械手指21動(dòng)作的方式求出作為驅(qū)動(dòng)源的各驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的旋 轉(zhuǎn)角度的補(bǔ)償量。接收了關(guān)于該已補(bǔ)償?shù)母黩?qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)角度的數(shù)據(jù)的機(jī)器人控制部 35按照已補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)，使真空運(yùn)送機(jī)器人15動(dòng)作。
[0116] W上為第1補(bǔ)償量計(jì)算方法的說明。在該里，作為應(yīng)注意的事宜是，為了進(jìn)行形成 于半導(dǎo)體晶圓5上的槽、主定位邊的定位而形成的缺口部分的存在。如前面所述，接納于 F0UP4中且從前一步驟而運(yùn)送來的半導(dǎo)體晶圓5通過設(shè)置于EFEM2中的對(duì)準(zhǔn)器10,進(jìn)行 槽、主定位邊的對(duì)位處理。該槽、主定位邊的對(duì)位處理按照全部的半導(dǎo)體晶圓5的槽或主定 位邊朝向相同方向的方式進(jìn)行。由于該情況，攝像機(jī)24可按照視野28設(shè)定于不存在半導(dǎo) 體晶圓5的槽、主定位邊的位置的方式設(shè)置?；蛘撸捎诩词乖诓鄞嬖谟谝曇?8的內(nèi)部的 情況下，仍可從攝像機(jī)24的圖像，抽取槽，故在確定邊緣上的地點(diǎn)時(shí)，可確定為不存在主定 位邊的位置。
[0117](第2錯(cuò)位量檢測(cè)方法）
[0118] 在前述的第1方法中，采用位于基準(zhǔn)位置的半導(dǎo)體晶圓5(基準(zhǔn)圓36)的頂點(diǎn)C的 Y坐標(biāo)Y3,與實(shí)際上搭載于生產(chǎn)線上而運(yùn)送的半導(dǎo)體晶圓5 (計(jì)量圓37)的頂點(diǎn)H的Y坐標(biāo) Y6,計(jì)算各中方點(diǎn)01、02的X坐標(biāo)a、c。接著，對(duì)不采用各頂點(diǎn)C、H的Y坐標(biāo)而計(jì)算中方點(diǎn) 01、02的X坐標(biāo)a、c的方法進(jìn)行說明。附圖采用在第1補(bǔ)償量計(jì)算方法中所采用的圖8、圖 9。
[0119] 首先，如果將針對(duì)前述的基準(zhǔn)圓36的式（5)整理為計(jì)算中屯、點(diǎn)01的Y坐標(biāo)b的 計(jì)算式，則得到下述的式（13)。
[0120] b= (-2 狂 1-X2)a巧 12-X22巧i2-Y巧/2(Y1-Y2) ......(13)
[0121] 另外，如果將針對(duì)前述的計(jì)量圓37的式（11)整理為計(jì)算中方點(diǎn)02的Y坐標(biāo)d的 計(jì)算式，則得到下述的式（14)。
[0122] d= {-2 狂 1-X2)c巧 12-X22巧42-Y52}/2(Y4-Y5) ......(14)
[0123] 在該里，將式（13)代入式（1)中，在展開的場(chǎng)合，得到下述的式（15):
[0124](數(shù)學(xué)公式1)
[012引 b= (-2 狂 1-X2)a巧 12-X22巧i2-Y巧/2(Y1-Y2) ......(13)
[0126] 在該里，為了簡(jiǎn)化公式，則得到b = A?a+B。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種位置檢測(cè)裝置，該位置檢測(cè)裝置檢測(cè)保持于支承部件上的圓盤狀襯底的位置， 該支承部件能沿規(guī)定的軌道上而移動(dòng)，其特征在于， 該位置檢測(cè)裝置包括： 1臺(tái)攝像機(jī)，該攝像機(jī)在保持上述圓盤狀襯底的支承部件位于規(guī)定的監(jiān)視位置時(shí)，對(duì)圓 盤狀襯底的周緣部進(jìn)行攝像； 邊緣抽取部，該邊緣抽取部從通過上述攝像機(jī)拍攝的上述圓盤狀襯底的周緣部的攝像 數(shù)據(jù)中，抽取上述圓盤狀襯底的邊緣； 坐標(biāo)檢測(cè)部，該坐標(biāo)檢測(cè)部根據(jù)通過上述邊緣抽取部抽取的邊緣數(shù)據(jù)，檢測(cè)上述圓盤 狀襯底的中心位置坐標(biāo)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，上述攝像機(jī)僅僅對(duì)上述圓盤狀 襯底的一部分進(jìn)行攝像。