收原料。
[0038]在噴嘴部140的底面，圍繞各噴射通道141附著有安裝部130，由此安裝部130被收容于貫通部122內(nèi)，可讓噴嘴部140附著在流動部120。
[0039]另外，沿著各噴射通道141的長度方向切開的剖面如下:與安裝部130接觸側(cè)的縱剖面的長度比噴射原料側(cè)的縱剖面的長度短，而且從與安裝部130接觸側(cè)到噴射原料側(cè)，該縱剖面的長度逐漸變長，具有傾斜形狀。
[0040]而且，在噴嘴部140的中央形成有剖面為三角形狀的傾斜部142，噴嘴部140被安裝成傾斜部142的底面位于流動部120的邊界面上。
[0041]這種傾斜部142的一表面構(gòu)成上述任一個流動通道121的一表面，傾斜部142的另一表面構(gòu)成另一個流動通道121的一表面，由此，一對流動通道121以傾斜部142為中心在兩側(cè)對稱設(shè)置。
[0042]而且，由于以傾斜部142的上側(cè)尖端部為基準(zhǔn)，在兩側(cè)形成有流動通道121的原料噴射面，因此流動通道121的上表面在同一個平面上無間隔地相互連接。即被構(gòu)成為在原料噴出面上，各噴射通道141的端部在長度方向上相互連接，從而不失原料噴射的連續(xù)性。
[0043]而且，噴嘴部140以向下方延伸的安裝部130被完全收容在流動部120的貫通部122區(qū)域內(nèi)部的形態(tài)安裝在流動部120里，因而受到向下方向載荷的噴嘴部140僅以貫通部122和安裝部130之間的簡單的結(jié)合既能夠輕易安裝在流動部120里，無需使用其他結(jié)合部件。
[0044]同時，流動部120和噴嘴部140無需設(shè)置供結(jié)合部件結(jié)合的額外的空間，因此從相鄰且不同的供給部150接收原料的噴嘴部140的噴射通道141之間可連續(xù)連接。
[0045]另外，上述噴嘴部140優(yōu)選在中央部形成有傾斜部142，并以傾斜部142為邊界貫穿加工有一對噴射通道141，由此制作成一體形狀。
[0046]上述原料供給部150設(shè)置為一對，用以使腔室部110內(nèi)的液態(tài)原料氣化，并將其供給到流動部120的流動通道121內(nèi)，該原料供給部150包括存儲部151和氣化部152。
[0047]上述存儲部511是在本實施例中作為原料使用的單體(monomer)溶液被供給之前得以存儲的部件。
[0048]上述氣化部152是與存儲部151連接并施加超聲波，由此將從存儲部151流入的溶液形態(tài)的單體微?；髮⑵浼訜?，使得微粒形態(tài)的單體氣化后供給至流動部120的部件。
[0049]下面說明上述有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置100的一實施例的操作。
[0050]圖5是圖3的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置100的操作剖面圖。
[0051]首先，向腔室部110內(nèi)的流動部120供給氣化的原料之前，通過規(guī)定的加熱部加熱流動部，由此防止已氣化的原料液化。
[0052]從存儲有作為原料使用的單體(monomer)的存儲部151向氣化部152供給原料。其中該單體是以溶液形態(tài)存儲的。此時，對氣化部152內(nèi)施加超聲波，將原料溶液微?；?。
[0053]與此同時，提升氣化部152的溫度，使得在氣化部152內(nèi)微?；脑贤ㄟ^被加熱的氣化部152內(nèi)的溫度引起相變化，從而氣化為氣體形態(tài)。
[0054]參照圖5，因真空形態(tài)的腔室部110和氣化部152的壓力差，在一對氣化部152中分別氣化的原料輸送到流動部120內(nèi)的流動通道121。此時，原料沿著流動通道121流動并傳遞到安裝部130內(nèi)的供給通道，且通過安裝部130的供給通道輸送到噴射通道141。
[0055]從流動部120提供的氣體原料在噴射通道141的端部脫離噴射通道141噴射，并沉積上側(cè)基板。與此同時，當(dāng)通過規(guī)定的驅(qū)動臺(未圖標(biāo))固定基板的固定部111按規(guī)定的速度移動時，通過從固定于規(guī)定的位置的噴嘴部140噴射的原料，對移動的基板10的全面沉積原料。
[0056]另外，由于噴射原料的噴射通道141的表面與相鄰的噴射通道141的表面之間無間斷區(qū)段地連續(xù)連接，因而沿著噴射通道141的長度方向，能夠無間斷地連續(xù)噴射原料。
[0057]即，在一對噴射通道141之間設(shè)置有傾斜部142，從噴射通道141的傾斜部142的尖端部相接的面噴射原料，由此可確保沉積在基板10上的原料的均勻度。
