專利名稱:搭載基板的處理夾具用的收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搭載由半導(dǎo)體晶片等構(gòu)成的各種基板的處理夾具用的收納殼體。
技術(shù)背景
在半導(dǎo)體封裝的制造時，半導(dǎo)體晶片搭載在被稱為劃片用帶狀框架的處理夾具 上，該處理夾具的環(huán)形框架一般被保管在收納殼體中。雖然圖中未顯示，但這種收納殼體具 備前后部分別開口的鋁制的容器本體以及在該容器本體的兩側(cè)壁的內(nèi)面上相對設(shè)置并支 撐SUS制的環(huán)形框架的一對支撐片而構(gòu)成(參照專利文獻(xiàn)1、幻。該收納殼體沿容器本體的 上下方向以規(guī)定的間隔排列有多對支撐片，沿上下方向鄰接的支撐片和支撐片的間隔劃分 形成為環(huán)形框架用的插入槽。
可是，由于在這種收納殼體由作業(yè)者搬送、搬運(yùn)、輸送的關(guān)系方面，在搬送、搬運(yùn)、 輸送時，環(huán)形框架有可能從容器本體飛出而脫落，因而為了限制該環(huán)形框架的飛出，研討并 采用了各種限制方法。
作為相關(guān)的限制方法，列舉了以下方法等(1)在一對支撐片的前部和后部安裝 壓緊零件的方法；( 使旋轉(zhuǎn)片分別支撐在容器本體的開口部兩側(cè)，由該旋轉(zhuǎn)片堵塞容器 本體的開口部并限制環(huán)形框架的飛出的方法；C3)在容器本體的各側(cè)壁以能夠滑動的方式 具備形成多個支撐片的一部分的滑動壁，使該滑動壁沿上下方向滑動并夾持環(huán)形框架的方 法。
專利文獻(xiàn)1 日本特開平8-80989號公報
專利文獻(xiàn)2 日本特表2005-508274號公報
發(fā)明內(nèi)容
由于現(xiàn)有技術(shù)中的處理夾具用的收納殼體如上所述地僅使用鋁來制造容器本體 和多個支撐片，因而伴隨著支撐片和環(huán)形框架的滑動接觸而產(chǎn)生導(dǎo)電性的異物，結(jié)果，存在 著招致半導(dǎo)體晶片和環(huán)形框架的污染的問題。
另外，雖然現(xiàn)有技術(shù)中的處理夾具用的收納殼體采用了限制環(huán)形框架從容器本體 飛出的各種限制方法，但在(1)、(2)的方法的情況下，雖然能夠限制環(huán)形框架的飛出，但不 能防止環(huán)形框架由于搬送、搬運(yùn)、輸送時的振動而向上下方向晃動，從而新產(chǎn)生了招致半導(dǎo) 體晶片和環(huán)形框架的損傷的大問題。另外，在(3)的方法的情況下，雖然能夠防止環(huán)形框架 向上下方向晃動，但要求滑動壁的滑動操作，進(jìn)一步使容器本體的構(gòu)成復(fù)雜化，有可能增加 零件數(shù)。
本發(fā)明是鑒于上述問題而做出的，其目的在于，提供一種處理夾具用的收納殼體， 該收納殼體能夠抑制伴隨著支撐片和環(huán)形框架的接觸的異物的產(chǎn)生，并抑制環(huán)形框架的晃 動，能夠使容器本體的構(gòu)成簡化并減少零件數(shù)。
在本發(fā)明中，為了解決上述課題，具備前后部分別開口的容器本體和一對支撐片， 該一對支撐片與該容器本體的兩側(cè)壁的內(nèi)面相對而突出形成，并支撐搭載基板的處理夾具3的環(huán)形框架，其特征在于，
沿容器本體的上下方向以規(guī)定的間隔排列多對支撐片，沿上下方向鄰接的支撐片 和支撐片的間隔劃分形成為環(huán)形框架用的插入槽，在支撐片和插入槽的任一方的大致后 部，設(shè)置與環(huán)形框架的側(cè)部后方相對的止動件，并且，在該止動件形成限制環(huán)形框架的晃動 的傾斜面。
此外，能夠具備裝卸自如地開閑容器本體的開口的前后部的至少任一方的蓋體， 在該蓋體的內(nèi)面設(shè)置與環(huán)形框架干涉的突部。
另外，能夠由含有滑動性的樹脂的成形材料成形容器本體的至少兩側(cè)壁和一對支 撐片。
另外，能夠在支撐片的大致前部和大致中央部中的至少任一方，設(shè)置與環(huán)形框架 的側(cè)部相對的突起，在該突起形成隨著朝向下方的支撐片而逐漸變窄的傾斜面。
