用組合物含有的質(zhì)子性的極性溶劑優(yōu)選為沸點(diǎn)30°C以上且200°C 以下的溶劑。另外，所使用的水優(yōu)選為離子交換水（DeionizedWater:去離子水、DIW)。
[0060] 本發(fā)明的預(yù)濕用組合物含有的質(zhì)子性的極性溶劑優(yōu)選為選自下述成分（a)?（c) 中的至少一種。
[0061] (a)下述式⑴所示的化合物、
[0062] (b)下述式（II)所示的化合物、
[0063] (c)碳原子數(shù)1?4的烷基醇
[0064] 【化1】
[0065] Rci-O-(C2H4-O)n-H…（I)
[0066]【化2】
[0067]Rtl-O-(C3H6-O)n-H…（II)
[0068] [式中，R°表示碳原子數(shù)1?4的直鏈狀或支鏈狀的烷基，n為1或2的整數(shù)。]。
[0069] 作為上述式（I)所示的化合物，可以例示例如：
[0070] 乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇 單丁基醚、乙二醇單異丁基醚、乙二醇單叔丁基醚、
[0071] 二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丙基醚、二乙二醇單異丙基 醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單異丁基醚、和二乙二醇單叔丁基醚。
[0072] 作為上述式（II)所示的化合物，可以例示例如：
[0073] 丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單異丙基醚、丙二醇 單丁基醚、丙二醇單異丁基醚、丙二醇單叔丁基醚、
[0074] 三亞甲基二醇單甲基醚、三亞甲基二醇單乙基醚、三亞甲基二醇單丙基醚、三亞甲 基二醇單異丙基醚、三亞甲基二醇單丁基醚、三亞甲基二醇單異丁基醚、三亞甲基二醇單叔 丁基醚、
[0075] 二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單丙基醚、二丙二醇單異丙基 醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單異丁基醚、和二丙二醇單叔丁基醚。
[0076] 作為碳原子數(shù)1?4的烷基醇，可以例示例如：甲醇、乙醇、丙醇、和丁醇。
[0077]本發(fā)明的預(yù)濕用組合物含有的質(zhì)子性的極性溶劑為選自上述成分（a)?（C)中的 至少一種時(shí)，與水的調(diào)整變得更為容易，因此更優(yōu)選，其中，進(jìn)一步優(yōu)選為乙二醇單甲基醚、 乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚。
[0078] 使用本發(fā)明的預(yù)濕用組合物的太陽(yáng)能電池制造方法中使用的擴(kuò)散材料含有的溶 劑優(yōu)選為有機(jī)溶劑，更優(yōu)選為質(zhì)子性的極性溶劑。通過使擴(kuò)散材料含有的溶劑與預(yù)濕用組 合物含有的溶劑使用性質(zhì)上類似的物質(zhì)，由此如后所詳述那樣，可以更容易地使擴(kuò)散材料 潤(rùn)濕擴(kuò)展。
[0079] 擴(kuò)散材料含有的溶劑、與預(yù)濕用組合物含有的溶劑可以為相同的溶劑，也可以為 不同溶劑的組合。作為該組合，可舉出例如：上述式（I)所示的化合物與上述式（II)所示 的化合物的組合、上述式（II)所示的化合物與碳原子數(shù)1?4的烷基醇的組合。
[0080] 本發(fā)明的預(yù)濕用組合物中，質(zhì)子性的極性溶劑與水的質(zhì)量比優(yōu)選處于質(zhì)子性極性 溶劑/水=90/10?30/70的范圍，更優(yōu)選質(zhì)子性的極性溶劑與水的質(zhì)量比處于質(zhì)子性極 性溶劑/水=90/10?40/60的范圍。以這樣的范圍調(diào)整質(zhì)子性的極性溶劑與水的質(zhì)量比 后的預(yù)濕用組合物能夠大幅抑制擴(kuò)散劑的使用量，即使是較少的擴(kuò)散材料的使用量，也不 產(chǎn)生漏涂、條紋，能夠在基板上良好地形成擴(kuò)散材料的涂布面。
[0081] 本實(shí)施方式中，以使用PGME:DIW= 1:1混合溶劑作為預(yù)濕用組合物210的情況進(jìn) 行說明。
[0082] (第2涂布工序）
[0083] 接著，如圖3 (d)所示，從噴嘴23向基板W的一面Wa供給包含擴(kuò)散劑的擴(kuò)散材料 200,并進(jìn)行旋涂，由此在一面Wa的整個(gè)面形成擴(kuò)散劑的涂膜（圖2的步驟S122)。后述詳 細(xì)的涂布條件。
