專利名稱：半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)的配置設(shè)備單元狀態(tài)控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中對(duì)配置的設(shè)備單元狀態(tài)進(jìn)行控制的方法，特別涉及通過(guò)單元監(jiān)控模塊對(duì)控制系統(tǒng)中配置的各設(shè)備的實(shí)際工作能力的自動(dòng)控制方法，由此使設(shè)備的整個(gè)生產(chǎn)力達(dá)到最大。
通常，用高精密工藝制造半導(dǎo)體器件。配置在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的高功能設(shè)備用于高精密加工。
為提高設(shè)備的工作效率，工作人員通過(guò)控制系統(tǒng)精心監(jiān)視設(shè)備的工作。
如

圖1所示，半導(dǎo)體制造設(shè)備3設(shè)置在生產(chǎn)線上。批量的加工件(lots)(沒示出)引入設(shè)備3中待加工。
當(dāng)批量加工件引入設(shè)備中并加工時(shí)，操作員用與設(shè)備3聯(lián)機(jī)連接的操作員接口個(gè)人計(jì)算機(jī)O/I PC2精心監(jiān)視設(shè)備3的工作。
設(shè)備3分別用設(shè)備服務(wù)器4聯(lián)機(jī)連接到主計(jì)算機(jī)1。主計(jì)算機(jī)1聯(lián)機(jī)連接至O/I PC2。
一旦操作員把基本的制造數(shù)據(jù)，例如，在設(shè)備3中待加工的批量加工件的ID(標(biāo)識(shí)符)和用于對(duì)批量加工件進(jìn)行加工的設(shè)備3的ID(標(biāo)識(shí)符)輸進(jìn)主計(jì)算機(jī)1，主計(jì)算機(jī)1根據(jù)操作員輸入的基本的制造數(shù)據(jù)，檢索其用于加工批量加工件的適當(dāng)?shù)募庸l件數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)。
此后，操作員檢查加工條件數(shù)據(jù)，并輸入加工起始指令或加工結(jié)束指令。之后，批量加工件在設(shè)備3的內(nèi)外迅速被跟蹤。
此時(shí)，設(shè)備3用其操作單元如裝載部件和卸載部件(沒畫)，室5等對(duì)批量加工件進(jìn)行加工。
設(shè)備3對(duì)批量加工件進(jìn)行加工時(shí)，操作員連續(xù)精心監(jiān)視設(shè)備3的各單元的工作，判別各單元的工作狀態(tài)。如果判明單元中的某些單元如室5中的某個(gè)室由于它正在維修或運(yùn)轉(zhuǎn)出了故障而處于不工作狀態(tài)中，則確定包括處在不工作狀態(tài)的某些室的整個(gè)設(shè)備處于不工作狀態(tài)中。因此，關(guān)閉包括處于不工作狀態(tài)的某些室的設(shè)備，以防止出現(xiàn)與不工作狀態(tài)室有關(guān)的一些問(wèn)題。
生產(chǎn)線中，輸送裝置，例如，自動(dòng)滑行引導(dǎo)車(auto guided vehicle(AGV))6配置在設(shè)備3之間和庫(kù)房(bay)之間，以自動(dòng)輸送裝加工件的盒子。AGV 6有助于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化。
AGV 6由與主計(jì)算機(jī)1聯(lián)機(jī)通信被控制。主計(jì)算機(jī)1把工作指令連續(xù)傳送給AGV 6，因此，AGV 6能無(wú)任何工作障礙地迅速進(jìn)行它的產(chǎn)品運(yùn)輸功能。
但是，這種常規(guī)控制系統(tǒng)有一些問(wèn)題。
首先，即使設(shè)備中只有幾個(gè)單元處于不工作狀態(tài)時(shí)，操作員認(rèn)為整個(gè)設(shè)備處于不工作狀態(tài)。結(jié)果，不能有效控制設(shè)備的整個(gè)生產(chǎn)力。
第二，操作員很難實(shí)時(shí)識(shí)別單元的工作狀態(tài)。包括處于不工作狀態(tài)的單元的設(shè)備會(huì)被認(rèn)為是處在工作狀態(tài)。之后，操作員給設(shè)備輸入正常加工條件數(shù)據(jù)。這時(shí)，過(guò)多的加工件送入設(shè)備中，超出了設(shè)備的生產(chǎn)能力。這會(huì)造成過(guò)量的加工件送入設(shè)備中并累積在設(shè)備中。
