專利名稱：掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電路的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生方法，更具體地涉及不受數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)格式限制的一種掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生方法和系統(tǒng)。
參閱圖8，描繪了一種常規(guī)的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生方法。在常規(guī)的系統(tǒng)中，由掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)801產(chǎn)生的掩模圖形數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成如GDS(ECMA-96)之類的數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)格式，并作為數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)605輸出在磁帶之類的記錄介質(zhì)上。所產(chǎn)生的掩模圖形數(shù)據(jù)在隨后的步驟中使用。
掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)801有一陰極射線管(CRT)顯示器之類的顯示部件606并有一進(jìn)行輸入/輸出(I/O)的鍵盤607(用戶接口)。
圖10和11繪示出掩模圖形數(shù)據(jù)的分級結(jié)構(gòu)。從早期的專利，例如日本專利公報昭61-45364中可以找到以帶方框、次框的方框、以及最低等級方框的基元等等的分級數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)公開的方框布局。
當(dāng)如圖10和11中所示產(chǎn)生分級結(jié)構(gòu)的掩模圖形數(shù)據(jù)1001時，若是置于較低分級等級中的布局基元數(shù)據(jù)的布局角度必須限于采用以90度為單位的數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)格式，則掩模圖形產(chǎn)生系統(tǒng)801的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生功能802就必須限于總是產(chǎn)生采用以90度為單位的布局基元數(shù)據(jù)，以避免與數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)格式限制相沖突。
然而，這種方法無法用于產(chǎn)生帶有除90度之外如15度、30度等等之類任意布局角度的布局基元數(shù)據(jù)。
另一方面，日本專利公報平A-7-146945公開了一種數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，它在一個字處理器或一個桌面發(fā)行(DTP)系統(tǒng)上擴(kuò)展以任何角度旋轉(zhuǎn)的連續(xù)圖形。圖9示出了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中由日本專利公報平A-7-146945公開的功能是在圖8中所示的常規(guī)掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生功能部件802中實現(xiàn)的，盡管由上述專利公報公開的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)不是一個掩模圖形產(chǎn)生系統(tǒng)，但在下面描述的系統(tǒng)中應(yīng)用了具有以任何旋轉(zhuǎn)角度擴(kuò)展連續(xù)圖形功能的上述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，以產(chǎn)生掩模圖形數(shù)據(jù)。這一系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)也是由日本發(fā)明人發(fā)明的。
如圖9中所示，掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生的功能部件802具有特等基元產(chǎn)生裝置903和擴(kuò)展裝置(補(bǔ)償?shù)难b置)904，特等基元產(chǎn)生裝置有一旋轉(zhuǎn)角度存儲模件902，它由鍵盤607(見圖8)經(jīng)一控制模件901向存儲器中存入角度數(shù)據(jù)θ(見圖13中的1301)，并且特等基元產(chǎn)生裝置903產(chǎn)生具有從布局基元數(shù)據(jù)(圖10和11中的1002)存入存儲器中任意角度θ的特等基元。擴(kuò)展裝置(補(bǔ)償?shù)难b置)904將特等基元在掩模圖形數(shù)據(jù)上擴(kuò)展成不帶分級結(jié)構(gòu)的繪圖數(shù)據(jù)(圖12和13中的1201)。這種功能可以在低于掩模圖形數(shù)據(jù)(圖12和13中的1001)的分級等級中產(chǎn)生帶有任意θ偽角度的布局基元數(shù)據(jù)。實際上，布局基元數(shù)據(jù)是在掩模圖形數(shù)據(jù)1001中擴(kuò)展的繪圖數(shù)據(jù)1202(見圖12和13)。
