長度和寬度均大于第一感光區(qū)201的長度和寬度；或者表示第二感光區(qū)202的長度大于第一感光區(qū)201的長度；或者表示為第二感光區(qū)202的寬度均大于第一感光區(qū)201的寬度；或者表示為第二感光區(qū)202的面積大于第一感光區(qū)201的面積。
[0053]所述第一微透鏡205和第二微透鏡206的尺寸包括直徑和高度，或者包括直徑或高度，或者包括體積。即當?shù)诙⑼哥R206的尺寸大于第一微透鏡205的尺寸表示:第二微透鏡206的直徑和高度均大于第一微透鏡205的直徑和高度；或者表示第二微透鏡206的直徑大于第一微透鏡205的直徑；或者表不為第二微透鏡206的高度均大于第一微透鏡205的高度；或者表不為第二微透鏡206的體積大于第一微透鏡205的體積。
[0054]所述第一微透鏡205和第二微透鏡206的材料的折射率可以為1.5?2.5。
[0055]在一實施例中，所述第一微透鏡205和第二微透鏡206的材料可以為氧化物或有機物，或者其他合適的材料。所述氧化物可以為氧化硅或氧化鋯，或者其他合適的材料。
[0056]雖然本發(fā)明披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當以權(quán)利要求所限定的范圍為準。
【主權(quán)項】
1.一種影像傳感器，其特征在于，包括: 半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底包括中間區(qū)域和環(huán)繞中間區(qū)域的邊緣區(qū)域，所述中間區(qū)域的半導(dǎo)體襯底中具有呈行列排布的若干第一感光區(qū)，所述邊緣區(qū)域的半導(dǎo)體襯底中具有若干第二感光區(qū)，且邊緣區(qū)域的第二感光區(qū)的尺寸大于中間區(qū)域的第一感光區(qū)的尺寸； 位于半導(dǎo)體襯底上的微透鏡，所述微透鏡包括位于半導(dǎo)體襯底中間區(qū)域上的若干第一微透鏡以及位于半導(dǎo)體襯底邊緣區(qū)域上的若干第二微透鏡，邊緣區(qū)域上的若干第二微透鏡環(huán)繞中間區(qū)域上的若干第一微透鏡，第一微透鏡位于相應(yīng)的第一感光區(qū)上方，第二微透鏡位于相應(yīng)的第二感光區(qū)上方，且半導(dǎo)體襯底邊緣區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸大于半導(dǎo)體襯底中間區(qū)域上的第一微透鏡的尺寸。
2.如權(quán)利要求1所述的影像傳感器，其特征在于，所述中間區(qū)域中的每一個第一感光區(qū)的尺寸相同，所述中間區(qū)域上的每一個第一微透鏡的尺寸相同。
3.如權(quán)利要求2所述的影像傳感器，其特征在于，所述邊緣區(qū)域包括環(huán)繞中間區(qū)域的若干環(huán)狀區(qū)域，每個環(huán)狀區(qū)域上具有尺寸相同的若干第二微透鏡，每個環(huán)狀區(qū)域中具有尺寸相同的若干第二感光區(qū)。
4.如權(quán)利要求3所述的影像傳感器，其特征在于，所述環(huán)狀區(qū)域數(shù)量為I個。
5.如權(quán)利要求3所述的影像傳感器，其特征在于，所述環(huán)狀區(qū)域數(shù)量多2個，從中間區(qū)域指向邊緣區(qū)域的方向，不同環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸逐漸增大。
6.如權(quán)利要求5所述的影像傳感器，其特征在于，從中間區(qū)域指向邊緣區(qū)域的方向，不同環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸逐漸增大。
7.如權(quán)利要求3所述的影像傳感器，其特征在于，所述環(huán)狀區(qū)域為多3個，且至少2個相鄰的環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸相同，并且靠近中間區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸小于遠離中間區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸。
8.如權(quán)利要求7所述的影像傳感器，其特征在于，至少2個相鄰的環(huán)狀區(qū)域中的第二感光區(qū)的尺寸相同，且靠近中間區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸小于遠離中間區(qū)域的環(huán)狀區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸。
9.如權(quán)利要求1所述的影像傳感器，其特征在于，所述第一微透鏡和第二微透鏡的尺寸包括直徑和高度，或者包括直徑或高度，或者包括體積。
10.如權(quán)利要求9所述的影像傳感器，其特征在于，所述第二微透鏡的尺寸大于第一微透鏡的尺寸包括:第二微透鏡的直徑大于第一微透鏡的直徑，且第二微透鏡的高度大于第一微透鏡的高度。
11.如權(quán)利要求1所述的影像傳感器，其特征在于，所述第二感光區(qū)的尺寸和第一感光區(qū)的尺寸包括長度和寬度，或者包括長度或?qū)挾龋蛘甙娣e。
【專利摘要】一種影像傳感器，包括：半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底包括中間區(qū)域和環(huán)繞中間區(qū)域的邊緣區(qū)域，所述中間區(qū)域的半導(dǎo)體襯底中具有呈行列排布的若干第一感光區(qū)，所述邊緣區(qū)域的半導(dǎo)體襯底中具有若干第二感光區(qū)，且邊緣區(qū)域的第二感光區(qū)的尺寸大于中間區(qū)域的第一感光區(qū)的尺寸；位于半導(dǎo)體襯底上的微透鏡，所述微透鏡包括位于半導(dǎo)體襯底中間區(qū)域上的若干第一微透鏡以及位于半導(dǎo)體襯底邊緣區(qū)域上的若干第二微透鏡，第一微透鏡位于相應(yīng)的第一感光區(qū)上方，第二微透鏡位于相應(yīng)的第二感光區(qū)上方，且半導(dǎo)體襯底邊緣區(qū)域上的第二微透鏡的尺寸大于半導(dǎo)體襯底中間區(qū)域上的第一微透鏡的尺寸。本發(fā)明的影像傳感器改善了邊緣區(qū)域的成像質(zhì)量。
【IPC分類】H01L27-146
【公開號】CN104810379
【申請?zhí)枴緾N201510223707
【發(fā)明人】王之奇, 喻瓊, 王蔚
【申請人】蘇州晶方半導(dǎo)體科技股份有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年5月5日