在此，權(quán)利要求
的范圍內(nèi)的容器本體可以是透明、不透明、半透明的任意一種?；?板可以是口徑200mm、300mm、450mm的半導(dǎo)體晶片，也可以是矩形的玻璃基板等。另外，處理 夾具的環(huán)形框架可以在搭載基板的狀態(tài)下由支撐片支撐，也可以在不搭載基板的單獨(dú)的狀 態(tài)下由支撐片支撐。該環(huán)形框架雖然可以是中空的環(huán)形，但也可以在外周面形成切口或直 線部等，外周面也可以是多邊形等。大致后部包括包含后端部的后部和被認(rèn)為是后部的部 分。
支撐片的大致前部包括包含前端部的前部和被認(rèn)為是前部的部分。同樣地，支撐 片的大致中央部包括中央部和被認(rèn)為是中央部的部分。另外，蓋體可以是透明、不透明、半 透明的任意一種，不論可撓性或彈性的有無。不論該蓋體的突部是單個還是多個。而且，本 發(fā)明的處理夾具用的收納殼體雖然以水平使用為主，但不特別地限定，例如也可以在使開 口的前部朝向上方的立起狀態(tài)下使用。
依照本發(fā)明，具有能夠有效地抑制伴隨著支撐片和環(huán)形框架的接觸的異物的產(chǎn)生 的效果。另外，具有能夠抑制環(huán)形框架的晃動并能夠使容器本體的構(gòu)成簡化而減少零件數(shù) 的效果。
另外，如果具備裝卸自如地開閉容器本體的開口的前后部的至少任一方的蓋體， 在該蓋體的內(nèi)面設(shè)置與環(huán)形框架干涉的突部，那么，通過該突部的干涉，能夠更有效地抑制 收納在容器本體中的環(huán)形框架的晃動。
另外，如果由含有滑動性的樹脂的成形材料成形容器本體的至少兩側(cè)壁和一對支 撐片，那么，能夠抑制伴隨著支撐片和環(huán)形框架的接觸的異物的產(chǎn)生。
另外，如果在支撐片的大致前部和大致中央部中的至少任一方設(shè)置與環(huán)形框架的 側(cè)部相對的突起，在該突起形成伴隨著朝向下方的支撐片而逐漸變窄的傾斜面，那么，能夠 通過突起而埋入環(huán)形框架所插入的插入槽，因而能夠防止環(huán)形框架伴隨著振動等而晃動。 而且，由于突起的傾斜面的導(dǎo)向功能對環(huán)形框架在插入槽中的出入帶來障礙的情況變少， 因而能夠期待至少環(huán)形框架的損傷防止。


圖1是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的正面說明圖。
圖2是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的平面說明圖。4[0023]圖3是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的側(cè)面說明圖。
圖4是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的處理夾具的立 體說明圖。
圖5是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的中空的環(huán)形框 架的立體說明圖。
圖6是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的蓋體的說明圖。
圖7是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的蓋體的平面說 明圖。
圖8是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的蓋體的側(cè)面說 明圖。
圖9是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的實(shí)施方式的主要部分說明 圖。
圖10是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的第2實(shí)施方式的主要部分 說明圖。
圖11是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的第2實(shí)施方式的環(huán)形框架、 支撐片、插入槽等的關(guān)系的說明圖。