第三，AGV在無(wú)操作員干預(yù)的情況下工作會(huì)增加進(jìn)入設(shè)備并累積在設(shè)備中的過(guò)量的加工件數(shù)量。
第四，過(guò)量的加工件送入并累積在設(shè)備中時(shí)，整個(gè)生產(chǎn)效率會(huì)降低。
本發(fā)明的目的是，通過(guò)實(shí)時(shí)識(shí)別設(shè)備中單元的工作狀態(tài)，并按設(shè)備的實(shí)際工作能力進(jìn)行加工，以有效控制設(shè)備的整個(gè)生產(chǎn)力。
本發(fā)明的另一目的是，按照設(shè)備的實(shí)際工作能力控制送進(jìn)設(shè)備中的加工件的數(shù)量，以防止過(guò)量的加工件送入并累積在設(shè)備中。
為實(shí)現(xiàn)上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)，半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的配置設(shè)備單元狀態(tài)控制方法包括以下步驟接收來(lái)自設(shè)備服務(wù)器的設(shè)備單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；確定設(shè)備中是否有設(shè)備出現(xiàn)了不正常的單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；如果確定設(shè)備中的某個(gè)設(shè)備出現(xiàn)了不正常的單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，確定某設(shè)備中的全部單元是否處于不工作狀態(tài)，如果確定某設(shè)備的全部單元均處于不工作狀態(tài)，則阻截下載到某設(shè)備中的全部加工條件數(shù)據(jù)；如果確定某設(shè)備的全部單元不是處于不工作狀態(tài)，識(shí)別某設(shè)備的全部單元之中處于不工作狀態(tài)的單元，并阻截下載到處于不正常工作狀態(tài)的單元的某些加工條件數(shù)據(jù)。
最好在阻截下載到某設(shè)備的全部加工條件數(shù)據(jù)的步驟之后，或在阻截下載到處于不工作狀態(tài)的單元的某些加工條件數(shù)據(jù)之后，在半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)中用于對(duì)配置設(shè)備的單元狀態(tài)進(jìn)行控制的方法還包括下列步驟把設(shè)備單元狀態(tài)消息下載到某設(shè)備中；并把傳送設(shè)備控制消息下載到傳送設(shè)備中。
設(shè)備單元狀態(tài)消息和傳送設(shè)備控制消息最好是流函數(shù)消息。
因此，本發(fā)明提供了相應(yīng)于設(shè)備實(shí)際工作能力的適當(dāng)控制的生產(chǎn)力。
通過(guò)參考附圖對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)將會(huì)更清楚。
圖1是半導(dǎo)體制造設(shè)備的常規(guī)控制系統(tǒng)的方框圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的方框圖；圖3是本發(fā)明的配置在控制系統(tǒng)中的半導(dǎo)體制造設(shè)備的單元的狀態(tài)控制方法的流程圖；圖4是本發(fā)明的配置在控制系統(tǒng)中的半導(dǎo)體制造設(shè)備的單元的狀態(tài)控制方法的第一實(shí)施例的流程圖。
以下將參見展示出本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的附圖更充分地說(shuō)明本發(fā)明。但是，本發(fā)明可以按許多不同的形式實(shí)施，本發(fā)明不受這里所述實(shí)施例的限制。提供這些實(shí)施例只是為了更充分和完全地公開發(fā)明，并將本發(fā)明的范圍完全告知本領(lǐng)域的技術(shù)人員。
如圖2所示，主計(jì)算機(jī)1包括單元監(jiān)控模塊10，它接收從設(shè)備3通過(guò)各設(shè)備服務(wù)器4提供的設(shè)備3的單元的實(shí)時(shí)工作狀態(tài)數(shù)據(jù)。
當(dāng)單元監(jiān)控模塊10插入主計(jì)算機(jī)1時(shí)，報(bào)告模塊20被插入每個(gè)設(shè)備服務(wù)器4中，因此，設(shè)備3的單元的各個(gè)工作狀態(tài)數(shù)據(jù)能實(shí)時(shí)報(bào)告給單元監(jiān)控模塊10。
