專利名稱：用于監(jiān)視的方法和裝置以及標明狀態(tài)的盤承載器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及通過制造過程的物體批料的識別和跟蹤。更具體地說，它涉及用于監(jiān)視通過處理操作的半導體片或存儲盤的多個批料的行進并用于在所希望的處理站提供狀態(tài)編碼的的方法和設備。
在半導體制造工業(yè)中，半導體片通過制造設備并到達若干不同的位置，在那里半導體片得到蝕刻、清洗、采用光刻操作處理、測試并經(jīng)受到各種其他的制造測試和處理操作。類似地，存儲盤在制造設備中也移動通過一系列的制造處理。
在工業(yè)中，經(jīng)常的作法是以盛在承載器中的批料的形式來處理片或存儲盤，這種承載器是為了把片或存儲盤支撐在適當?shù)奈恢枚貏e設計的，這些位置有利于制造和處理機器的操作，這些機器或者在盤或片處于承載器中時對它們進行處理，或者將它們?nèi)〕鲆赃M行處理操作并隨后將它們送回到承載器中。在此，批料被定義和用來表示一或多個(多至承載器的容量)半導體片或存儲盤。
在制造設備中，希望對通過制造過程的片或存儲盤批料的進程進行跟蹤。另外，還希望能夠在批料(而不是在一個遠處的位置上)保持一些與該批料的處理或進程有關的信息。
在盤的處理中采用應答器標志，已經(jīng)在頒給Rossi和Saucer并轉(zhuǎn)讓給了本發(fā)明的受讓人的美國專利第4,827,110號中進行了公布。Rossi等人公布了一種方法和設備，其中一個應答器標志被固定在一個豎直壁的外表面上。
本發(fā)明提供了一種方法和裝置，用于監(jiān)視多批半導體片或存儲盤通過設備中的各個位置處的多個處理操作的進程，并在各個批料處保持與各批料的進程有關的信息。該方法包括將各個片或存儲盤批料插入到一個承載器中的步驟，該承載器具有適當?shù)慕Y構并得到適當?shù)脑O置，以便以平行、軸向設置、間隔排列的方式支撐片或盤。在各個承載器中，借助從一個平面壁部分的低邊緣向內(nèi)延伸的凹槽，而把一個應答器嵌在該壁部分中。該應答器具有一個編碼，用于標明該承載器和包含在其中的批料或盤，并進一步標明批料已經(jīng)經(jīng)過的各種處理操作。有限范圍讀取單元對各個承載器與處理設備中的各種位置的鄰近范圍進行檢測，每一個該單元都位于該各種位置中的一個上，其結構和設置用以確定在其檢測范圍內(nèi)的所有承載器的獨特標志。在各種位置的寫入單元改變在該應答器中的狀態(tài)碼，以表示一個批料已經(jīng)通過了一個具體的處理階段。來自讀取單元的承載器標志信息還得到遠程存儲和更新，以監(jiān)測批料通過處理操作的進程。
本發(fā)明的一個目的和優(yōu)點，是應答器可以在對模具的改變很小的情況下被包含在已有的承載器設計中，從而節(jié)約了很大的模具制造成本。
本發(fā)明的一個目的和優(yōu)點，是很小或沒有與將應答器包含在承載器中有關的朝上或側向的外部表面。這減小了處理或清洗液浸入與應答器安裝有關的裂縫的可能性。
本發(fā)明的另一個目的和優(yōu)點，是長形凹槽的蓋的尺寸很小，因此蓋與承載器的焊接或連接部分的尺寸很小。這進一步降低了焊接或連接部分受到處理或清洗液的腐蝕和損壞的可能性。這降低蓋和應答器與承載器分離的可能。
本發(fā)明的進一步的目的和優(yōu)點，是凹槽的蓋和應答器得到了最佳的保護，以不受處理設備的干擾或接觸。
本發(fā)明的進一步的目的和優(yōu)點，是應答器與承載器的組裝得到了大大的簡化。該應答器可被插入到凹槽中，且一個小尺寸的單個的蓋被焊接到位，以包圍凹槽并卡住該應答器。


圖1是帶有柱形應答器和蓋的承載器的部分分解透視圖。
圖2是該承載器的一個端壁的底視圖。
圖3是在圖2的平面3-3取的部分分解剖視圖。
圖4是承載器另一實施例的端壁的底視圖。
圖5是圖4所示實施例的壁部分的內(nèi)部透視圖。
圖6是系統(tǒng)框圖。
圖7是典型的處理設備的布置示意圖。
