一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)以及腔室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)以及腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，去氣腔室(Degas腔室)用于對晶片加溫，使得附著在晶片上面的有機物和水汽等雜志揮發(fā)，以實現(xiàn)清潔晶片的目的。
[0003]現(xiàn)有的去氣腔室結(jié)構(gòu)通常如圖1所示，在腔室I和紅外加熱燈2之間設(shè)置了石英窗3進行隔離，以保證腔室I內(nèi)的密封性，在腔室I的側(cè)壁6上方設(shè)置有樹脂墊塊4，該樹脂墊塊4和腔室I的側(cè)壁6共同支撐石英窗3。通常，腔室I內(nèi)為真空環(huán)境，將晶片從腔室外傳遞至加熱器5上后，向腔室I內(nèi)充氣，使得腔室的氣壓為10托左右，之后，對晶片進行加熱以去除雜質(zhì)，加熱結(jié)束后，將腔室I內(nèi)的氣體抽出，使得腔室I內(nèi)重新達到真空狀態(tài)。
[0004]在上述充氣以及抽真空的過程中，石英窗3會反復(fù)承受由于腔室I內(nèi)氣壓變化導(dǎo)致的交變壓力。由于上述現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中石英窗3在豎直方向上沒有被固定，使得石英窗3受到交變壓力作用會在豎直方向上運動，尤其在抽真空的過程中，由于腔室上方的大氣壓力，石英窗3會承受較大的下壓力而向下移動，導(dǎo)致與樹脂墊塊4和/或腔室I的側(cè)壁6發(fā)生碰撞，可能導(dǎo)致石英窗3破裂。同時，加熱過程中，石英窗3的溫度升高，可能導(dǎo)致樹脂墊塊4軟化變形，使得石英窗3受力不均，容易造成石英窗3破碎。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)以及腔室，以避免隔離窗在豎直方向上運動發(fā)生碰撞后導(dǎo)致隔離窗破裂。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)，用于將所述隔離窗固定設(shè)置在腔室上方，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)包括固定件，所述固定件包括第一固定部和設(shè)置在所述第一固定部外沿的第二固定部，所述第二固定部用于固定設(shè)置在所述腔室的側(cè)壁上，所述第一固定部用于設(shè)置在所述隔離窗上方并與所述隔離窗固定連接。
[0007]優(yōu)選地，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)還包括墊圈和第一緊固件，所述第一固定部下表面設(shè)置有第一安裝孔，所述墊圈上設(shè)置有第二安裝孔，所述墊圈用于設(shè)置在所述隔離窗的下表面，所述第一緊固件用于穿過所述的第二安裝孔和預(yù)設(shè)在所述隔離窗上的通孔安裝在所述第一安裝孔中，以將所述墊圈、所述隔離窗與所述第一固定部連接。
[0008]優(yōu)選地，所述墊圈由銅材制成。
[0009]優(yōu)選地，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)還包括緩沖件，所述緩沖件能夠設(shè)置在所述墊圈和所述隔離窗之間。
[0010]優(yōu)選地，所述固定件由金屬材料制成。
[0011]優(yōu)選地，所述固定件中設(shè)置有冷卻水路，所述冷卻水路用于通入冷卻水。
[0012]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種腔室，所述腔室上方設(shè)置有隔離窗，所述腔室還包括上述本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)，所述固定件的第一固定部設(shè)置在所述隔離窗上方并與所述隔離窗固定連接，所述固定件的第二固定部固定設(shè)置在所述腔室的側(cè)壁上。
[0013]優(yōu)選地，所述隔離窗上設(shè)置有通孔，所述隔離窗固定結(jié)構(gòu)還包括墊圈和第一緊固件，所述第一固定部下表面設(shè)置有第一安裝孔，所述墊圈上設(shè)置有第二安裝孔，所述墊圈設(shè)置在所述隔離窗下表面，所述第一緊固件穿過所述第二安裝孔和所述通孔安裝在所述第一安裝孔中，以將所述墊圈、所述隔離窗與所述固定件連接。
[0014]優(yōu)選地，所述第一固定部的下表面與所述隔離窗的上表面之間設(shè)置有第一密封圈。
