的上述半徑，制作分別W上述半徑為一邊的3個(gè)直角等腰S角形，根據(jù)勾股定理，計(jì)算上 述圓盤狀襯底的上述中屯、位置坐標(biāo)。
[003引此外，位置檢測方法還可包括補(bǔ)償量計(jì)算步驟，該補(bǔ)償量計(jì)算步驟中，計(jì)算下述中 屯、位置坐標(biāo)之間的X軸方向和Y軸方向的偏移量，W計(jì)算上述支承部件的補(bǔ)償量，該中屯、位 置坐標(biāo)分別為；保持于上述支承部件的基準(zhǔn)位置的上述圓盤狀襯底的上述中屯、位置坐標(biāo)； 在制造步驟中運(yùn)送的產(chǎn)生錯(cuò)位的上述圓盤狀襯底的上述中屯、位置坐標(biāo)，由此，可計(jì)算運(yùn)送 機(jī)器人的補(bǔ)償量。
[0039] 還有，本發(fā)明的位置檢測裝置檢測保持于支承部件上的圓盤狀襯底的位置，該支 承部件可沿規(guī)定的軌道上而移動(dòng)，其特征在于，
[0040] 該位置檢測裝置包括：
[004U 攝像機(jī)，其中，在單元（cell)設(shè)置于正交的XY軸坐標(biāo)系中，在保持上述圓盤狀襯 底的上述支承部件位于規(guī)定的監(jiān)視位置時(shí)，該攝像機(jī)按照下述方式，對圓盤狀襯底的周緣 部進(jìn)行攝像，該方式為；直線扣）和上述圓盤狀襯底的邊緣交叉的交點(diǎn)（C)進(jìn)入視野，該直 線扣）通過上述圓盤狀襯底的中屯、，為與Y軸平行的直線；
[0042] 邊緣抽取部，該邊緣抽取部從通過上述攝像機(jī)拍攝的上述圓盤狀襯底的周緣部的 攝像數(shù)據(jù)中，抽取上述交點(diǎn)（C)的Y軸坐標(biāo)值，抽取下述地點(diǎn)的XY軸坐標(biāo)，該地點(diǎn)位于在上 述視野的范圍內(nèi)拍攝的上述圓盤狀襯底的邊緣上，與上述交點(diǎn)（C)離開的任意位置；
[0043] 坐標(biāo)檢測部，該坐標(biāo)檢測部根據(jù)通過上述邊緣抽取部而抽取的交點(diǎn)（C)的Y軸坐 標(biāo)值和位于任意位置的地點(diǎn)的XY軸坐標(biāo)，檢測上述圓盤狀襯底的中屯、位置坐標(biāo)。
[0044] 發(fā)明的效果
[0045] 按照本發(fā)明，可通過借助1臺(tái)攝像機(jī)，W對圓盤狀襯底進(jìn)行攝像的方式，檢測該圓 盤狀襯底的中屯、位置坐標(biāo)。另外，由于可通過對圓盤狀襯底的周緣部的一部分進(jìn)行攝像，檢 測中屯、位置坐標(biāo)，故可增加單位面積的單元（cell)的數(shù)量，該樣可進(jìn)行更加正確的位置坐 標(biāo)的檢測。另外，由于即使通過分辨率較低的攝像機(jī)，仍獲得高的檢測精度，故高分辨率的 攝像機(jī)是不需要的，還有助于成本的削減。
【附圖說明】
[0046]圖1為表示具有本發(fā)明的位置檢測裝置的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的立體圖；
[0047] 圖2為表示具有本發(fā)明的位置檢測裝置的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的俯視圖；
[0048] 圖3為表示本實(shí)施例的運(yùn)送室16和真空運(yùn)送機(jī)器人的俯視圖；
[0049] 圖4為表示作為本實(shí)施例的支承部件的機(jī)械手指的圖；
[0050] 圖5為本實(shí)施例的半導(dǎo)體晶圓的位置檢測的說明圖；
[0051] 圖6為表示本發(fā)明的位置檢測裝置的結(jié)構(gòu)的方框圖；
[0052] 圖7為表示本實(shí)施例的攝像機(jī)拍攝的半導(dǎo)體晶圓的頂點(diǎn)附近的圖；
[0053] 圖8為表示本發(fā)明的第1和第2錯(cuò)位量檢測方法的基本內(nèi)容的圖；
[0054] 圖9為表示本發(fā)明的第1和第2錯(cuò)位量檢測方法的基本內(nèi)容的圖；
[0化5] 圖10為表示本發(fā)明的第3錯(cuò)位量檢測方法的基本內(nèi)容的圖；
[0056]圖11為表示本發(fā)明的第3錯(cuò)位量檢測方法的基本內(nèi)容的圖；
[0化7] 圖12為表示本發(fā)明的第4錯(cuò)位量檢測方法的基本內(nèi)容的圖；
[005引 圖13為表示添加照明裝置42的位置檢測裝置29的圖；
