有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，更詳細(xì)地涉及一種能夠以均勻厚度對(duì)大面積基板沉積原料(source)的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(OLED:0rganic Light Emitting D1de)是發(fā)光層為由有機(jī)化合物薄膜構(gòu)成的發(fā)光二極管，其利用的是電流通過(guò)熒光性有機(jī)化合物而產(chǎn)生光的場(chǎng)致發(fā)光現(xiàn)象。這種有機(jī)發(fā)光二極管一般通過(guò)三原色(Red、Green、Blue)獨(dú)立像素發(fā)光方式、色彩轉(zhuǎn)換方式(CCM)、色彩過(guò)濾方式等來(lái)實(shí)現(xiàn)主要的顏色，而且按照所使用的發(fā)光材料中包含的有機(jī)物質(zhì)的量來(lái)分為低分子有機(jī)發(fā)光二極管和高分子有機(jī)發(fā)光二極管。而且，按驅(qū)動(dòng)方式可分為被動(dòng)型驅(qū)動(dòng)方式和主動(dòng)型驅(qū)動(dòng)方式。
[0003]這種有機(jī)發(fā)光二極管具有自發(fā)光所帶來(lái)的高效率、低電壓驅(qū)動(dòng)、簡(jiǎn)單的驅(qū)動(dòng)等的特征，因此具有能夠?qū)崿F(xiàn)高清晰度視頻的優(yōu)點(diǎn)。而且，該有機(jī)發(fā)光二極管也有望應(yīng)用于利用有機(jī)物柔韌特性的柔性顯示器以及有機(jī)物電子材料。
[0004]有機(jī)發(fā)光二極管通過(guò)在基板上以薄膜形態(tài)層壓作為發(fā)光層的有機(jī)化合物的方式來(lái)制造。
[0005]但是，有機(jī)發(fā)光二極管所使用的有機(jī)化合物對(duì)雜質(zhì)、氧氣以及水分非常敏感，因此當(dāng)有機(jī)發(fā)光二極管裸露于外部，或者滲入水分或氧氣時(shí)，有機(jī)化合物的特性容易劣化。這種有機(jī)物的劣化現(xiàn)象對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管的發(fā)光特性產(chǎn)生影響，而且縮短壽命。因而為了防止這種現(xiàn)象，需要進(jìn)行用于防止氧氣或水分等進(jìn)入有機(jī)發(fā)光層內(nèi)部的薄膜封裝工藝(ThinFilm Encapsulat1n)。
[0006]另外，隨著市場(chǎng)對(duì)顯示器的大面積化的需求，薄膜封裝工藝用沉積裝置也在改變?yōu)檫m合于大面積基板的沉積。在這種過(guò)程中，用于噴射原料的部分，即噴嘴部的長(zhǎng)度也在變長(zhǎng)。
[0007]圖1為圖示現(xiàn)有封裝工藝用沉積裝置一例的圖。
[0008]參照?qǐng)D1，為了沉積大面積基板10，這種現(xiàn)有沉積裝置20的噴嘴部21的長(zhǎng)度變長(zhǎng)，因而產(chǎn)生在這種噴嘴部21內(nèi)流動(dòng)的原料的壓力降，而且由于這種壓力降，原料沉積的均勻性變差。
[0009]并且，用高壓方式向噴嘴部21提供原料時(shí)，存在原料從噴嘴部21噴射時(shí)液化的問(wèn)題。
[0010]圖2為圖示現(xiàn)有封裝工藝用沉積裝置另一例的圖。
[0011]參照?qǐng)D2，為了解決在圖1所示沉積裝置30中產(chǎn)生的壓力差問(wèn)題，開(kāi)發(fā)了如下沉積裝置30:將一對(duì)短噴嘴部32相鄰結(jié)合，通過(guò)各噴嘴部32的端部單獨(dú)提供原料。
[0012]但是，為了將原料從各供給部33供給到腔室內(nèi)的流動(dòng)部31，并將用于噴射原料的路徑一一噴嘴部32安裝于流動(dòng)部31中，需要在流動(dòng)部31設(shè)置用于安裝及結(jié)合噴嘴部32的額外的結(jié)合空間，而由于這種結(jié)合空間，相鄰的噴嘴部32相互隔開(kāi)設(shè)置，從而在噴嘴部32之間的邊界面處，原料未被噴射，導(dǎo)致原料無(wú)法均勻地沉積于基板10上。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]本發(fā)明是為了解決這種現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題而提出的。其目的是提供一種有機(jī)激光二極管封裝工藝用沉積裝置，該裝置向被劃分的噴射通道供給原料，以解決因壓力降而導(dǎo)致的不均勻的沉積問(wèn)題，而且能夠均勻地對(duì)大面積基板沉積原料。
[0014]上述目的通過(guò)本發(fā)明的以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。即本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置，對(duì)配置在腔室部?jī)?nèi)的有機(jī)發(fā)光二極管基板沉積原料以進(jìn)行封裝(encapsulating)，其特征在于，包括:多個(gè)流動(dòng)部，配置在所述腔室部?jī)?nèi)，內(nèi)部形成有供原料流動(dòng)的流動(dòng)通道，所述多個(gè)流動(dòng)部的端面彼此相接；噴嘴部，一體安裝于所述多個(gè)流動(dòng)部，在所述噴嘴部的內(nèi)部形成有與所述流動(dòng)部連接的噴射通道，用于將從所述流動(dòng)部供給的原料噴射到基板側(cè)；以及原料供給部，向所述多個(gè)流動(dòng)部分別供給氣化的原料。