圖12是模式地顯示本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的第3實(shí)施方式的主要部分 說明圖。
符號說明
1 處理夾具
2環(huán)形框架
10容器本體
14 側(cè)壁
20支撐片
21插入槽
22止動件
23傾斜面
24 突起
24A 突起
25傾斜面
30 蓋體
31 突部
W半導(dǎo)體晶片(基板)具體實(shí)施方式
以下，參照附圖，說明本發(fā)明的處理夾具用的收納殼體的優(yōu)選實(shí)施方式，如圖1至 圖6所示，本實(shí)施方式中的處理夾具用的收納殼體具備容器本體10，以能夠出入的方式收 納搭載半導(dǎo)體晶片W的處理夾具1 ；一對支撐片20，在該容器本體10的兩側(cè)壁14相對設(shè) 置，支撐處理夾具1的環(huán)形框架2 ；以及透明的蓋體30，開閉容器本體10的開口的前部。[0049]如圖4所示，半導(dǎo)體晶片W例如由被切成圓形薄片的口徑200mm的硅晶片構(gòu)成，在 周緣部選擇性地適當(dāng)形成有對位用的定向平面或平面大致半圓形的凹口。
如圖1、圖4、圖5所示，處理夾具1具備環(huán)形框架2，該環(huán)形框架2具有能夠收納 半導(dǎo)體晶片W的中空，從下方覆蓋中空的可撓性的粘附層3裝卸自如地粘附在該環(huán)形框架 2的背面，半導(dǎo)體晶片W裝卸自如地粘附保持在該粘附層3上。環(huán)形框架2由SUS或含有 樹脂等的規(guī)定的材料形成為中空的平板，定位用的切口 4在前部兩側(cè)分別形成為大致三角 形。
如圖1至圖3所示，容器本體10具備矩形的底板11，具有能夠收納處理夾具1 的大小；同形的頂板13，從上方隔開間隔而與該底板11相對；以及一對側(cè)壁14，縱向連接 這些底板11和頂板13的兩側(cè)部之間，容器本體10構(gòu)成為前后部分別開口的矩形的箱形， 起到這樣的作用經(jīng)由圖中未顯示的搬送自動機(jī)而水平地排列并收納多個搭載半導(dǎo)體晶片 W的處理夾具1或者搭載半導(dǎo)體晶片W的處理夾具1的環(huán)形框架2。
容器本體10的底板11、頂板13以及一對側(cè)壁14分別由例如含有滑動性優(yōu)異的 樹脂的成形材料射出成形，由螺釘?shù)榷鄠€緊固件組裝。作為該滑動性的成形材料，例如可列 舉出含有PTFE粒子的聚碳酸酯(polycarbonate)和聚縮醛(polyacetal)等。另外，如圖 1所示，在底板11的內(nèi)面前端部，切開了有助于下方的環(huán)形框架2的出入的矩形的凹部12， 在互相相對的一對側(cè)壁14的上部前方之間和上部后方之間，分別以能夠起伏的方式軸支 有截面呈大致帽形的握持操作用的把手15(參照圖2)。
如圖1和圖9所示，一對支撐片20由含有滑動性優(yōu)異的樹脂的上述成形材料一體 成形，在容器本體10的兩側(cè)壁內(nèi)面，隔開間隔而相對地突出形成，起到大致水平地支撐環(huán) 形框架2的兩側(cè)部的作用。這一對支撐片20沿容器本體10的上下方向隔開規(guī)定的間隔而 排列多對，沿上下方向鄰接的支撐片20和支撐片20的間隔劃分形成為環(huán)形框架2用的插 入槽21，各支撐片20形成為沿容器本體10的前后方向伸長的細(xì)長板。
如圖9所示，在各支撐片20的下面后部，與環(huán)形框架2的側(cè)部后方干涉 相對而定 位的止動件22 —體形成，在該止動件22的側(cè)面，隨著朝向下方的支撐片20而逐漸變窄的 傾斜面23平滑地形成，該傾斜面23與環(huán)形框架2的后部表面隔開間隙而相對。這些止動 件22和傾斜面23也由含有滑動性優(yōu)異的樹脂的上述成形材料成形。各插入槽21與支撐 片20相同地沿容器本體10的前后方向伸長形成，具有環(huán)形框架2的厚度以上的高度(寬 度)。
如圖6至圖8所示，蓋體30由含有規(guī)定的樹脂的成形材料成形為具有彈性的截面 大致皿形，裝卸自如地嵌合在容器本體10的開口的前部。該正面大致矩形的蓋體30沿其 中央部的上下方向排列形成有多個大致線狀的突部31，該突部31與環(huán)形框架2的前部干涉 而定位并進(jìn)行夾持，在兩側(cè)部，大致矩形的膨出部32分別立體地一體形成，該膨出部32壓 焊在環(huán)形框架2的前部兩側(cè)，抑制并防止晃動。