[0015]優(yōu)選地，所述第二固定部的下表面與所述腔室的側(cè)壁的上表面之間設(shè)置有第二密封圈。
[0016]上述為對本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)進行的描述，可以看出，本發(fā)明通過將固定件的第一固定部設(shè)置在隔離窗上方并與隔離窗固定連接，并將第二固定部固定設(shè)置在腔室側(cè)壁上，能夠穩(wěn)固地固定隔離窗，避免了現(xiàn)有技術(shù)中隔離窗可能在豎直方向移動發(fā)生碰撞導(dǎo)致破裂的問題。同時，本發(fā)明中隔離窗固定設(shè)置在第一固定部的下方，避免了隔離窗受到壓力后過度擠壓其下方的部件。此外，本發(fā)明還能促進隔離窗的散熱，能夠進一步保護隔離窗。
【附圖說明】
[0017]附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0018]圖1為現(xiàn)有的腔室結(jié)構(gòu)示例圖；
[0019]圖2為本發(fā)明的腔室結(jié)構(gòu)局部示例圖；
[0020]圖3為圖2中I部分示例圖；
[0021]圖4為本發(fā)明所提供的固定件示例圖；
[0022]圖5為本發(fā)明所提供的墊圈示例圖；
[0023]圖6為本發(fā)明所提供的隔離窗示例圖。
[0024]附圖標(biāo)記說明
[0025]1、40_腔室；2_加熱燈；3_石英窗；4-樹脂墊塊；5_加熱器；6、41_腔室側(cè)壁；10-固定件；11-第一固定部；12_第二固定部；13_第一安裝孔；14_冷卻水路；15_第二緊固件；20_隔離窗；21_通孔；30_墊圈；31_第一緊固件；32_第二安裝孔；50_第一密封圈；51-第二密封圈。
【具體實施方式】
[0026]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0027]作為本發(fā)明的一個方面，提供一種隔離窗固定結(jié)構(gòu)，該隔離窗固定結(jié)構(gòu)用于將隔離窗固定設(shè)置在腔室上方，具體地，可以如圖2至圖6所示，該隔離窗固定結(jié)構(gòu)可以包括固定件10，該固定件10可以包括第一固定部11和設(shè)置在第一固定部11外沿的第二固定部12，其中，第二固定部12可以用于固定設(shè)置在腔室側(cè)壁41上，第一固定部11可以用于設(shè)置在隔離窗20上方并與隔離窗20固定連接。
[0028]具體地，固定件10可以環(huán)繞隔離窗20設(shè)置，固定件10的形狀可以與隔離窗20的形狀相對應(yīng)以能夠圍繞隔離窗20，通常，隔離窗20為圓形的石英窗，則固定件10可以加工為對應(yīng)的環(huán)形。固定件10包括第一固定部11和設(shè)置在第一固定部11外沿的第二固定部12，其中第一固定部11的外沿即指第一固定部11上遠(yuǎn)離固定件10中心一側(cè)的邊沿，可以將第一固定部11設(shè)置在隔離窗20上方，并將第一固定部11與隔離窗20固定連接，可以將第二固定部12設(shè)置在腔室側(cè)壁41上，具體地，第二固定部12可以通過第二緊固件15固定設(shè)置在腔室側(cè)壁41的上端面上，以此，可以將隔離窗20固定設(shè)置在腔室40的上方。
[0029]通過上述結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒏綦x窗20固定在腔室上方，避免了隔離窗20受到交變壓力時在豎直方向上移動，解決了現(xiàn)有技術(shù)中隔離窗20可能與樹脂墊塊和腔室側(cè)壁碰撞導(dǎo)致破裂的問題。此外，由于腔室上方的大氣壓力遠(yuǎn)大于腔室內(nèi)部的氣壓，因此隔離窗20會受到向下的壓力，上述結(jié)構(gòu)中，將隔離窗固定設(shè)置在第一固定部11的下方，隔離窗20的沒有部件對其進行支撐，因此，當(dāng)隔離窗20受到向下的壓力時，并不會受到支撐部件向上的反作用力，從而不會造成破損。在上述結(jié)構(gòu)中，隔離窗20受力會被轉(zhuǎn)移至第二緊固件15上，具體可以根據(jù)隔離窗20的重量、隔離窗20受到的壓力以及每個第二緊固件15能夠承受的力來設(shè)定第二緊固件15的數(shù)量。
[0030]更進一步地，本發(fā)明所提供的隔離窗固定結(jié)構(gòu)還可以包括墊圈30和第一緊固件31，且固定件10的下表面設(shè)置有第一安裝孔13 (如圖4所示)，墊圈30上設(shè)置有第二安裝孔32 (如圖5所示)，該墊圈30可以設(shè)置在隔離窗20的下表面，第一緊固件31用于穿過第