單元監(jiān)控模塊10接收由設(shè)備3通過(guò)設(shè)備服務(wù)器4輸入的單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)視設(shè)備3的單元的工作狀態(tài)。按照識(shí)別結(jié)果，單元監(jiān)控模塊10控制該加工結(jié)果設(shè)備3按其實(shí)際操作的可能性進(jìn)行加工。
換句話說(shuō)，如果識(shí)別出設(shè)備3的某設(shè)備的某單元，例如，第一設(shè)備3a的第一室5a，處于其不工作的狀態(tài)，單元監(jiān)控模塊10阻截下載到第一室5a的加工(process)條件數(shù)據(jù)，并且，只把加工條件數(shù)據(jù)下載給其它室，即第一設(shè)備3a的第二室5b和第三室5c。同時(shí)，單元監(jiān)控模塊10控制AGV 6，把原來(lái)要裝入第一室5a的加工件裝入其它設(shè)備中。結(jié)果，按其操作能力把適當(dāng)數(shù)量的加工件裝入第一設(shè)備3a中并進(jìn)行加工。
參見圖3，將更詳細(xì)說(shuō)明半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元的狀態(tài)控制方法。首先，單元監(jiān)控模塊10實(shí)時(shí)接收從設(shè)備3通過(guò)服務(wù)器4提供的單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)。(S10)，從而，單元監(jiān)控模塊10立即識(shí)別設(shè)備3的單元的工作狀態(tài)，例如，室5的工作狀態(tài)。
之后，單元監(jiān)控模塊109確定設(shè)備3是否有設(shè)備出現(xiàn)不正常的單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，(S20)。
如果確定沒有設(shè)備出現(xiàn)不正常的單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，所有的設(shè)備3均處于工作狀態(tài)中，單元監(jiān)控模塊10返回到該控制過(guò)程的第一步驟(S10)接收設(shè)備3的單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)。
反之，如果確定設(shè)備3的某設(shè)備出現(xiàn)不正常單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，單元監(jiān)控模塊10確定某設(shè)備的全部單元是否處于不工作狀態(tài)(S30)。
如果確定某設(shè)備的全部單元均處于不工作狀態(tài)，單元監(jiān)控模塊10把確定的結(jié)果輸入主計(jì)算機(jī)1中，因此，能阻截下載給某設(shè)備的全部加工條件數(shù)據(jù)，(S40)。結(jié)果，包括處于不工作狀態(tài)的單元的某設(shè)備立即與正常工作流程分開。例如，如果第一設(shè)備3a的第一、第二和第三室5a,5b和5c均處于不工作狀態(tài)，單元監(jiān)控模塊10阻截下載到第一設(shè)備3a的全部加工條件數(shù)據(jù)，因此，第一設(shè)備3a可立即與處于工作狀態(tài)的其它設(shè)備的處理流程分開。
反之，如果確定某設(shè)備全部單元不是處于不工作狀態(tài)，單元監(jiān)控模塊10檢索不正常單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，并識(shí)別某設(shè)備的全部單元中處于不正常工作狀態(tài)的單元。之后，單元監(jiān)控模塊10把識(shí)別結(jié)果送入主計(jì)算機(jī)1，除處于工作狀態(tài)的單元的加工條件數(shù)據(jù)之外，阻截下載給處于不工作狀態(tài)單元的加工條件數(shù)據(jù)。(S51和S52)，結(jié)果，處于不工作狀態(tài)的單元與處于工作狀態(tài)單元的正常加工流程立即分開，例如，如果識(shí)別出第一設(shè)備3a的第一室5a處于不工作狀態(tài)，其它室，即，第二室5b和第三室5c，處于工作狀態(tài)，單元監(jiān)控模塊10把識(shí)別結(jié)果輸入主計(jì)算機(jī)10，以便把加工條件數(shù)據(jù)‘b’和‘c’下載到第二室5b和第三室5c，而不把加工條件數(shù)據(jù)‘a(chǎn)’下載給第一室5a，因此，第一室5a可與由第二室5b和第三室5c進(jìn)行的正常加工流程分開，除處于不工作狀態(tài)的第一室5a之外，第一設(shè)備3a可用處于工作狀態(tài)的第二室5b和第三室5c迅速進(jìn)行加工。結(jié)果，第一設(shè)備3a可按其工作能力進(jìn)行加工。
