一種太陽能電池擴散吸雜的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種太陽能電池的制作方法，具體涉及一種太陽能電池擴散吸雜的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)太陽能電池的生產(chǎn)步驟一般要經(jīng)過表面制絨、擴散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)和檢測分裝等主要步驟。現(xiàn)有常規(guī)硅電池一般只進行單面一次擴散，吸雜效果差，雜質(zhì)復(fù)合多，影響短路電流和開路電壓，電池效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種太陽能電池擴散吸雜的方法，吸雜效果好，提高了電池效率，且與傳統(tǒng)太陽能電池生產(chǎn)線兼容，適合于大批量生產(chǎn)。
[0004]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種太陽能電池擴散吸雜的方法，其特征在于:包括第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟、制絨步驟和第二次雙面正常擴散步驟，具體步驟如下，
(1)第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟:將原始硅片插入雙面擴散石英舟之中，然后送進擴散爐進行濃磷重擴散吸雜，通入的小氮流量為2000?6000ml/min，通磷時間為10?30分鐘；
(2)制絨步驟:將雙面濃磷重擴散后的硅片送入制絨機制作絨面；
(3)第二次雙面正常擴散步驟:將制絨后的硅片插入雙面擴散石英舟之中送進擴散爐，通入的小氮流量為200?2000ml/min，通磷時間為10?30分鐘。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:通過兩次擴散吸雜使太陽能電池內(nèi)部的雜質(zhì)被有效捕，獲降低雜質(zhì)復(fù)合，可有效提升短路電流和開路電壓，電池效率有0.3%左右的提升，同時成本低廉，且與傳統(tǒng)太陽能電池生產(chǎn)線兼容，適合于大批量生產(chǎn)。
【具體實施方式】
[0006]實施例1:一種太陽能電池擴散吸雜的方法，包括第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟、制絨步驟和第二次雙面正常擴散步驟，具體步驟如下，
(1)第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟:將原始硅片插入雙面擴散石英舟之中，然后送進擴散爐進行濃磷重擴散吸雜，通入的小氮流量為3000ml/min，通磷時間為20分鐘；
(2)制絨步驟:將雙面濃磷重擴散后的硅片送入制絨機制作絨面；
(3)第二次雙面正常擴散步驟:將制絨后的硅片插入雙面擴散石英舟之中送進擴散爐，通入的小氮流量為1200ml/min,通磷時間為20分鐘。
[0007]實施例2:另一種太陽能電池擴散吸雜的方法，包括第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟、制絨步驟和第二次雙面正常擴散步驟，第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟通入的小氮流量為4000ml/min，通磷時間為25分鐘；第二次雙面正常擴散步驟通入的小氮流量為1500ml/min,通磷時間為25分鐘。其它與實施例1相同。
[0008]實施例3:再一種太陽能電池擴散吸雜的方法，包括第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟、制絨步驟和第二次雙面正常擴散步驟，第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟通入的小氮流量為2000ml/min，通磷時間為10分鐘；第二次雙面正常擴散步驟通入的小氮流量為200ml/min,通磷時間為10分鐘。其它與實施例1相同。
[0009]實施例4:又一種太陽能電池擴散吸雜的方法，包括第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟、制絨步驟和第二次雙面正常擴散步驟，第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟通入的小氮流量為6000ml/min，通磷時間為30分鐘；第二次雙面正常擴散步驟通入的小氮流量為2000ml/min,通磷時間為30分鐘。其它與實施例1相同。
【主權(quán)項】
1.一種太陽能電池擴散吸雜的方法，其特征在于:包括第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟、制絨步驟和第二次雙面正常擴散步驟，具體步驟如下， (1)第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟:將原始硅片插入雙面擴散石英舟之中，然后送進擴散爐進行濃磷重擴散吸雜，通入的小氮流量為2000?6000ml/min，通磷時間為10?30分鐘； (2)制絨步驟:將雙面濃磷重擴散后的硅片送入制絨機制作絨面； (3)第二次雙面正常擴散步驟:將制絨后的硅片插入雙面擴散石英舟之中送進擴散爐，通入的小氮流量為200?2000ml/min，通磷時間為10?30分鐘。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種太陽能電池擴散吸雜的方法，具體步驟如下，（1）第一次雙面濃磷重擴散吸雜步驟：將原始硅片插入雙面擴散石英舟之中，然后送進擴散爐進行濃磷重擴散吸雜，通入的小氮流量為2000～6000ml/min，通磷時間為10～30分鐘；（2）制絨步驟：將雙面濃磷重擴散后的硅片送入制絨機制作絨面；（3）第二次雙面正常擴散步驟：將制絨后的硅片插入雙面擴散石英舟之中送進擴散爐，通入的小氮流量為200～2000ml/min,通磷時間為10～30分鐘。本發(fā)明吸雜效果好，提高了電池效率，且與傳統(tǒng)太陽能電池生產(chǎn)線兼容，適合于大批量生產(chǎn)。
【IPC分類】H01L21-223, H01L31-18
【公開號】CN104659151
【申請?zhí)枴緾N201510065245
【發(fā)明人】蔡永梅, 蔣方丹, 金浩, 陳康平
【申請人】浙江晶科能源有限公司, 晶科能源有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2015年2月9日