一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)以及腔室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)以及腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，去氣腔室(Degas腔室)用于對晶片加溫，使得附著在晶片上面的有機(jī)物和水汽等雜志揮發(fā)，以實現(xiàn)清潔晶片的目的。
[0003]現(xiàn)有的去氣腔室結(jié)構(gòu)通常如圖1所示，在腔室I和紅外加熱燈2之間設(shè)置了石英窗3進(jìn)行隔離，以保證腔室I內(nèi)的密封性，在腔室側(cè)壁6上方設(shè)置有樹脂墊塊4，該樹脂墊塊4和腔室側(cè)壁6共同支撐石英窗3。通常，腔室I內(nèi)為真空環(huán)境，將晶片從腔室外傳遞至加熱器5上后，向腔室I內(nèi)充氣，使得腔室的氣壓為10托左右，之后，對晶片進(jìn)行加熱以去除雜質(zhì)，加熱結(jié)束后，將腔室I內(nèi)的氣體抽出，使得腔室I內(nèi)重新達(dá)到真空狀態(tài)。
[0004]在上述充氣以及抽氣的過程中，石英窗3會反復(fù)承受由于腔室I內(nèi)氣壓變化導(dǎo)致的交變壓力。由于上述現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中石英窗3在豎直方向上沒有被固定，使得石英窗3受交變壓力作用會在豎直方向上運(yùn)動，導(dǎo)致與樹脂墊塊4和腔室側(cè)壁6發(fā)生碰撞，可能導(dǎo)致石英窗3破裂。同時，加熱過程中，石英窗3的溫度升高，可能導(dǎo)致樹脂墊塊4軟化變形，使得石英窗受力不均，容易造成石英窗破碎。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)以及腔室，以避免隔離窗在豎直方向上運(yùn)動發(fā)生碰撞后導(dǎo)致隔離窗破裂。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)，用于將所述隔離窗固定設(shè)置在腔室上方，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)包括固定框，所述固定框包括按壓部和固定部，所述固定部設(shè)置在所述按壓部外沿，所述固定部用于固定在所述腔室的側(cè)壁上，所述按壓部用于設(shè)置在所述隔離窗上方以固定所述隔離窗。
[0007]優(yōu)選地，所述固定框的按壓部包括多個按壓片，所述按壓片用于設(shè)置在所述隔離窗上方以固定所述隔離窗。
[0008]優(yōu)選地，所述固定框由彈簧鋼制成。
[0009]優(yōu)選地，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)還包括緩沖框，所述緩沖框設(shè)置在所述固定框的按壓部的下表面上。
[0010]優(yōu)選地，所述緩沖框由紫銅制成。
[0011]優(yōu)選地，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)還包括墊框，所述墊框能夠設(shè)置在所述隔離窗和所述腔室的側(cè)壁之間。
[0012]優(yōu)選地，所述墊框由紫銅制成。
[0013]優(yōu)選地，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)還包括緊固件，所述固定框的固定部通過所述緊固件與所述腔室的側(cè)壁固定連接。
[0014]相應(yīng)地，一種腔室，所述腔室的側(cè)壁的上方設(shè)置有隔離窗，所述腔室還包括上述本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)，所述固定框的按壓部設(shè)置在所述隔離窗上方以固定所述隔離窗，所述固定框的固定部與所述腔室的側(cè)壁固定連接。
[0015]優(yōu)選地，所述腔室的側(cè)壁上設(shè)置有冷卻水路，所述冷卻水路用于通入冷卻水。
[0016]上述為對本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)進(jìn)行的描述，可以看出，本發(fā)明通過將固定框的固定部與腔室側(cè)壁固定連接，將固定框的按壓部設(shè)置在隔離窗上方，能夠穩(wěn)定地將隔離窗固定在腔室側(cè)壁和固定框的按壓部之間，避免隔離窗在豎直方向上移動發(fā)生碰撞后導(dǎo)致破裂，并且能夠有效緩沖因腔室氣壓變化導(dǎo)致隔離窗所受的壓力。同時，本發(fā)明還能夠?qū)⒏綦x窗的熱量傳遞至腔室側(cè)壁后擴(kuò)散，能夠降低隔離窗的溫度，進(jìn)一步保護(hù)了隔離窗。
【附圖說明】
[0017]附圖是用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0018]圖1為現(xiàn)有的腔室結(jié)構(gòu)示例圖；
[0019]圖2為本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)與隔離窗連接部分示例圖；
[0020]圖3為本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)與隔離窗的俯視圖；
[0021]圖4為本發(fā)明所提供的固定框示例圖。
[0022]附圖標(biāo)記說明
[0023]1,40-腔室；2_加熱燈；3_石英窗；4_樹脂墊塊；5_加熱器；6_腔室側(cè)壁；10_固定框；11-按壓部；12_固定部；13_按壓片；20_隔離窗；30_緩沖框；41_冷卻水路；50_墊框；60-緊固件。
【具體實施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0025]作為本發(fā)明的一個方面，提供一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)，該隔離窗結(jié)構(gòu)可以用于將隔離窗固定設(shè)置在腔室上方，如圖2至圖4所示，該隔離窗固定結(jié)構(gòu)包括固定框10，固定框10可以包括按壓部11和固定部12，其中，固定部12設(shè)置在按壓部11的外沿，固定部12可以用于固定在腔室40的側(cè)壁上，按壓部11用于設(shè)置在隔離窗20的上方以固定隔離窗20。
[0026]將隔離窗20設(shè)置在腔室40上方之后，可以通過本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)對隔離窗20進(jìn)行固定。具體地，將隔離窗20放置在腔室40側(cè)壁的上端面之后，可以將固定框10的按壓部設(shè)置在隔離窗20上方以向下按壓隔離窗20，同時，將固定框10的固定部12固定在腔室40的側(cè)壁上，使得整個固定框10與腔室牢固連接，這樣，可以將隔離窗20穩(wěn)定地固定在腔室40的側(cè)壁與按壓部11之間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)有效地避免了隔離窗20因腔室40的氣壓變化而在豎直方向移動產(chǎn)生碰撞導(dǎo)致破裂。
[0027]具體地，固定框10的可以環(huán)繞隔離窗20設(shè)置，固定框10的形狀可以與隔離窗20的形狀相對應(yīng)，通常，隔離窗20為圓形石英窗，則固定框10可以加工為對應(yīng)的環(huán)形框。
[0028]更進(jìn)一步地，如圖3和圖4所示，固定框10的按壓部11可以包括多個按壓片13，該按壓片13可以用于設(shè)置在隔離窗20的上方以固定隔離窗20。具體地，按壓片13可以設(shè)置在按壓部11的內(nèi)沿，其中，按壓部11的內(nèi)沿即指按壓部11靠近固定框10中心一側(cè)的邊沿，按壓片13的形狀可以加工為鋸齒狀或齒輪狀，且按壓片13的間隔距離以及數(shù)量可以根據(jù)實際需要設(shè)置，本發(fā)明對此不作限制。在隔離窗20的上方設(shè)置按壓片13，能夠通過按壓片13固定隔離窗20，同時，采用上述結(jié)構(gòu)，能夠在當(dāng)腔室內(nèi)的壓力變化導(dǎo)致隔離窗20受到向上的作用力時