在圖1、2和3中，標號20代表了一種典型的片或盤承載器，它適于輸送和支撐以平行軸向設置和間隔排列的半導體片或存儲盤。由于這里的技術也同樣適于半導體片或計算機存儲盤，所以以下的“盤”指的是這兩種產(chǎn)品中的任何一種以及厚度遠遠小于寬度的任何類型的產(chǎn)品。該承載器可以是用于將盤輸送到遠離處理設備位置的輸送器的一部分，或者是被稱為標準化機械接口(SMIF)容器的一部分。這種承載器已經(jīng)由fluoroware，Inc.(102 Jonathan BoulevardNorth，Chaska，Minnesota 55318)商業(yè)提供了若干年，并已經(jīng)在半導體制造工業(yè)中得到了廣泛的應用。
承載器10由一個帶有兩個相對側壁14的模制體12和相對的端壁16組成。側壁14包括其尺寸適于接收并保持盤的槽18。端壁16具有一個上沿20和下沿22。在一個下壁部分24，一個長形槽26從下沿22向上延伸。該長形槽26具有適當?shù)某叽?，以保持一個應答器28。一個突出部分30相對于承載器10向內(nèi)延伸，以容納應答器28。一個尺寸適合于在應答器28被設置到位之后配合并包圍長形槽26的蓋32被密封到承載器10上。把應答器28定位在端壁16的下沿22，使得承載器10能夠在不受干擾的情況下與自動設備一起使用。另外，該配置使得在承載器10在清洗或處理過程中被浸在液體之后能夠得到良好的液體排放。
參見圖4和5，其中顯示了本發(fā)明的一個替換實施例的端壁16的壁部分34的底視圖和內(nèi)部透視圖。該實施例在從下沿22延伸的矩形凹槽37中采用了平面形應答器36。根據(jù)壁16的厚度和平面應答器36的厚度，壁16可以鑄成具有一個略微向內(nèi)延伸的突出部分38，用于容納應答器36。借助傳統(tǒng)手段諸如超聲，將一個長形蓋40焊接在凹槽26的開口中，以將應答器36卡住并包圍在矩形凹槽37中。
參見圖6，它是系統(tǒng)框圖，從中能夠更好地理解讀/寫單元的操作和應答器的操作。為了說明的目的顯示了一個單個的承載器10，但是應該理解的是，在該制造設備中將采用多個相同或不相同的承載器輸送和存儲多批所要處理的盤。遠程識別讀/寫單元44驅(qū)動相應的天線42，以傳播由標號46表示的無線電頻率信號。TexasInstruments(12501 Research Boulevard，MS 2243，Austin，Texas78759)制造并提供合適的讀/寫單元。一種適當?shù)膽鹌餍吞柺荝I-TRP-WB2B-03，另一種適用的讀/寫單元型號是RI-STU-W02G-01。帶有操作說明和參數(shù)的所述單元的完整的資料，可以通過提供所述部件的號碼而從Texas Instrument獲得。一般地，通過讀/寫單元44從天線28發(fā)射一個132.5千赫茲的功率脈沖，讀/寫單元44和應答器28進行工作。所產(chǎn)生的場被調(diào)諧的輸送天線(未顯示)所吸收，它得到整流并被存儲在一個電容(未顯示)中。在電源脈沖結束時，該電容提供電源，送回到讀/寫單元。該數(shù)據(jù)包括標志碼和狀態(tài)碼。該應答器的存儲容量比存儲標志碼和狀態(tài)碼所需要的存儲容量大得多。也可以從其他的來源獲得適當?shù)膽鹌?，并可以以不同的方式運行。
在制造設備中，通常采用多個讀/寫單元44，其每一個一般位于與進行具體處理或制造操作的地方鄰近處。該讀/寫單元44以傳統(tǒng)方式向一個用于監(jiān)視和存儲數(shù)據(jù)的主計算機50進行輸出。與應答器28和來自具體的讀/寫單元44的輸出信號有關的唯一的標志號碼，使得主計算機50能夠在任何時間確定哪一個承載器10處于處理設備中感興趣的位置上。主計算機50還可以控制讀/寫單元的寫入功能，以標明即改變應答器28的狀態(tài)碼。在一個具體處理站進入應答器28的狀態(tài)碼，使得一個批料能夠從處理過程中取出并在晚些時候被送回，而該批料的處理狀態(tài)在被方便地表示在應答器的編碼上。
圖7顯示了典型的工廠應用，其中多個遠程讀/寫單元44每一個均處于處理設備中被標為處理站48中的I至VIII的適當位置上。各個遠程讀/寫單元44可以讀取狀態(tài)和標志碼，或改變該狀態(tài)碼。也可以采用單獨的讀取單元或?qū)懭雴卧?。一或多個讀/寫單元可以與一個特定的站48相鄰近，以在承載器10的狀態(tài)碼被接收或從站48發(fā)出時對它們進行監(jiān)測和/或改變該狀態(tài)碼。讀/寫單元44的輸出A-H被連接到一條傳輸線52，后者將它們連接到主計算機50-該主計算機50可位于制造設備之內(nèi)或之外任何方便的位置。當帶有唯一的編碼的承載器10在設備內(nèi)從一個站向另一站運動時，主計算機50能夠通過查詢讀取器A-H，對承載器10在各個站的出現(xiàn)進行檢驗和記錄。當承載器進入或完成了一個具體的處理時，該具體批料的狀態(tài)碼可得到改變，以反映所述處理。