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)部根據(jù)上述邊 緣數(shù)據(jù)上的兩個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和上述圓盤狀襯底的半徑，檢測(cè)上述圓盤狀物的中心位置坐標(biāo)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)部根據(jù)上述邊緣 數(shù)據(jù)上的兩個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和上述圓盤狀襯底的上述半徑，制作分別以上述半徑為一邊的兩個(gè) 直角等腰三角形，根據(jù)勾股定理，檢測(cè)上述圓盤狀襯底的上述中心位置坐標(biāo)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)部根據(jù)上述邊 緣數(shù)據(jù)上的3個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)，檢測(cè)上述圓盤狀物的上述中心位置坐標(biāo)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)部根據(jù)上述邊緣 數(shù)據(jù)上的3個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和上述圓盤狀襯底的上述半徑，制作分別以上述半徑為一邊的3個(gè) 直角等腰三角形，根據(jù)勾股定理，計(jì)算上述圓盤狀襯底的上述中心位置坐標(biāo)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于，其還包括補(bǔ)償量計(jì)算部，該 補(bǔ)償量計(jì)算部計(jì)算下述中心位置坐標(biāo)之間的X軸方向和Y軸方向的偏移量，以計(jì)算上述支 承部件的補(bǔ)償量，該中心位置坐標(biāo)分別為：保持于上述支承部件的基準(zhǔn)位置的上述圓盤狀 襯底的上述中心位置坐標(biāo)；在制造步驟中運(yùn)送的產(chǎn)生錯(cuò)位的上述圓盤狀襯底的上述中心位 置坐標(biāo)。
8. -種位置檢測(cè)方法，該方法檢測(cè)保持于能沿規(guī)定的軌道上而移動(dòng)的支承部件上的圓 盤狀襯底的位置，該位置檢測(cè)方法由下述步驟構(gòu)成，該步驟包括： 攝像步驟，在該步驟中，在保持上述圓盤狀襯底的上述支承部件位于規(guī)定的監(jiān)視位置 時(shí)，通過1臺(tái)攝像機(jī)，對(duì)圓盤狀襯底的周緣部進(jìn)行攝像； 邊緣抽取步驟，在該步驟中，從通過上述攝像機(jī)拍攝的上述圓盤狀襯底的周緣部的攝 像數(shù)據(jù)中，抽取上述圓盤狀襯底的邊緣； 坐標(biāo)檢測(cè)步驟，在該步驟中，根據(jù)通過上述邊緣抽取步驟抽取的邊緣數(shù)據(jù)，檢測(cè)上述圓 盤狀襯底的中心位置坐標(biāo)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，上述攝像步驟僅僅對(duì)上述圓盤 狀襯底的一部分進(jìn)行攝像。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)步驟根據(jù)上 述邊緣數(shù)據(jù)上的兩個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和上述圓盤狀襯底的半徑，檢測(cè)上述圓盤狀物的中心位置坐 標(biāo)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)步驟根據(jù)上述 邊緣數(shù)據(jù)上的兩個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和上述圓盤狀襯底的上述半徑，制作分別以上述半徑為一邊的 兩個(gè)直角等腰三角形，根據(jù)勾股定理，計(jì)算上述圓盤狀襯底的上述中心位置坐標(biāo)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)步驟根據(jù)上 