在對本發(fā)明進(jìn)行調(diào)研當(dāng)中遇到以下的問題。即，對于上述有分級結(jié)構(gòu)的掩模圖形數(shù)據(jù)(見圖10和11中的1001)，在布局基元數(shù)據(jù)上反映出改變成低等級的布局基元數(shù)據(jù)(見圖10和11中的1002)。在另一方面，改變成有θ偽角度的布局基元數(shù)據(jù)(圖12和13中的1201)，則是在布局基元數(shù)據(jù)上未作反映的實際擴(kuò)展的繪圖數(shù)據(jù)。
也就是說，分級的等級低于掩模圖形數(shù)據(jù)的布局基元數(shù)據(jù)在擴(kuò)展成繪圖數(shù)據(jù)(即由分級的補(bǔ)償?shù)牟烤只獢?shù)據(jù)產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù))之后經(jīng)一任意角度θ的旋轉(zhuǎn)。在此情況下，如圖12中所示布局基元數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成沒有分級結(jié)構(gòu)的繪圖數(shù)據(jù)，以致不可能由此掩模圖形數(shù)據(jù)1001描繪布局基元數(shù)據(jù)。因而，當(dāng)出現(xiàn)校正原始布局基元數(shù)據(jù)時，就必需予以校正而后展開、擴(kuò)展或再作旋轉(zhuǎn)。
更具體地說，在手動刪除帶偽旋轉(zhuǎn)角度θ的布局基元數(shù)據(jù)(繪圖數(shù)據(jù))并展開校正的布局基元數(shù)據(jù)之后，就必需從布局基元數(shù)據(jù)再產(chǎn)生帶角度θ的特等基元數(shù)據(jù)并將特等基元數(shù)據(jù)在掩模圖形數(shù)據(jù)上擴(kuò)展成沒有分級結(jié)構(gòu)的繪圖數(shù)據(jù)。
此時，用戶就有可能標(biāo)定錯誤的布局坐標(biāo)、旋轉(zhuǎn)角度θ、以及布局基元數(shù)據(jù)的位置(存儲位置或地址)。
本發(fā)明尋求解決與上述現(xiàn)有技術(shù)有關(guān)的問題。本發(fā)明的目的是要提供一種產(chǎn)生具有分級結(jié)構(gòu)的掩模圖形數(shù)據(jù)的方法，它在校正分級等級低于掩模圖形數(shù)據(jù)的布局基元數(shù)據(jù)時自動反映出對布局基元數(shù)據(jù)的改變，省略去需由用戶進(jìn)行的手工刪除處理或布局處理，以避免要在掩模圖形數(shù)據(jù)中展開的布局基元數(shù)據(jù)上可能會向布局?jǐn)?shù)據(jù)中引入人工誤差。
本發(fā)明的另一目的是要提供一種執(zhí)行此方法的系統(tǒng)或程序。
本發(fā)明此外的其它目的將會在整個的公開內(nèi)容中明白可見。
為了實現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的第一種方式提供了一種掩模圖形數(shù)據(jù)的產(chǎn)生方法。該方法包括的步驟有，按照布局基元數(shù)據(jù)的進(jìn)入布局?jǐn)?shù)據(jù)將布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元數(shù)據(jù)以下，將偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下，并在另一方面將布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到偽基元數(shù)據(jù)上；并經(jīng)由將分級置于偽基元數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)擴(kuò)展的布局?jǐn)?shù)據(jù)標(biāo)定的角度旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)。
按照第二種方式，提供了一種掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括讀入布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)輸入裝置；根據(jù)所述布局?jǐn)?shù)據(jù)將布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元以下并將所述偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下以及將所述布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)增加到所述偽基元數(shù)據(jù)上的偽基元布局裝置。該系統(tǒng)還包括布局?jǐn)U展裝置，它與經(jīng)由將分級置于所述的偽基元數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)擴(kuò)展的布局?jǐn)?shù)據(jù)所標(biāo)定的角度相對應(yīng)產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)。
掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)還可能包括當(dāng)校正布局基元數(shù)據(jù)時從所述偽基元數(shù)據(jù)讀取布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取裝置；以及從所述偽基元數(shù)據(jù)中刪除繪圖數(shù)據(jù)的刪除裝置。
掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)最好可能包括布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取裝置，它取得不滿足輸出掩模圖形數(shù)據(jù)的格式限制的布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)。
按照本發(fā)明的第三種方式，提供了一種在其中存有掩模圖形產(chǎn)生程序的計算機(jī)可讀取的介質(zhì)，該程序利用一數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)產(chǎn)生掩模圖形數(shù)據(jù)。該程序可以包括以下的過程(a)讀取布局基元數(shù)據(jù)中的布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)輸入過程；(b)偽基元布局過程，它根據(jù)所述的布局?jǐn)?shù)據(jù)將布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元以下并將所述偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下，而且它將所述布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到所述偽基元數(shù)據(jù)上；以及(c)布局?jǐn)U展過程，它產(chǎn)生的繪圖數(shù)據(jù)與經(jīng)由將分級置于所述偽基元數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)擴(kuò)展的布局?jǐn)?shù)據(jù)所標(biāo)定的角度θ相對應(yīng)。
該程序最好還包括(d)布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取過程，它當(dāng)校正布局基元數(shù)據(jù)時讀取加到所述偽基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)；以及(e)刪除過程，它從偽基元數(shù)據(jù)中刪除繪圖數(shù)據(jù)。
該程序還可以包括(f)布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取過程，它獲取不滿足輸出掩模圖形數(shù)據(jù)格式限制的布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)。


圖1示出在本發(fā)明一項實施例中所用掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生功能的流程圖。
圖2為本發(fā)明一項實施例并說明掩模圖形數(shù)據(jù)分級結(jié)構(gòu)的示圖。
圖3為本發(fā)明一項實施例并說明掩模圖形數(shù)據(jù)的示圖。
圖4為本發(fā)明一項實施例并說明在布局?jǐn)U展過程之后掩模圖形數(shù)據(jù)的分級結(jié)構(gòu)的示圖。
圖5為本發(fā)明一項實施例并說明在布局?jǐn)U展過程之后掩模圖形數(shù)據(jù)的分級結(jié)構(gòu)的示圖。
圖6為本發(fā)明第二實施例的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)的方框圖。
圖7為本發(fā)明第二實施例相容性處理功能的流程圖。
圖8為一常規(guī)掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的方框示圖。
圖9為一掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生功能部件的功能結(jié)構(gòu)方框示圖，已在其中實現(xiàn)了現(xiàn)有技術(shù)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的功能。
圖10為表示常規(guī)掩模圖形數(shù)據(jù)分級結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖11為表示常規(guī)掩模圖形數(shù)據(jù)的示意圖。
圖12為表示常規(guī)方法并示意說明繪圖數(shù)據(jù)的分級結(jié)構(gòu)的示圖。
圖13為表示常規(guī)方法并示意說明繪圖數(shù)據(jù)的示圖。
下面描述本發(fā)明的一項實施例。本發(fā)明一項最佳形式的實施例包括讀取布局基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)輸入裝置(圖1中的102)；偽基元布局裝置(圖1中的105)，它根據(jù)布局?jǐn)?shù)據(jù)將布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元數(shù)據(jù)(虛擬的或短暫的基元數(shù)據(jù)稱為“偽基元”)以下而后將偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下；數(shù)據(jù)增加裝置(圖1中的104)，它將布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到布局基元數(shù)據(jù)上；以及布局?jǐn)U展裝置(圖1中的106)，它通過在偽基元數(shù)據(jù)以下擴(kuò)展布局基元數(shù)據(jù)，根據(jù)布局?jǐn)?shù)據(jù)產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)；當(dāng)校正布局基元數(shù)據(jù)時，該實施例還包括讀取加到偽基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取裝置(圖1中的107)以及從偽基元數(shù)據(jù)中刪除繪圖數(shù)據(jù)的刪除裝置(圖1中的108)。
