選為:開路電壓300V，電流10A，脈寬100 μ s,脈間300 μ S0這樣，就會在鋁板表面形成一層均勻的、厚度不低于0.1mm的氮化鋁薄膜層。在其他實施方式中，脈沖電源的工作參數(shù)可在以下范圍內(nèi)適當調(diào)整，開路電壓為100-800V，電流為2-20Α，脈寬為1-200 μ s，脈間為50-500 μ S。通過實驗驗證，當脈沖電源的工作參數(shù)介于上述范圍內(nèi)時，在鋁板表面形成氮化鋁薄膜層的厚度不低于0.05_，能很好地滿足線路板的絕緣性能要求。
[0029]特別地，為保證氮氣能與鋁板表面充分接觸，本實施例中，在進行氮化鋁薄膜層制備時，氮氣源源不斷的充入形成氮氣流。
[0030]實施例二
[0031]一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其制備原理為:在全是氮氣環(huán)境下，利用電火花產(chǎn)生的高溫使鋁板表面的鋁與氮氣反應(yīng)，進而在鋁板表面生成氮化鋁薄膜層。
[0032]本實施例提供的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其原理與實施例一基本一致，區(qū)別在于:
[0033]一、所述清洗步驟改為:先用砂紙打磨鋁板表面去除氧化層，然后用濃度不小于99%的丙酮溶液清洗。需要注意的是，只要通過清洗達到去除鋁板表面的污垢及氧化物即可，清除方式不限于上述舉例。
[0034]二、脈沖電源的工作參數(shù)如下，開路電壓為800V，電流為20Α，脈寬為200 μ s,脈間為 500 μ So
[0035]經(jīng)實驗驗證，利用本實施例的加工方法，在鋁板表面形成的氮化鋁薄膜層厚度可達0.2mm，絕緣性能得到進一步加強。
[0036]實施例三
[0037]一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其制備原理為:在全是氮氣環(huán)境下，利用電火花產(chǎn)生的高溫使鋁板表面的鋁與氮氣反應(yīng)，進而在鋁板表面生成氮化鋁薄膜層。
[0038]本實施例提供的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其原理與實施例一基本一致，區(qū)別在于:
[0039]一、工具電極的橫截面積與鋁板表面積基本一致，工具電極直接固定在鋁板上方，不做均勻移動。
[0040]二、脈沖電源的工作方式為:首先在開路電壓為300V，電流為5A，脈寬為50 μ s,脈間為150 μ s的條件下對鋁板表面處理一段時間，然后適當減少電流、脈寬、脈間值，繼續(xù)對鋁板表面進行處理，需要注意的是，脈沖電源工作參數(shù)調(diào)整后，電流不小于2Α，脈寬不小于I μ s，脈間不小于50 μ so本實施例通過采用不同開路電壓對鋁板表面進行多次處理，在保證加工效率的前提下，有效提高氮化鋁薄膜層的致密度。
[0041]以上【具體實施方式】對本發(fā)明的實質(zhì)進行了詳細說明，但并不能以此來對本發(fā)明的保護范圍進行限制。顯而易見地，在本發(fā)明實質(zhì)的啟示下，本技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員還可進行許多改進和修飾，需要注意的是，這些改進和修飾都落在本發(fā)明的權(quán)利要求保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，在全部是氮氣環(huán)境下，利用電火花產(chǎn)生的高溫使鋁板表面的鋁與氮氣反應(yīng)，進而在鋁板表面生成氮化鋁薄膜層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，所述電火花由脈沖電源兩極間放電產(chǎn)生，脈沖電源的一極與鋁板連接，脈沖電源的另一極與工具電極連接，工具電極與鋁板之間保持一個間隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，工具電極與銷板之間的間隙在0.0lmm-0.2mm之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，所述工具電極材料為鋁。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，工具電極的截面積小于鋁板的表面積，加工時，工具電極在鋁板上方均勻移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，所述脈沖電源的工作參數(shù)為:開路電壓為100-800V，電流為2-20A，脈寬為1-200 μ s,脈間為50-500 μ S0
7.根據(jù)權(quán)利要求2-6中任意所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，所述脈沖電源的工作方式為:先采用大的電流、脈寬、脈間對鋁板表面進行加工，然后采用小的電流、脈寬、脈間對鋁板表面進行加工。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，鋁板在進行電火花加工前需進行清洗處理，首先將鋁板置于裝有丙酮的超聲波清洗機中清洗去除鋁板表面油污，然后將鋁板置于堿液中浸泡去除鋁板表面的氧化層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，所述清洗步驟改為:先用砂紙打磨鋁板表面去除氧化層，然后用濃度不小于99%的丙酮溶液清洗。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，在進行氮化鋁薄膜層制備時，氮氣源源不斷的充入形成氮氣流。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種在鋁板上生成氮化鋁薄膜的方法，其特征在于，在氮氣環(huán)境下利用電火花產(chǎn)生的高溫使鋁板表面的鋁與氮氣反應(yīng)，進而在鋁板表面生成氮化鋁薄膜層。具體包括以下步驟：1)清洗，首先將鋁板置于裝有丙酮的超聲波清洗機中清洗去除鋁板表面油污，然后將鋁板置于堿液中浸泡去除鋁板表面的氧化層；2)氮化鋁薄膜層制備，在氮氣環(huán)境下，將脈沖電源的一極與鋁板連接，將脈沖電源的另一極與工具電極連接，利用工具電極與鋁板間放電產(chǎn)生的瞬時高溫將鋁板表面的鋁氮化成氮化鋁。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有制備工藝簡單，加工效率高，生產(chǎn)成本低，氮化鋁薄膜層不易剝落的特點。
【IPC分類】H01L33-64, H01L21-02
【公開號】CN104617213
【申請?zhí)枴緾N201510014490
【發(fā)明人】華蕊, 葉樹林
【申請人】佛山科學技術(shù)學院
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2015年1月12日