述邊緣數(shù)據(jù)上的3個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)，檢測(cè)上述圓盤狀物的上述中心位置坐標(biāo)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，上述坐標(biāo)檢測(cè)步驟根據(jù)上述 邊緣數(shù)據(jù)上的3個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和上述圓盤狀襯底的上述半徑，制作分別以上述半徑為一邊的 3個(gè)直角等腰三角形，根據(jù)勾股定理，計(jì)算上述圓盤狀襯底的上述中心位置坐標(biāo)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8~13所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于，其還包括補(bǔ)償量計(jì)算部， 該補(bǔ)償量計(jì)算部計(jì)算下述中心位置坐標(biāo)之間的X軸方向和Y軸方向的偏移量，以計(jì)算上述 支承部件的補(bǔ)償量，該中心位置坐標(biāo)分別為：保持于上述支承部件的基準(zhǔn)位置的上述圓盤 狀襯底的上述中心位置坐標(biāo)；在制造步驟中運(yùn)送的產(chǎn)生錯(cuò)位的上述圓盤狀襯底的上述中心 位置坐標(biāo)。
15. -種位置檢測(cè)裝置，該位置檢測(cè)裝置檢測(cè)保持于支承部件上的圓盤狀襯底的位置， 該支承部件能沿規(guī)定的軌道上而移動(dòng)，其特征在于， 該位置檢測(cè)裝置包括： 攝像機(jī)，在單元設(shè)置于正交的XY軸坐標(biāo)系中，在保持上述圓盤狀襯底的上述支承部件 位于規(guī)定的監(jiān)視位置時(shí)，該攝像機(jī)按照下述方式，對(duì)上述圓盤狀襯底的周緣部進(jìn)行攝像，該 方式為：直線（U)和上述圓盤狀襯底的邊緣交叉的交點(diǎn)（C)進(jìn)入視野，該直線（U)通過上述 圓盤狀襯底的中心，為與Y軸平行的直線； 邊緣抽取部，該邊緣抽取部從通過上述攝像機(jī)拍攝的上述圓盤狀襯底的周緣部的攝像 數(shù)據(jù)中，抽取上述交點(diǎn)（C)的Y軸坐標(biāo)值，抽取下述地點(diǎn)的XY軸坐標(biāo)，該地點(diǎn)位于在上述視 野的范圍內(nèi)拍攝的上述圓盤狀襯底的邊緣上，與上述交點(diǎn)（C)離開的任意位置； 坐標(biāo)檢測(cè)部，該坐標(biāo)檢測(cè)部根據(jù)通過上述邊緣抽取部抽取的交點(diǎn)（C)的Y軸坐標(biāo)值和 位于任意位置的地點(diǎn)的XY軸坐標(biāo)，檢測(cè)上述圓盤狀襯底的中心位置坐標(biāo)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種位置檢測(cè)裝置，其根據(jù)通過1臺(tái)攝像機(jī)拍攝的圖像數(shù)據(jù)，正確地檢測(cè)圓盤狀襯底的中心位置坐標(biāo)，計(jì)算于處理過程中運(yùn)送的圓盤狀襯底在支承部件上的錯(cuò)位量，按照可裝載于正確的裝載位置的方式進(jìn)行位置補(bǔ)償。根據(jù)從圖像數(shù)據(jù)中抽取的邊緣數(shù)據(jù)上的兩個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)和圓盤狀襯底的半徑，或根據(jù)邊緣數(shù)據(jù)上的3個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)，制作分別以半徑為一邊的直角等腰三角形，根據(jù)勾股定理，檢測(cè)圓盤狀襯底的中心位置坐標(biāo)。
【IPC分類】H01L21-68, G01B11-00, B65G49-07
【公開號(hào)】CN104756243
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380056420
【發(fā)明人】藤本敬司, 山本康晴
【申請(qǐng)人】日商樂華股份有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請(qǐng)日】2013年10月23日
【公告號(hào)】WO2014069291A1