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Pn結(jié)制作方法及太陽(yáng)能電池片的制作方法_3

文檔序號(hào):8441433閱讀:來源:國(guó)知局
磯步驟,其中=氯氧磯的通入量為200sccm,通入時(shí)間為lOmin。 預(yù)滲磯步驟之后對(duì)娃片表面進(jìn)行滲磯步驟,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,向娃片表面通入氧 氣和S氯氧磯,其中氧氣的通入量是1000sccm,S氯氧磯的通入量是lOOOsccm,通入時(shí)間 為5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[006引實(shí)施例9
[0064] 將制絨后的娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至80(TC,向娃片表面通入S氯 氧磯對(duì)娃片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為SOOsccm,通入時(shí)間為2min。預(yù) 滲磯步驟之后對(duì)娃片表面進(jìn)行滲磯步驟,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,向娃片表面通入氧氣 和S氯氧磯,其中氧氣的通入量是1000sccm,S氯氧磯的通入量是lOOOsccm,通入時(shí)間為 5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[00財(cái)實(shí)施例10
[0066] 將制絨后的娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯 氧磯對(duì)娃片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù) 滲磯步驟之后對(duì)娃片表面進(jìn)行滲磯步驟,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,向娃片表面通入氧氣 和S氯氧磯,其中氧氣的通入量是1000sccm,S氯氧磯的通入量是lOOOsccm,通入時(shí)間為 5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[0067] 實(shí)施例11
[0068] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為4min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至85(TC,對(duì)娃 片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為1000sccm,S氯氧磯的通 入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[006引實(shí)施例12
[0070] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為5min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì)娃 片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為1000sccm,S氯氧磯的通 入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[00川 實(shí)施例13
[0072] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為18min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[007引 實(shí)施例14
[0074] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[00巧]實(shí)施例15
[0076] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,最后再對(duì)對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為2min。 之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[0077] 實(shí)施例16
[0078] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至85(TC,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,最后再對(duì)對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為3min。 之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[007引 實(shí)施例17
[0080] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,最后再對(duì)對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為2min。 之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[00引]實(shí)施例18
[0082] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,最后再對(duì)對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為8min。 之后從擴(kuò)散管中取出娃片得到PN結(jié)。
[008引實(shí)施例19
[0084] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至85(TC,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,接著對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為8min,最后 在第二次推進(jìn)之后再對(duì)娃片表面進(jìn)行一次補(bǔ)滲磯步驟,補(bǔ)滲磯的溫度為7〇〇°C,通入的=氯 氧磯的流量為150sccm,氧氣的流量為450sccm,通入時(shí)間為20min,之后從擴(kuò)散管中取出娃 片得到PN結(jié)。
[00財(cái) 實(shí)施例20
[0086] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,接著對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為8min,最后 在第二次推進(jìn)之后再對(duì)娃片表面進(jìn)行一次補(bǔ)滲磯步驟,補(bǔ)滲磯的溫度為750°C,通入的=氯 氧磯的流量為ISOOsccm,氧氣的流量為2000sccm,通入時(shí)間為5min,之后從擴(kuò)散管中取出 娃片得到PN結(jié)。
[0087] 實(shí)施例21
[0088]將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至85(TC,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,接著對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為8min,最后 在第二次推進(jìn)之后再對(duì)娃片表面進(jìn)行一次補(bǔ)滲磯步驟,補(bǔ)滲磯的溫度為810°C,通入的=氯 氧磯的流量為200sccm,氧氣的流量為500sccm,通入時(shí)間為15min,之后從擴(kuò)散管中取出娃 片得到PN結(jié)。
[008引 實(shí)施例22
[0090] 將娃片送入擴(kuò)散管中,將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至750°C,向娃片表面通入S氯氧磯對(duì)娃 片表面進(jìn)行預(yù)滲磯步驟,其中S氯氧磯的通入量為500sccm,通入時(shí)間為5min。預(yù)滲磯步驟 之后對(duì)娃片表面進(jìn)行第一次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為12min,然后將擴(kuò)散管的溫度調(diào)至850°C,對(duì) 娃片表面通入氧氣和S氯氧磯進(jìn)行滲磯步驟,其中氧氣的通入量為lOOOsccm,S氯氧磯的 通入量為lOOOsccm,通入時(shí)間為5min,接著對(duì)娃片進(jìn)行第二次推進(jìn),推進(jìn)時(shí)間為8min,最后 在第二次推進(jìn)之后再對(duì)娃片表面進(jìn)行一次補(bǔ)滲磯步
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