具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的實施例構(gòu)建起分級結(jié)構(gòu)的掩模圖形數(shù)據(jù)，以致當(dāng)對置于低的分級等級的布局基元數(shù)據(jù)進(jìn)行改變時，此改變就反映在掩模圖形數(shù)據(jù)上。本實施例無需人工的刪除處理和布局處理，防止了分級在掩模圖形數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)上出現(xiàn)布局?jǐn)?shù)的人為誤差。
本發(fā)明的實施例中，上述裝置的功能是通過在一數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)上執(zhí)行程序而實現(xiàn)的。
參照附圖對本發(fā)明的實施例作詳細(xì)描述。圖1為表示本實施例部分掩模圖形產(chǎn)生功能的流程示意圖。圖2為表示在部局?jǐn)U展處理106之前的掩模圖形數(shù)據(jù)分級結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3為-掩模圖形數(shù)據(jù)的示圖。列在下面的表1示出-例存在存儲器中并加到偽基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)。
如圖1中所示，當(dāng)產(chǎn)生帶有角度θ的新布局基元數(shù)據(jù)時(作為校正判斷程序101的結(jié)果為“是”)，首先在布局?jǐn)?shù)據(jù)輸入程序102中從譬如一個鍵盤103讀取作為儲存在存儲器中的布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局基元數(shù)據(jù)203(見圖2)名稱(表1中的CellName)、表示數(shù)據(jù)位置(存儲位置)的索引途徑(表1中的DirPath)、布局基元數(shù)據(jù)203的布局坐標(biāo)(表1中的諸如X-Y之類的坐標(biāo))、以及角度θ(表1中的角度)。
接著，執(zhí)行數(shù)據(jù)增加程序104，作為偽基元數(shù)據(jù)202的補(bǔ)充數(shù)據(jù)增加存入存儲器中的布局?jǐn)?shù)據(jù)(見表1)。
接著，執(zhí)行偽基元數(shù)據(jù)布局程序105，將布局基元數(shù)據(jù)203分級置于偽基元數(shù)據(jù)202以下。
表1補(bǔ)充的—數(shù)據(jù)名稱 數(shù)值CellName(基元名稱) XXXXDirPath(索引途徑)/dir1/dir2/dir3Coordinate(坐標(biāo)) X1，Y1，X2，Y2Angle(角度) θ圖4示出在布局?jǐn)U展程序106之后掩模圖形數(shù)據(jù)的分級結(jié)構(gòu)，而圖5則示出掩模圖形數(shù)據(jù)。
執(zhí)行布局?jǐn)U展程序106將布局基元數(shù)據(jù)203擴(kuò)展到帶有角度θ(表1中的角度，501)的繪圖數(shù)據(jù)中，它在常規(guī)技術(shù)中是作為布局?jǐn)?shù)據(jù)401存入存儲器中的。然后，將偽基元數(shù)據(jù)202分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)201以下。其結(jié)果是，從掩模圖形數(shù)據(jù)201中可以觀看到低等級的偽基元數(shù)據(jù)202，而包括原始布局基元數(shù)據(jù)的名稱和位置、布局?jǐn)?shù)據(jù)、旋轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)等等在內(nèi)的補(bǔ)充數(shù)據(jù)(特征數(shù)據(jù))則加到偽基元數(shù)據(jù)202上，在其中通過擴(kuò)展和旋轉(zhuǎn)所置放的布局基元數(shù)據(jù)產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)。
接著，當(dāng)偽基元數(shù)據(jù)202已經(jīng)被校正時(作為校正判斷程序101的結(jié)果為“否”)，執(zhí)行布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取程序107，以取得已作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到偽基元數(shù)據(jù)202上的布局?jǐn)?shù)據(jù)，存入存儲器中(見表1)。
接著，執(zhí)行刪除程序108，從掩模圖形數(shù)據(jù)201中刪除偽基元數(shù)據(jù)202。然后，從布局基元數(shù)據(jù)203的名稱(表1中的CellName)以及從與作為布局?jǐn)?shù)據(jù)存儲的布局基元數(shù)據(jù)的位置對應(yīng)的索引通道(表1中的DirPath)取得新的(也就是校正的)布局基元數(shù)據(jù)203，以此執(zhí)行布局?jǐn)U展程序106。這就使得能夠不受數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)格式限制而產(chǎn)生掩模圖形數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的第一實施例擴(kuò)展了所有帶角度θ的布局基元數(shù)據(jù)，產(chǎn)生了大量的掩模圖形數(shù)據(jù)。但下面所說明的本發(fā)明第二實施例卻要防止掩模圖形數(shù)據(jù)量增加。