常規(guī)控制系統(tǒng)中，盡管只有設(shè)備的幾個(gè)單元處于不工作狀態(tài)，而其它單元仍處于工作狀態(tài)，也認(rèn)為整個(gè)設(shè)備處于不工作狀態(tài)，造成整個(gè)設(shè)備的生產(chǎn)力的控制效率降低。
但是，在本發(fā)明的控制系統(tǒng)中，包括處于不工作狀態(tài)單元的某設(shè)備可與處于工作狀態(tài)的其它設(shè)備實(shí)時(shí)區(qū)分開。只有某設(shè)備的處于不工作狀態(tài)的單元與正常加工流程分開，因此，某設(shè)備的其它單元仍可進(jìn)行正常加工。從而，某設(shè)備可在處于其工作狀態(tài)的單元中進(jìn)行加工。這就是說(shuō)，能有效控制某設(shè)備的整個(gè)生產(chǎn)力。
另一方面，如圖4所示，在阻截下載到某設(shè)備的全部加工條件數(shù)據(jù)的步驟S40之后，或阻截下載到處于不工作狀態(tài)的單元的某加工條件數(shù)據(jù)的步驟S50之后，單元監(jiān)控模塊10可把其上加載了某設(shè)備的單元狀態(tài)數(shù)據(jù)的設(shè)備單元狀態(tài)消息經(jīng)過(guò)聯(lián)機(jī)連接到某設(shè)備的某設(shè)備服務(wù)器下載給某設(shè)備的監(jiān)視器，因此，操作員可用眼睛識(shí)別出現(xiàn)了錯(cuò)誤的某設(shè)備的單元的狀態(tài)。(S61)，例如，單元監(jiān)控模塊10將第一設(shè)備3a的單元狀態(tài)數(shù)據(jù)處理作為正文數(shù)據(jù)，例如，“第一設(shè)備的第一室處于停機(jī)狀態(tài)，其第二室處于運(yùn)行狀態(tài)，第三室處于運(yùn)行狀態(tài)”，并把其上加載了正文數(shù)據(jù)的設(shè)備單元狀態(tài)消息通過(guò)設(shè)備服務(wù)器4a下載給第一設(shè)備3a的監(jiān)視器(未示出)。由此，操作員可使第一設(shè)備按其工作能力進(jìn)行加工。
設(shè)備單元狀態(tài)消息最好是允許平滑通信的流函數(shù)(stream function)消息。
此后，操作員采取適當(dāng)動(dòng)作，如修復(fù)第一設(shè)備3a。
之后，單元監(jiān)控模塊10按某設(shè)備的工作狀態(tài)，下載能控制傳送設(shè)備，如AGV 6，的傳送設(shè)備控制消息。(S62)，而且，傳送設(shè)備按某設(shè)備的工作能力分配加工件。結(jié)果，當(dāng)加工件累積在某設(shè)備中時(shí)能防止出現(xiàn)其它的問(wèn)題。例如，AGV 6僅把能在第二室5b和第三室5c中處理的加工件中的某些加工件加入第一設(shè)備3a中，并把其它加工件分配和加入第n設(shè)備的3n中其中所有的室5均處于工作狀態(tài)。而且，按設(shè)備3a的工作能力分配加工件。結(jié)果，能防止加工件累積在第一設(shè)備3a中。
常規(guī)控制系統(tǒng)中，即使設(shè)備的某些單元處于不工作狀態(tài)，也可能認(rèn)為該設(shè)備是處于工作狀態(tài)，并輸入正常加工條件指令，這會(huì)造成超過(guò)設(shè)備的實(shí)際工作能力而把過(guò)多的加工件加入到設(shè)備中并累積在設(shè)備中。而且，用AGV能使設(shè)備中累積的加工件增多。
但是，按本發(fā)明，通過(guò)單元監(jiān)控模塊10控制傳送設(shè)備，按設(shè)備的工作狀態(tài)分配加工件。因此，按設(shè)備本身的工作能力把加工件分配并加入到設(shè)備3中。結(jié)果能預(yù)先防止出現(xiàn)與加工件的累積相關(guān)的問(wèn)題。
而且，按照本發(fā)明，能在沒有操作員干預(yù)的情況下進(jìn)行全部數(shù)據(jù)處理。結(jié)果使用AGV 6的自動(dòng)化效率達(dá)到最大。
與設(shè)備單元狀態(tài)消息相同，傳送設(shè)備控制消息也最好是允許平滑(smooth)通信的流函數(shù)消息。
此后，單元監(jiān)控模塊10重復(fù)進(jìn)行上述步驟。結(jié)果，能有效控制設(shè)備3的全部生產(chǎn)力。