[0化9]圖14為表示已拍攝的晶圓標(biāo)記43和對準(zhǔn)標(biāo)記44的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0060] 下面參照附圖，對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行具體說明。圖1為表示具有本發(fā)明的位 置檢測裝置29的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)1的外觀結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2為其頂視圖。一般，半導(dǎo)體 制造系統(tǒng)1由設(shè)備前端模塊巧陽M-Equipment化ont化dMo化le)2與處理裝置3構(gòu)成，該 EFEM2將從前一步驟，接納于稱為前開口統(tǒng)一艙（FOUP-Front-Opening化ified化d)4 的密閉容器內(nèi)部的貨架層上而運(yùn)送的半導(dǎo)體晶圓5的圓盤狀襯底正確地裝載于加載鎖定 室6,該處理裝置3對半導(dǎo)體晶圓5的表面，進(jìn)行各種處理。
[0061] EFEM2為在FOUP4和處理裝置3之間，進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓5的轉(zhuǎn)交的裝置，其由加 載口 7、大氣運(yùn)送機(jī)器人9、與稱為對準(zhǔn)器10的裝置構(gòu)成，該加載口 7裝載F0UP4,使F0UP 4的口開閉，該大氣運(yùn)送機(jī)器人9通過機(jī)械手指8而保持接納于F0UP4的內(nèi)部的半導(dǎo)體晶 圓5,將該晶圓5通過規(guī)定的通路，運(yùn)送給處理裝置3,該對準(zhǔn)器10識(shí)別半導(dǎo)體晶圓5的中 屯、位置的對準(zhǔn)和形成于半導(dǎo)體晶圓5上的槽、主定位邊，進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓5的旋轉(zhuǎn)方向的對 位。對準(zhǔn)器10包括線傳感器和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該線傳感器檢測半導(dǎo)體晶圓5的周緣部分，該旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保持半導(dǎo)體晶圓5,調(diào)整其旋轉(zhuǎn)角度，進(jìn)行形成于半導(dǎo)體晶圓5的周緣上的槽、主定 位邊的旋轉(zhuǎn)方向的定位，將半導(dǎo)體晶圓5的中屯、位置對準(zhǔn)于適合的位置。
[0062] 大氣運(yùn)送機(jī)器人9包括運(yùn)送臂11，該運(yùn)送臂11具有保持半導(dǎo)體晶圓5的機(jī)械手 指8,并且按照進(jìn)行伸屈、旋轉(zhuǎn)和升降動(dòng)作的方式構(gòu)成，可在F0UP4和對準(zhǔn)器10與處理裝 置3之間，進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓5的轉(zhuǎn)交。該加載口 7、對準(zhǔn)器10和大氣運(yùn)送機(jī)器人9的各軸的 動(dòng)作通過設(shè)置于EFEM2內(nèi)部的控制部12而控制。控制部12預(yù)先存儲(chǔ)大氣運(yùn)送機(jī)器人9 訪問時(shí)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)、通路數(shù)據(jù)等，將動(dòng)作命令輸出給大氣運(yùn)送機(jī)器人9的各動(dòng)作軸。另外， 控制部12根據(jù)對準(zhǔn)器10的線傳感器檢測到的半導(dǎo)體晶圓5的周緣的數(shù)據(jù)，對半導(dǎo)體晶圓 5的槽位置和中屯、位置進(jìn)行運(yùn)算，按照槽位置為規(guī)定的方向的方式使半導(dǎo)體晶圓5定向，按 照中屯、位置對準(zhǔn)于適合的位置的方式對對準(zhǔn)器10發(fā)出指示。