[0084] 擴(kuò)散材料200為具有包含雜質(zhì)元素的擴(kuò)散劑和溶劑的液狀物。作為雜質(zhì)元素，可 舉出上述的13族元素或15族元素。另外，作為其他雜質(zhì)元素，可舉出鋅、銅等。
[0085] 作為擴(kuò)散材料200中含有的擴(kuò)散劑，可以使用：包含雜質(zhì)元素的氧化物、鹵化物、 硝酸鹽、硫酸鹽等無機(jī)塩、乙酸等有機(jī)酸的鹽、含有雜質(zhì)元素的有機(jī)化合物。
[0086] 作為擴(kuò)散劑，具體而言，可舉出：
[0087] B2O3、（RO) 3B、RB(OH) 2、R2B(OH)等硼化合物；
[0088] (RO) 3Ga、RGa(OH)、RGa(OH) 2、R2Ga〔OC(CH3) =CH-CO- (CH3)〕等鎵化合物；
[0089] P205、NH4H2 ?P04、（RO) 3P、（RO)2P(OH)、（RO) 3P0、（RO) 2P203 (OH) 3、（RO)P(OH) 2等磷 化合物；
[0090] H3AsO3、H2AsO4、（RO) 3As、（RO) 5As、（RO)2As(OH)、R3AsO、RAs=AsR等砷化合物；
[0091] H3SbO4、（RO) 3Sb、SbX3、SbOX、Sb4O5X等銻化合物；
[0092] Zn(OR)2、ZnX2、Zn(NO2)2等鋅化合物。上述式中，R表示鹵原子、烷基、烯基或芳基， X表示鹵原子。這些化合物中，可以優(yōu)選使用氧化硼（B203)、氧化磷（P2O5)等。
[0093] 本實(shí)施方式中，以使用氧化硼作為擴(kuò)散劑的情況進(jìn)行說明。
[0094] 作為擴(kuò)散材料200中含有的溶劑，可以使用上述的預(yù)濕所使用的預(yù)濕用組合物 210中例示的溶劑。擴(kuò)散材料200中含有的溶劑與預(yù)濕中使用的預(yù)濕用組合物210優(yōu)選使 用相同的溶劑。本實(shí)施方式中，以使用PGME:DIW= 1:1混合溶劑作為擴(kuò)散材料200中含有 的溶劑的情況進(jìn)行說明。
[0095] 另外，為了與擴(kuò)散同時(shí)地向基板W上形成絕緣膜、平坦化膜、或保護(hù)膜，擴(kuò)散材料 200可以含有以R1nSi(OR2)4_n所示的烷氧基硅烷中的至少一種作為起始原料的水解-縮聚 物。需要說明的是，式中R1為氫原子、或1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，R2為1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，n表示1? 3的整數(shù)。
[0096] 在此，作為上述烷氧基硅烷所具有的1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，可舉出例如：烷基、芳基、烯 丙基、縮水甘油基。其中，優(yōu)選烷基和芳基。
[0097] 燒基的碳原子數(shù)優(yōu)選1?5,可舉出例如：甲基、乙基、丙基、丁基等。另外，燒基可 以為直鏈狀，也可以為支鏈狀，氫可以被氟取代。作為芳基，優(yōu)選碳原子數(shù)6?20的基團(tuán)， 可舉出例如：苯基、萘基等。
[0098] R1nSi(OR2)4_n所示的烷氧基硅烷中，關(guān)于n= 1?3物質(zhì)，可以分別例示以下的化 合物。
[0099] (i)n= 1時(shí)，為甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三丙氧基硅烷、乙基 三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三丙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、和丙基三乙氧 基娃燒等燒基二燒氧基娃燒；
[0100] 苯基二甲氧基娃燒、和苯基二乙氧基娃燒等苯基二燒氧基娃燒；等
[0101] (ii)n= 2時(shí)，為二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二甲基二丙氧基硅 燒、^乙基^甲氧基娃燒、^乙基^乙氧基娃燒、^乙基^丙氧基娃燒、^丙基^甲氧基娃 燒、和^丙基^乙氧基娃燒等^燒基^燒氧基娃燒；
[0102] _苯基甲氧基娃燒、和^苯基乙氧基娃燒等^苯基^燒氧基娃燒；等
[0103] (iii)n= 3時(shí)，三甲基甲氧基硅烷、三甲基乙氧基硅烷、三甲基丙氧基硅烷、三乙 基甲氧基硅烷、三乙基乙氧基硅烷、三乙基丙氧基硅烷、三丙基甲氧基硅烷、和三丙基乙氧 基娃燒等二燒基燒氧基娃燒；
[0104] 二苯基甲氧基娃燒、二苯基乙氧基娃燒等二苯基燒氧基娃燒；等。
[0105] 其中，可以優(yōu)選使用甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、和甲基三丙氧基硅烷 等甲基二燒氧基娃燒。