圖6示出本發(fā)明第二實施例中所用掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)方框圖。圖7示出說明本發(fā)明第二實施例中所用相容性處理功能的流程圖。示于下面的表2列出存于存儲器中的格式限制的一例。
除了擴(kuò)展裝置904(見圖9)由本發(fā)明第一實施例中說明的數(shù)據(jù)增加程序104取代之外，圖3中所示本發(fā)明第二實施例中所用掩模圖形產(chǎn)生功能部件602與圖8和9中所示掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生功能部件802(見圖8)類似。
下面對本發(fā)明第二實施例中所用相容性處理功能603進(jìn)行說明。如圖7中所示，執(zhí)行格式數(shù)據(jù)輸入程序701，從格式說明文件702中讀取規(guī)定包括有數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)605必需按90度增長在內(nèi)的布局基元數(shù)據(jù)的布局角度的格式限制，而后將限制數(shù)據(jù)存入存儲器中(表2中的角度)。
表2格式數(shù)值角度 90接著，對分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下的所有布局基元數(shù)據(jù)進(jìn)行檢索(程序703至程序705)，并對所檢索的布局基元數(shù)據(jù)進(jìn)行核查看是否滿足了限制(見表2)。若此限制未能滿足(判斷程序704的結(jié)果為“否”)，則執(zhí)行第一實施例中說明的布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取程序107、偽基元數(shù)據(jù)布局程序105、以及布局?jǐn)U展程序106，來產(chǎn)生不受數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)格式限制的掩模圖形數(shù)據(jù)。
在上述實施例中，只述及數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)格式角度限制。應(yīng)該注意到本發(fā)明并不限于有關(guān)角度的限制，它還可以適用于為實現(xiàn)相同效果的其它限制。因此，若是應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路布局、固態(tài)圖象傳感器件、液晶系統(tǒng)、電子電路等等的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生，則用實施例進(jìn)行以上說明的本發(fā)明就大大提高了工作效率和可靠性。
如上所述，當(dāng)將布局基元數(shù)據(jù)分級校正成在具有分級結(jié)構(gòu)的掩模圖形數(shù)據(jù)方面低于掩模圖形數(shù)據(jù)時，本發(fā)明就自動反映出引入布局基元數(shù)據(jù)中的改變并無需用戶手動刪除或展開布局基元數(shù)據(jù)以避免要在掩模圖形數(shù)據(jù)中展開的布局基元數(shù)據(jù)上可能向布局?jǐn)?shù)據(jù)中引入的人為誤差。因而，本發(fā)明確保提高工作效率、可靠性和生產(chǎn)率。
下面對圖進(jìn)行說明101 校正判斷程序606 顯示器704 檢索結(jié)果的判斷程序705 終結(jié)的判斷程序有關(guān)標(biāo)號的說明還可從圖中直接獲得。
應(yīng)該注意到專業(yè)人員所能作出的顯而易見的改變并不脫離這里所公開的所提權(quán)利要求范圍內(nèi)的要點和思想。
權(quán)利要求
1.一種掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生方法，其特征在于，它包括有步驟根據(jù)布局基元數(shù)據(jù)的進(jìn)入布局?jǐn)?shù)據(jù)將布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元數(shù)據(jù)以下，將所述偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下，而另一方面將所述布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到所述偽基元數(shù)據(jù)上，以及通過擴(kuò)展分級置于所述偽基元數(shù)據(jù)以下的所述布局基元數(shù)據(jù)經(jīng)布局?jǐn)?shù)據(jù)中所規(guī)定角度的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生繪圖數(shù)據(jù)
2.一種掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于，它包括用于讀出布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)輸入裝置；偽基元布局裝置，它用于根據(jù)布局?jǐn)?shù)據(jù)將所述布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元以下，并將所述偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下，并且用于將所述布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到所述偽基元數(shù)據(jù)上；以及布局?jǐn)U展裝置，它通過擴(kuò)展分級置于所述偽基元數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)產(chǎn)生與布局?jǐn)?shù)據(jù)中所規(guī)定的角度相對應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)。