如上所述，按照本發(fā)明，通過(guò)單元監(jiān)控模塊自動(dòng)控制設(shè)備的工作能力，使設(shè)備的生產(chǎn)力達(dá)到最大。
本發(fā)明能應(yīng)用于設(shè)置在生產(chǎn)線上并需要預(yù)控制的半導(dǎo)體制造設(shè)備中，不會(huì)使效率造成任何損壞。
以上參考所述實(shí)施例說(shuō)明了本發(fā)明，但是，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，顯然會(huì)有許多替換、改進(jìn)和變化。因此，本發(fā)明包括全部這些替換、改進(jìn)和變化，它們都全部落入本發(fā)明權(quán)利要求書確定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)。
如上所述，包括主計(jì)算機(jī)中的預(yù)定單元監(jiān)控模塊的半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)中配置設(shè)備的單元的狀態(tài)控制方法，實(shí)時(shí)識(shí)別設(shè)備的單元的狀態(tài)。由此，能有效控制設(shè)備的整個(gè)生產(chǎn)能力，其次，能按各設(shè)備的工作能力而把加工件分配和送進(jìn)設(shè)備中，以防止加工件集中和累積在設(shè)備中。
權(quán)利要求
1．在半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)中用于對(duì)配置設(shè)備的單元的狀態(tài)進(jìn)行控制的方法，其特征是，包括以下步驟接收來(lái)自對(duì)應(yīng)于所述設(shè)備中各設(shè)備的設(shè)備服務(wù)器的所述設(shè)備的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；確定所述設(shè)備中是否有設(shè)備出現(xiàn)不正常單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；如果確定某設(shè)備出現(xiàn)不正常單元工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，確定所述某設(shè)備的所有單元是否處于不工作狀態(tài)；如果確定所述某設(shè)備的所有單元均處于不工作狀態(tài)，則阻截下載到所述某設(shè)備的所有加工條件數(shù)據(jù)；和如果確定所述某設(shè)備的所有單元不是處于不工作狀態(tài)，則識(shí)別所述某設(shè)備的所有單元中處于不工作狀態(tài)的單元，并阻截下載到處于不工作狀態(tài)的所述單元的某些加工條件數(shù)據(jù)。
2．按照權(quán)利要求1的方法，其特征是，在阻截下載給所述某設(shè)備的全部加工條件數(shù)據(jù)的步驟之后，或在阻截下載給處于所述不工作狀態(tài)的所述單元的某些加工條件數(shù)據(jù)之后，還包括以下步驟把設(shè)備單元狀態(tài)消息下載給所述某設(shè)備；和把傳送設(shè)備控制消息下載給傳送設(shè)備。
3．按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，所述設(shè)備單元狀態(tài)消息和所述傳送設(shè)備控制消息是流函數(shù)消息。
全文摘要
一種包括主計(jì)算機(jī)的預(yù)定單元監(jiān)控模塊的半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備的狀態(tài)控制方法,通過(guò)單元監(jiān)控模塊,實(shí)時(shí)識(shí)別設(shè)備的單元工作狀態(tài),并控制設(shè)備,按各設(shè)備的實(shí)際工作能力對(duì)加工件進(jìn)行加工。結(jié)果,能有效控制設(shè)備的整個(gè)生產(chǎn)力,并按設(shè)備的工作能力把待處理的加工件分配進(jìn)設(shè)備中。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1223457SQ9811673
公開日1999年7月21日 申請(qǐng)日期1998年7月30日 優(yōu)先權(quán)日1998年1月14日
發(fā)明者林龍一 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社