[0106] 擴(kuò)散材料200的粘度優(yōu)選為0. 7mPa，s以上且50mPa，s以下（0. 7cP以上且50cP 以下）。若粘度為〇. 7mPa*s以上且50mPa*s以下，則不易產(chǎn)生涂膜的涂布不均勻，并且容 易得到充分的膜厚的涂膜。另外，能夠在抑制旋涂時(shí)的基板旋轉(zhuǎn)速度的條件下在一面Wa涂 布擴(kuò)展擴(kuò)散材料200,擴(kuò)散材料200的飛沫不易附著到基板W的另一面。
[0107] 通過旋涂這樣的擴(kuò)散材料200,并持續(xù)旋轉(zhuǎn)基板W，由此擴(kuò)散材料200中含有的溶 劑揮發(fā)，在一面Wa的整個(gè)面形成擴(kuò)散劑的涂膜。干燥后得到的擴(kuò)散劑的涂膜的膜厚優(yōu)選為 3〇ooA以上且iooooA以下。
[0108] 在此，使用圖4對(duì)圖3(c) (d)所示的預(yù)濕、和擴(kuò)散劑的涂膜形成進(jìn)一步進(jìn)行說明。 圖4 (a)是與圖3 (c)對(duì)應(yīng)的局部放大圖，圖4(b)是與圖3(d)對(duì)應(yīng)的局部放大圖。
[0109] 首先，如圖4(a)所示，在一面Wa旋涂預(yù)濕用組合物210時(shí)，預(yù)濕用組合物210邊 積存在形成于一面Wa的凹凸形狀T的槽部分DR，邊潤(rùn)濕擴(kuò)展到基板W的端部。即，形成有 凹凸形狀T的一面Wa與為鏡面的情況相比更易于保持預(yù)濕用組合物210,易于維持一面Wa 的整個(gè)面被膜狀的預(yù)濕用組合物210潤(rùn)濕的狀態(tài)。
[0110] 接著，如圖4(b)所示，在一面Wa供給擴(kuò)散材料200并進(jìn)行旋涂。圖中，用白色箭 頭表示出擴(kuò)散材料200潤(rùn)濕擴(kuò)展的樣子。
[0111] 一般而言，希望在表面形成有凹凸形狀的基板的表面旋涂液狀物的情況下，在基 板表面移動(dòng)的液狀物被凹凸形狀阻礙移動(dòng)。因此，與將液狀物旋涂于表面為鏡面的基板的 情況相比，液狀物不易潤(rùn)濕擴(kuò)展。
[0112] 但是，本實(shí)施方式中，通過預(yù)濕而在一面Wa形成預(yù)濕用組合物210的膜，且預(yù)濕用 組合物210積存在槽部分DR，由此緩和了表面凹凸。因此，在旋涂擴(kuò)散材料200時(shí)，與未預(yù) 濕的情況相比能夠更容易且時(shí)間更短地潤(rùn)濕擴(kuò)展擴(kuò)散材料200。
[0113] 另外，擴(kuò)散材料200邊與形成在一面Wa的預(yù)濕用組合物210的膜相容，邊在旋涂 中的離心力下擴(kuò)展到基板W的端部。圖中，用黑箭頭表示出擴(kuò)散材料200溶解于預(yù)濕用組 合物210的樣子。
[0114] 本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池的制造方法中，通過在一面Wa形成凹凸形狀T，從而在 槽部分DR中良好地保持預(yù)濕用組合物210,因此，易于邊將擴(kuò)散材料200溶解于預(yù)濕用組合 物210,邊使其擴(kuò)展到基板W的端部。預(yù)濕用組合物210的膜形成于一面Wa的整個(gè)面，因此 通過上述效果，能夠在一面Wa的整個(gè)面涂布擴(kuò)展擴(kuò)散材料200,并在一面Wa的整個(gè)面容易 地形成擴(kuò)散劑的涂膜。
[0115] 另外，即使擴(kuò)散材料200的供給量為少量，所使用的擴(kuò)散劑為少量，也可以有效地 在一面Wa的整個(gè)面潤(rùn)濕擴(kuò)展擴(kuò)散材料200,在一面Wa的整個(gè)面容易地形成擴(kuò)散劑的涂膜。
[0116] 另外，如上所述，擴(kuò)散材料200邊與預(yù)濕用組合物210的膜相溶邊進(jìn)行潤(rùn)濕擴(kuò)展， 因此在本實(shí)施方式的制造方法中，可邊將擴(kuò)散材料200與供給到一面Wa上時(shí)的粘度相比更 低粘度化，邊進(jìn)行涂布。例如，在起初就準(zhǔn)備低粘度的擴(kuò)散材料并進(jìn)行旋涂時(shí)，擴(kuò)散材料會(huì) 繞到基板的另一面?zhèn)?，從而污染另一面的可能性高。但是，像本?shí)施方式的制造方法那樣， 邊將供給的擴(kuò)散材料200低粘度化邊進(jìn)行旋涂時(shí)，污染另一面的可能性小，能夠省去洗滌 另一面的工序。
[0117] (第1雜質(zhì)擴(kuò)散層形成工序）
[0118] 接著，如圖3(e)所示，對(duì)形成了擴(kuò)散劑的涂膜的基板W進(jìn)行熱處理，使雜質(zhì)元素向 基板W擴(kuò)散，從而在基板的表面形成雜質(zhì)擴(kuò)散層（圖2的步驟S13)。