3.按照權(quán)利要求2所確定的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于，它還包括布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取裝置，當(dāng)布局基元數(shù)據(jù)經(jīng)過校正時用以從所述偽基元數(shù)據(jù)中讀出布局?jǐn)?shù)據(jù)；以及刪除裝置，用于從所述偽基元數(shù)據(jù)中刪除所述繪圖數(shù)據(jù)。
4.按照權(quán)利要求2所確定的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生系統(tǒng)，其特征在于，它還包括布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取裝置，用于取得不滿足輸出掩模圖形數(shù)據(jù)的格式限制的布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)。
5.一種其中存有用數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)產(chǎn)生掩模圖形數(shù)據(jù)的掩模圖形產(chǎn)生程序的計算機(jī)可讀介質(zhì)，其特征在于，所述程序包括(a)布局?jǐn)?shù)據(jù)輸入過程，讀出布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)；(b)偽基元布局過程，根據(jù)布局?jǐn)?shù)據(jù)將所述布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元以下并將所述偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下以及將所述布局基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)作為補(bǔ)充數(shù)據(jù)加到所述偽基元數(shù)據(jù)上；以及(c)布局?jǐn)U展過程，通過擴(kuò)展分級置于所述偽基元數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)產(chǎn)生與布局?jǐn)?shù)據(jù)中所規(guī)定的角度θ相對應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)。
6.按照權(quán)利要求5所確定的計算機(jī)可讀介質(zhì)，所述介質(zhì)中存有掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生程序，其特征在于，它還包括(d)布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取過程，當(dāng)布局基元數(shù)據(jù)經(jīng)過校正時讀出加到所述偽基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)；以及(e)刪除過程，從所述偽基元數(shù)據(jù)中刪除繪圖數(shù)據(jù)。
7.按照權(quán)利要求5所確定的計算機(jī)可讀介質(zhì)，所述介質(zhì)中存有用數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)產(chǎn)生掩模圖形數(shù)據(jù)的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生程序，其特征在于，它還包括(f)一次布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取過程，取得不滿足輸出掩模圖形數(shù)據(jù)的格式限制的布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)。
全文摘要
一種因?qū)Σ季只獢?shù)據(jù)分級校正低于掩模圖形數(shù)據(jù)而對布局基元數(shù)據(jù)所作改變作出自動反應(yīng)的掩模圖形數(shù)據(jù)產(chǎn)生方法,它無需進(jìn)行手動刪除或布局,防止了可能向布局?jǐn)?shù)據(jù)中引入的人為誤差。它按進(jìn)入的布局基元數(shù)據(jù)的布局?jǐn)?shù)據(jù)將布局基元數(shù)據(jù)分級置于偽基元數(shù)據(jù)以下而后將偽基元數(shù)據(jù)分級置于掩模圖形數(shù)據(jù)以下,將布局基元數(shù)據(jù)上的布局?jǐn)?shù)據(jù)加到偽基元數(shù)據(jù)上,并通過擴(kuò)展偽基元數(shù)據(jù)以下的布局基元數(shù)據(jù)產(chǎn)生與布局?jǐn)?shù)據(jù)中所規(guī)定角度對應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)。
文檔編號H01L21/70GK1197252SQ9810090
公開日1998年10月28日 申請日期1998年3月13日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月14日
發(fā)明者鈴木恭 申請人:日本電氣株式會社