線圈元件的制造方法【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種線圈元件的制造方法，尤其涉及一種使用能以有機(jī)溶劑溶解的樹脂模具來制造線圈(COil)元件的方法?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]近年來，伴隨智能電話(smartphone)或平板(tablet)終端等移動(dòng)(mobile)設(shè)備的多功能化，小型且能夠處理高額定電流的線圈零件(電感器(inductor))的必要性提高。[0003]作為此種線圈零件的制造方法，已知有使用轉(zhuǎn)印用金屬模具的方法，該方法是使用在表面刻印有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案(pattern)的金屬模具，通過電鍍而在該金屬模具內(nèi)形成線圈元件之后，從該金屬模具剝離線圈元件并轉(zhuǎn)印至零件基板。[0004]作為不使用金屬模具的方法，已知有下述方法，即:在基板上形成鍍敷抗蝕劑(resist)圖案后，通過電鍍形成線圈元件圖案，去除鍍敷抗蝕劑圖案后，轉(zhuǎn)印至片材(sheet)狀磁性體層上。[0005]由于所述方法均是通過轉(zhuǎn)印來形成線圈元件，因此存在下述問題，S卩，容易產(chǎn)生伴隨線圈元件的剝離/轉(zhuǎn)印引起的導(dǎo)體圖案的顛倒或脫落。[0006]另一方面，在專利文獻(xiàn)I中也公開了不使用金屬模具而使用樹脂模具的方法。該方法不轉(zhuǎn)印而是直接使用形成在該樹脂模具內(nèi)的線圈元件。[0007]而且，在專利文獻(xiàn)2中公開了:在金屬基板上形成線圈導(dǎo)電體后，剝離該金屬板，由此來制造線圈導(dǎo)體，所述線圈導(dǎo)電體包含埋設(shè)在感光性絕緣樹脂部?jī)?nèi)的導(dǎo)電體主部與導(dǎo)電體蓋部。[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)[0009]專利文獻(xiàn)[0010]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2005-191408號(hào)公報(bào)[0011]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2006-332147號(hào)公報(bào)【
發(fā)明內(nèi)容】[0012][發(fā)明所要解決的問題][0013]所述專利文獻(xiàn)1、2中公開的線圈零件的制造方法均未伴隨線圈元件圖案的剝離/轉(zhuǎn)印，因此不會(huì)產(chǎn)生導(dǎo)體圖案的顛倒或脫落的問題。[0014]但是，專利文獻(xiàn)I所公開的方法中，在線圈零件形成后直接使用樹脂模具，因此單個(gè)線圈零件的厚度變厚，尤其在制作層疊的線圈零件的情況下，有零件體積變大的問題。[0015]而且，專利文獻(xiàn)2所公開的方法中，由于要在絕緣性樹脂部的內(nèi)層部形成埋設(shè)于感光性絕緣部中的導(dǎo)電體主部，因此仍存在單個(gè)線圈零件的厚度變厚的問題。[0016]本發(fā)明是為了解決所述問題而完成，其目的在于提供一種線圈元件的制造方法，其使用樹脂模具，無須伴隨剝離/轉(zhuǎn)印便能夠制作線圈元件，且能夠使線圈元件的厚度較薄。[0017][解決問題的技術(shù)手段][0018]所述問題可通過以下的本發(fā)明而達(dá)成。[0019]本發(fā)明的第I方案涉及使用能以有機(jī)溶劑溶解的樹脂模具來制造線圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步驟:準(zhǔn)備樹脂模具，所述樹脂模具在表面刻印有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案；在所述樹脂模具的表面形成金屬種子(seed)膜；去除未形成有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域的所述金屬種子膜；將所述金屬種子膜作為基底，通過第I電鍍形成中心導(dǎo)體膜，所述中心導(dǎo)體膜填埋刻印有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域；以及使所述樹脂模具溶解而取出所述中心導(dǎo)體膜。[0020]本發(fā)明的第2方案涉及使用能以有機(jī)溶劑溶解的樹脂模具來制造線圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步驟:準(zhǔn)備樹脂模具，所述樹脂模具在表面刻印有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案；在所述樹脂模具的表面形成金屬種子膜；在未形成有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域形成絕緣膜；將所述金屬種子膜作為基底，通過第I電鍍，以填埋刻印有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域且停留于所述絕緣膜內(nèi)的方式而形成中心導(dǎo)體膜；去除所述絕緣膜；使所述樹脂模具溶解，取出所述中心導(dǎo)體膜與所述金屬種子膜；以及去除所述金屬種子膜。[0021]本發(fā)明的第3方案涉及使用能以有機(jī)溶劑溶解的樹脂模具來制造線圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步驟:在金屬基板上準(zhǔn)備樹脂模具，所述樹脂模具在表面，以反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的底面不會(huì)到達(dá)所述金屬基板的深度而刻印有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案；進(jìn)行蝕刻而去除所述底面下的樹脂，直至所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的所述底面到達(dá)所述金屬基板為止；將所述金屬基板作為基底，通過第I電鍍，以填埋刻印有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域且停留于所述樹脂模具內(nèi)的方式而形成中心導(dǎo)體膜；使所述樹脂模具溶解；以及從所述金屬基板剝離所述中心導(dǎo)體膜。