[0058]綜上，根據(jù)現(xiàn)有封裝工藝用沉積裝置，由于噴嘴內(nèi)的壓力降而對大面積基板的沉積有一些難度。為了解決該問題，當(dāng)從噴嘴的兩側(cè)供給原料時，因噴出原料的部分相互隔離而具有在基板上不連續(xù)沉積原料的問題。但是根據(jù)本實施例的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置100，能夠在無間斷區(qū)段的情況下以均勻的厚度在大面積基板上沉積原料。
[0059]而且，通過采用在一體型噴嘴部形成多個噴射通道的簡易加工方式而非采用將單獨(dú)制作的噴嘴部結(jié)合的方式，能夠?qū)崿F(xiàn)使用多個噴嘴的效果，且能夠制作成更加堅固的結(jié)構(gòu)。
[0060]本發(fā)明的權(quán)利要求范圍并不局限于上述實施例，而在所附的權(quán)利要求書中記載的范圍內(nèi)可實現(xiàn)多種形式的實施例。在不脫離權(quán)利要求書所要求保護(hù)的本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中的技術(shù)人員均能變形的各種范圍也應(yīng)屬于本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
[0061]產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用可行性
[0062]本發(fā)明提供一種通過劃分的噴射通道接收原料，從而解決因壓力降而引起的不均勻沉積問題，并能在大面積基板上均勻地沉積原料的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置。
【主權(quán)項】
1.一種有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，對配置在腔室部內(nèi)的有機(jī)發(fā)光二極管基板沉積原料以進(jìn)行封裝（encapsulating)，其特征在于，包括： 多個流動部，配置在所述腔室部內(nèi)，內(nèi)部形成有供原料流動的流動通道，所述多個流動部的端面相互接觸； 噴嘴部，一體安裝于所述多個流動部，在所述噴嘴部的內(nèi)部形成有與所述流動部連接的噴射通道，用于將從所述流動部供給的原料噴射到基板側(cè)；以及原料供給部，向所述多個流動部分別供給氣化的原料。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，其特征在于， 在所述噴嘴部內(nèi)設(shè)置有多個所述噴射通道，多個所述噴射通道分別連接于所述流動部內(nèi)的各流動部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，其特征在于， 在沿所述噴射通道的長度方向切開的剖面中，所述原料的噴射側(cè)的端部比所述原料的流入側(cè)的端部更長。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，其特征在于， 沿所述噴射通道的長度方向切開的剖面長度從原料流入側(cè)的端部向原料噴射側(cè)的端部逐漸變長。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，其特征在于， 所述噴嘴部包括傾斜部，所述傾斜部配置在所述多個流動部的接觸邊界面的上側(cè)，且其剖面為三角形形狀， 所述傾斜部的一表面構(gòu)成任一個所述噴射通道的表面，所述傾斜部的另一表面構(gòu)成另一個噴射通道的表面，由此以所述傾斜部為中心，一對噴射通道彼此相鄰而配置。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，對配置在腔室部內(nèi)的有機(jī)發(fā)光二極管基板沉積原料而進(jìn)行封裝(encapsulating)，其特征在于，包括：多個流動部，配置在所述腔室部內(nèi)，內(nèi)部形成有供原料流動的流動通道，所述多個流動部的端面彼此相接；噴嘴部，一體安裝于所述多個流動部，在所述噴嘴部的內(nèi)部形成有與所述流動部連接的噴射通道，用于將從所述流動部供給的原料噴射到基板側(cè)；以及原料供給部，向所述多個流動部分別供給氣化的原料。由此，提供一種能夠在無間斷區(qū)段的情況下，以均勻的厚度對大面積基板沉積原料的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置。
【IPC分類】H01L51-56, H05B33-04
【公開號】CN104603968
【申請?zhí)枴緾N201280074524
【發(fā)明人】柳云善, 南宮晟泰, 李泰成, 高在億
【申請人】Snu精度株式會社
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2012年8月28日
【公告號】WO2014034975A1