[0015]而且，在所述噴嘴部?jī)?nèi)可設(shè)置有多個(gè)所述噴射通道，多個(gè)所述噴射通道分別連接于所述流動(dòng)部?jī)?nèi)的各流動(dòng)部。
[0016]而且，在沿所述噴射通道的長(zhǎng)度方向切開(kāi)的剖面中，所述原料的噴射側(cè)的端部可比所述原料的流入側(cè)的端部更長(zhǎng)。
[0017]而且，沿所述噴射通道的長(zhǎng)度方向切開(kāi)的剖面長(zhǎng)度可從原料流入側(cè)的端部向原料噴射側(cè)的端部逐漸變長(zhǎng)。
[0018]而且，所述噴嘴部可包括傾斜部，所述傾斜部配置在所述多個(gè)流動(dòng)部的接觸邊界面的上側(cè)，且其剖面為三角形，所述傾斜部的一表面構(gòu)成任一個(gè)所述噴射通道的表面，所述傾斜部的另一表面構(gòu)成另一個(gè)噴射通道的表面，由此以所述傾斜部為中心，一對(duì)噴射通道彼此相鄰而配置。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，提供一種能夠以均勻的厚度對(duì)大面積的有機(jī)發(fā)光二極管基板沉積原料以進(jìn)行封裝的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置。
[0020]而且，噴嘴部在無(wú)需設(shè)置額外的結(jié)合部件的情況下安裝于流動(dòng)部，無(wú)需在噴嘴部或流動(dòng)部上形成供結(jié)合部件結(jié)合的空間，因此能夠從噴嘴部的全面噴射原料，相鄰的噴嘴部彼此連接，能夠不間斷地噴射原料。
[0021]而且，在噴嘴部貫穿形成多個(gè)噴射通道并加工為一體形狀，由此與將多個(gè)噴嘴接合的情況相比，能夠以簡(jiǎn)易的工藝加工成更加堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為圖示現(xiàn)有封裝工藝用沉積裝置一例的圖。
[0023]圖2為圖示現(xiàn)有封裝工藝用沉積裝置另一例的圖。
[0024]圖3為圖示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置的圖。
[0025]圖4為圖3所示有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置的流動(dòng)部、安裝部和噴嘴部的分解立體圖。
[0026]圖5為圖3所示有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置的操作剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置。
[0028]圖3為圖示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置的圖，圖4為圖3所示有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置的流動(dòng)部、安裝部和噴嘴部的分解立體圖。
[0029]參照?qǐng)D3及圖4，上述有機(jī)發(fā)光二極管封裝工藝用沉積裝置100包括腔室部110、流動(dòng)部120、加熱部(未圖示)、安裝部130、噴嘴部140和原料供給部150。
[0030]上述腔室部110是為了通過(guò)從后述噴嘴部140噴射的原料對(duì)基板10進(jìn)行沉積而在內(nèi)部收容基板10的部件。腔室部110構(gòu)成為可調(diào)節(jié)內(nèi)部壓力，在其內(nèi)部設(shè)置有在進(jìn)行沉積工藝時(shí)用于吸附及固定基板10的固定部111。此外，為了迅速進(jìn)行作業(yè)，固定部111優(yōu)選連接在用于輸送基板10的驅(qū)動(dòng)臺(tái)(未圖示)。
[0031]另外，在腔室部110優(yōu)選設(shè)置有真空閥(未圖示)，使腔室部110的內(nèi)部成為真空狀態(tài)，用以產(chǎn)生與外部的壓力差，并使氣化的原料氣體從噴嘴部140能夠飛到上側(cè)的基板10上。
[0032]上述流動(dòng)部120在腔室部110的內(nèi)部設(shè)置為多個(gè)，并為了將原料噴射到上方，在基板10的下方與基板10相對(duì)設(shè)置。而且，流動(dòng)部120的內(nèi)部形成有可使原料移動(dòng)的流動(dòng)通道121，并形成有貫通部122，使得后述的噴嘴部140能夠朝向基板側(cè)10安裝。
[0033]一對(duì)流動(dòng)部120彼此相鄰而配置，而且相鄰的表面相互接觸而結(jié)合。因此，在流動(dòng)部120的內(nèi)部形成的流動(dòng)通道121也為多個(gè)，相鄰的流動(dòng)通道121以流動(dòng)部120之間的邊界面為基淮不連續(xù)地設(shè)置。
[0034]上述加熱部(未圖示)是加熱流動(dòng)部的部件，該部件防止從外部提供的已氣化的原料在流動(dòng)部120內(nèi)液化。
[0035]上述安裝部130設(shè)置為一對(duì)，并貫穿形成有供給通道131，所述供給通道131為從流動(dòng)通道121接收原料并將其提供至后述噴嘴部140的噴射通道141的通道。
[0036]一對(duì)安裝部130沿長(zhǎng)度方向較長(zhǎng)地附著在噴嘴部140的底面，并被收容于每個(gè)貫通部122內(nèi)，從而安裝于流動(dòng)部120。
[0037]所述噴嘴部140形成為一體，而且為了將從流動(dòng)部120供給的原料向外部噴射，貫穿形成有一對(duì)噴射通道141。各噴射通道141構(gòu)成為與安裝部130的供給通道131連接，并從流動(dòng)部120接