[0063] 另外，大氣運(yùn)送機(jī)器人9保持而運(yùn)送半導(dǎo)體晶圓5的空間的四方通過由支架和外 罩構(gòu)成的分隔部13而覆蓋，在分隔部13的頂板部分，設(shè)置風(fēng)扇過濾單元（FFU-FunFilter 化it) 14。由于FFU14借助風(fēng)扇而將從外部導(dǎo)入的空氣通過過濾器過濾、作為清潔的向下 的層流而供給到EFEM2的內(nèi)部，故通過從該F即14而供給的清潔空氣的下游，EFEM2內(nèi) 部平時(shí)維持在清潔的環(huán)境中。
[0064] 在處理裝置3中，設(shè)有；設(shè)置真空運(yùn)送機(jī)器人15的運(yùn)送室16;設(shè)置于運(yùn)送室16的 周圍，對半導(dǎo)體晶圓5,進(jìn)行各種處理的處理室17 ;用于相對外部的半導(dǎo)體晶圓5的送入、送 出的裝載鎖定室6 ;將運(yùn)送室16和裝載鎖定室6和處理室17維持在真空環(huán)境或低氧氣氛 的在圖中沒有示出的環(huán)境維持機(jī)構(gòu)。在運(yùn)送室16和處理室17之間，W及在運(yùn)送室16和各 裝載鎖定室6之間，分別設(shè)置可開閉的口閥18,可W氣密方式將各室密封。另外，通過使該 些口閥18進(jìn)行打開動(dòng)作，各室之間連通。另外，關(guān)于口閥18,具有下述的限制，即，為了確 保各室的真空環(huán)境或低氧氣氛，無法同時(shí)地打開兩個(gè)W上的口閥18。目P，在打開某口閥18 時(shí)，必須要求另一口閥18處于完全關(guān)閉的狀態(tài)，如果該打開的口閥18沒有處于完全關(guān)閉的 狀態(tài)，則無法打開另一口閥18。
[00化]在本實(shí)施例的處理裝置3中，運(yùn)送室16為頂面看呈五邊形的形狀，在運(yùn)送室16的 中間部分，設(shè)置真空運(yùn)送機(jī)器人15。真空運(yùn)送機(jī)器人15比如，像圖3所示的那樣，為所謂的 蛙腿臂府og-leg-arm, 7 口ッ少kッ少）機(jī)器人，其中，包括；相同長度的兩個(gè)第1臂19 ; 第2臂20,該第2臂20的基端W可旋轉(zhuǎn)的方式與相應(yīng)的第1臂19的前端部連接；機(jī)械手 指21，該機(jī)械手指21將半導(dǎo)體晶圓5支承于相應(yīng)的第2臂20的前端。兩個(gè)第1臂19的基 端部在呈同軸狀，可回轉(zhuǎn)地疊擺的狀態(tài)安裝于運(yùn)送室16的中間部，各第1臂19分別經(jīng)由皮 帶和滑輪，與作為驅(qū)動(dòng)源的在圖中沒有示出的電動(dòng)機(jī)連接。通過該結(jié)構(gòu)，真空運(yùn)送機(jī)器人15 通過相應(yīng)的電動(dòng)機(jī)于相反的方向的旋轉(zhuǎn)，可將作為半導(dǎo)體晶圓5的支承部件的機(jī)械手指21 W回轉(zhuǎn)軸為中屯、而呈福射狀，并且直線地進(jìn)退移動(dòng)。另外，電動(dòng)機(jī)于相同方向旋轉(zhuǎn)，由此，可 使真空運(yùn)送機(jī)器人15進(jìn)行回轉(zhuǎn)動(dòng)作。此外，形成下述的結(jié)構(gòu)，其中，作為驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)采 用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)、伺服電動(dòng)機(jī)的可控制旋轉(zhuǎn)角度的類型，由此，可使機(jī)械手指21反復(fù)移動(dòng)到 預(yù)先給出的位置。
[0066] 控制真空運(yùn)送機(jī)器人15的動(dòng)作的機(jī)器人控制部35包括教導(dǎo)信息存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)40,在 該教導(dǎo)信息存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)40的內(nèi)部，存儲(chǔ)與真空運(yùn)送機(jī)器人15有關(guān)的預(yù)先教導(dǎo)的運(yùn)送位置數(shù) 據(jù)、動(dòng)作速度數(shù)據(jù)等，通過來自上述計(jì)算機(jī)的動(dòng)作指令，按照真空運(yùn)送機(jī)器人15進(jìn)行教導(dǎo) 位置的訪問的方式發(fā)出控制指令。
[0067] 為了防止...