[0022]本發(fā)明的第4方案涉及使用能以有機(jī)溶劑溶解的樹脂模具來制造線圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步驟:準(zhǔn)備第2模具，所述第2模具是將刻印有線圈元件圖案的第I模具密接載置于金屬基板上；向所述第2模具內(nèi)注入樹脂，使所述樹脂填充至所述第I模具內(nèi)并使所述樹脂固化；去除所述第I模具，制作形成有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的樹脂模具；將所述金屬基板作為基底，通過第I電鍍，以填埋形成有所述反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域的方式而形成中心導(dǎo)體膜；使所述樹脂模具溶解；以及從所述金屬模具剝離所述中心導(dǎo)體膜。[0023]根據(jù)本發(fā)明的第I方案至第4方案中的任一方案，其特征在于還包括如下步驟:將取出的所述中心導(dǎo)體膜作為基底，通過第2電鍍而形成包覆所述中心導(dǎo)體膜的表面導(dǎo)體膜，形成包含所述中心導(dǎo)體膜與所述表面導(dǎo)體膜的線圈元件。[0024]根據(jù)本發(fā)明的第I方案至第3方案中的任一方案，其特征在于，通過壓印(imprint)或熱壓制(press)來制作所述表面刻印有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的樹脂模具。[0025]而且，根據(jù)本發(fā)明的第I方案或第2方案，其特征在于，所述樹脂模具是由熱塑性樹脂所制作，所述熱塑性樹脂是聚甲基丙稀酸甲醋(PolymethylMethacrylate，PMMA)、聚碳酸醋(Polycarbonate，PC)或環(huán)稀徑聚合物(CycloolefinPolymer,COP)中的任一種。[0026]根據(jù)本發(fā)明的第I方案或第2方案，其特征在于，所述金屬種子膜包含Cu、N1、Sn或Al中的任一種，所述金屬種子膜是通過蒸鍍、派鍍(sputter)或化學(xué)氣相沉積(ChemicalVaporDeposit1n，CVD)中的任一種而形成。[0027]而且，根據(jù)本發(fā)明的第I方案至第4方案中的任一方案，其特征在于，所述第I電鍍?yōu)殄冦~，所述第2電鍍?yōu)殄冦~。[0028]根據(jù)本發(fā)明的第I方案，其特征在于，所述未形成有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案的區(qū)域中的所述金屬種子膜的去除是通過鑲嵌(damascene)法或研磨來進(jìn)行。[0029]而且，根據(jù)本發(fā)明的第3方案，其特征在于，所述蝕刻為干式蝕刻(dryetching)，所述蝕刻為濕式蝕刻(wetetching)，所述樹脂模具是在層疊成兩層的上層側(cè)的第I樹脂與下層側(cè)的第2樹脂中制作，所述第I樹脂包含聚丙稀(Polypropylene，PP)，所述第2樹脂包含聚甲基丙稀酸甲醋或聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋(PolyethyleneTerephthalate,PET)ο[0030]進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明的第3方案或第4方案，其特征在于，所述金屬基板包含N1、不銹鋼(SteelUseStainless，SUS)或Ni合金。[0031]而且，根據(jù)本發(fā)明的第4方案，其特征在于，所述第I模具包含Si。[0032](發(fā)明的效果)[0033]根據(jù)本發(fā)明，在線圈元件形成后，通過有機(jī)溶劑來溶解去除用于制造線圈元件的樹脂模具，因此能夠使所制作的線圈元件的厚度較薄，且能夠容易地制造?！靖綀D說明】[0034]圖1是表示本發(fā)明的第I實(shí)施例的線圈元件的制作工序的圖。[0035]圖2是表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的線圈元件的制作工序的圖。[0036]圖3是表示本發(fā)明的第3實(shí)施例的線圈元件的制作工序的圖。[0037]圖4是表示本發(fā)明的第4實(shí)施例的線圈元件的制作工序的圖。[0038]圖5是表示本發(fā)明的第5實(shí)施例的線圈元件的制作工序的圖。[0039]圖6是本發(fā)明的使用消耗型模具基板而制作的線圈元件集合體的平面圖。[0040]圖7是表示將多片線圈元件集合體層疊的狀態(tài)的圖。[0041]圖8是將多片線圈元件集合體層疊，并將各層的線圈元件彼此連接而形成線圈的說明圖。[0042]圖9是表示使用上部芯材(core)與下部芯材來密封線圈的狀態(tài)的圖。[0043]圖10是表示線圈內(nèi)填充有絕緣物質(zhì)的狀態(tài)的圖。[0044]圖11是表示以線圈為單位來切斷層疊的線圈元件集合體的切割(dicing)的圖。[0045]圖12是表示在電極引出部安裝外部電極而形成線圈零件的工序的圖。【具體實(shí)施方式】[0046]以下，按照附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明。[0047]實(shí)施例1[0048]圖1是表示本發(fā)明的第I實(shí)施例的線圈元件的制作工序的圖。[0049]本發(fā)明中，使用能以有機(jī)溶劑溶解的樹脂模具來制造線圈元件。形成在該樹脂模具內(nèi)的線圈元件在其形成后，通過使樹脂模具溶解而被取出。因而，此種樹脂模具可稱作消耗型模具。[0050]首先，如圖1a所示，準(zhǔn)備表面刻印有反轉(zhuǎn)線圈元件圖案102的樹脂模具100。作為樹脂模具100的材料，只要是能以有機(jī)溶劑溶解的材料即可，可使用PMMA、PC、COP等熱塑性樹脂。[0051]而且，反轉(zhuǎn)線圈元件圖案102是在樹脂模具100的表面通過壓印或熱壓制而制作。[0052]接下來，如圖1b所示，以覆蓋樹脂模具100表面的方式形成金屬種子膜104，以備后續(xù)工序中的電鑄(電鍍)處理。作為用于金屬種子膜104的金屬，使用Cu、Sn、N1、Ag當(dāng)前第1頁1 2 3