在不脫離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，可以以其他具體的形式實施本發(fā)明；因此，所示的實施例完全應該被視為是說明性而不是限制性的，且本發(fā)明的范圍是由所附的權利要求書來表示的，而不是由前述描述表示的。
權利要求
1.一種盤承載器，包括(a)一個帶有相對的壁的本體，這些壁具有面向內(nèi)的、其尺寸適于以平行和軸向排列保持盤的槽，各個本體具有一個壁部分，該壁部分具有一個邊緣，且一個長形凹槽從所述邊緣向內(nèi)延伸到該壁部分中；(b)一個插入該長形凹槽中的無線電頻率應答器，該應答器具有可由一個外部讀取單元讀取的唯一標志碼；以及(c)一個用于將該應答器密封包圍在所述凹槽內(nèi)的蓋。
2.根據(jù)權利要求1的盤承載器，其中該應答器得到編程以接受一個外部寫入單元提供的狀態(tài)碼。
3.根據(jù)權利要求2的盤承載器，其中該承載器具有一個下沿和從所述下沿延伸的長形凹槽。
4.根據(jù)權利要求1的盤承載器，其中壁部分具有一個用于在所述壁部分中容納長形凹槽的突出部分。
5.根據(jù)權利要求4的盤承載器，其中長形凹槽與端壁平行。
6.一種用于監(jiān)視通過多個站的盤批料的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括(a)多個盤承載器，每一個承載器都具有一個本體，該本體帶有相對的壁且這些壁帶有向內(nèi)的、用于以平行且軸向的排列保持盤批料的槽，各個本體都具有一個平面壁部分，該壁部分具有一個沿著與所述平面壁部分基本平行的方向延伸的長形凹槽，一個插入到該長形凹槽中的長應答器，和一個用于把該應答器密封在所述凹槽中的蓋；以及(b)一個遠程識別讀取器，用于向各個應答器標志發(fā)出一個無線電頻率脈沖并從各個應答器接收一個用于標明各個應答器和相應的批料的唯一的編碼無線電頻率信號。
7.根據(jù)權利要求6的系統(tǒng)，其中用于各個應答器的唯一標志碼是可編程的，且該系統(tǒng)進一步包括一個具有適當結構和設置以用于對該應答器進行編程的寫入單元。
8.用于對通過多個站的一批盤的進程進行監(jiān)測和更新的方法，包括以下步驟(a)將該批盤插入到一個承載器中，該承載器具有適當?shù)慕Y構和設置以便以平行、軸向間隔排列的方式支撐盤；(b)把一個可編程的應答器嵌在該承載器上，該應答器具有適當?shù)慕Y構和設置并進行編碼以唯一地標明該承載器和插入在其中的批料；(c)通過操作一個位于一個站附近的讀取單元，檢測該承載器在該站的出現(xiàn)，該讀取單元具有適當?shù)慕Y構和設置以在其檢測范圍內(nèi)讀取一個應答器標志；以及(d)通過更新和存儲從讀取單元接收的位置和處理信息，監(jiān)測該盤批料通過處理站的進程。
9.根據(jù)權利要求8的方法，進一步包括通過把一個狀態(tài)碼插入到帶有一個寫入單元的可編程應答器中在一個具體的站對批料進行標明的步驟，該寫入單元具有適當?shù)慕Y構和設置以對該應答器進行再編程。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種方法和裝置，用于監(jiān)測多個半導體片或存儲盤批料通過處理設備中的各種位置處的多個處理操作的進程，并保持與各個批料的進程有關的信息。承載器上嵌有應答器。該應答器帶有編碼，用于標明承載器和包含在其中的片或盤批料并進一步標明批料已經(jīng)經(jīng)過的各種處理操作。有限范圍讀取單元對每一個承載器附近進行檢測，并確定任一個承載器的唯一標識。寫入單元改變某一應答器的狀態(tài)碼，以表示該批料經(jīng)過了某一處理。
文檔編號H01L21/673GK1109983SQ9411700
公開日1995年10月11日 申請日期1994年9月30日 優(yōu)先權日1994年4月8日
發(fā)明者N·T·奇斯布勞, S·D·埃加姆, R·D·科斯, R·S·威廉斯 申請人:氟器皿有限公司