如圖6和圖8所示，蓋體30的周緣部彎曲至突部31和膨出部32側(cè)，呈大致框形， 在上下部的兩側(cè)，蓋體30用的卡止部33 —體地膨出形成，該卡止部33卡止在容器本體10 的開口的前部外周面上。
此外，也能夠在蓋體30的周緣部的左右兩側(cè)一體地形成卡止部33，該卡止部33卡 止在容器本體10的開口的前部外周面上。[0058]在上述中，在將處理夾具1的環(huán)形框架2收納于容器本體10內(nèi)的情況下，由搬送 自動機(jī)從前方將處理夾具1的環(huán)形框架2水平地插入容器本體10內(nèi)即可。
于是，環(huán)形框架2水平地插入容器本體10的插入槽21中而滑動，并且，由一對支 撐片20從下方大致水平地支撐環(huán)形框架2的兩側(cè)部，環(huán)形框架2被引導(dǎo)至止動件22的傾 斜面23而接觸·停止，由此，將環(huán)形框架2恰當(dāng)?shù)囟ㄎ徊⑹占{在容器本體10內(nèi)。
如果將處理夾具1的環(huán)形框架2收納在容器本體10內(nèi)，則蓋體30裝卸自如地嵌 合在容器本體10的開口的前部，該蓋體30的多個突部31夾持環(huán)形框架2的前部并限制其 移動，由此，抑制并防止環(huán)形框架2伴隨著搬送、搬運(yùn)、輸送時的振動而向上下方向晃動。
依照上述構(gòu)成，由于容器本體10和多個支撐片20不是由鋁制成，而是由滑動性優(yōu) 異的輕型的樹脂制成，因而伴隨著環(huán)形框架2和支撐片20的滑動接觸而產(chǎn)生導(dǎo)電性的異物 的情況實(shí)際上很少。所以，能夠謀求半導(dǎo)體晶片W和環(huán)形框架2的污染防止。另外，在不僅 容器本體10的兩側(cè)壁14和支撐片20由滑動性的樹脂制成，而且處理夾具1也由滑動性的 樹脂制成的情況下，能夠可靠地防止伴隨著滑動接觸的導(dǎo)電性的異物的產(chǎn)生。另外，在上述 作業(yè)時，由于止動件22限制環(huán)形框架2的后部，因而有效地防止了所插入的環(huán)形框架2的 位置偏移或脫落。
另外，由于止動件22的錐形的傾斜面23逐漸埋入插入槽21的剩余空間，因而能 夠抑制并防止環(huán)形框架2伴隨著振動而向上下方向晃動，不招致半導(dǎo)體晶片W和環(huán)形框架 2的損傷。而且，由于沒有任何必要設(shè)置如現(xiàn)有技術(shù)那樣的滑動壁等，因而能夠使容器本體 10的構(gòu)成簡化，從而能夠謀求零件數(shù)的削減。
接著，圖10、圖11顯示了本發(fā)明的第2實(shí)施方式，在這種情況下，在各支撐片20的 下面中央部，一體地突出形成突起24，該突起M與環(huán)形框架2的側(cè)部表面隔開間隙而相對， 將該突起M形成為漸縮的臺形，以其兩側(cè)部作為隨著朝向下方的支撐片20而逐漸變窄的 平滑的傾斜面25。由于其他部分與上述實(shí)施方式大致相同，因而省略說明。
在本實(shí)施方式中，也能夠期待與上述實(shí)施方式相同的作用效果，而且，由于通過突 起M的突出而能夠進(jìn)一步埋入插入槽21，因而顯而易見的是，即使省略蓋體30，也能夠顯 著地抑制并防止環(huán)形框架2伴隨著振動而向上下方向晃動。另外，由于環(huán)形框架2與突起 24的具有導(dǎo)向功能的傾斜的傾斜面25平滑地滑動接觸而不在插入的途中停止，不阻礙環(huán) 形框架2的出入，因而能夠防止半導(dǎo)體晶片W和環(huán)形框架2的損傷。
接著，圖12顯示了本發(fā)明的第3實(shí)施方式，在這種情況下，在各支撐片20的下面 前部，一體地突出形成突起24A，該突起24A與環(huán)形框架2的側(cè)部表面隔開間隙而相對，將該 突起24A形成為漸縮的臺形，以其兩側(cè)部作為隨著朝向下方的支撐片20而逐漸變窄的平滑 的傾斜面25，從而使環(huán)形框架2能夠與該傾斜面25滑動接觸。由于其他部分與上述實(shí)施方 式大致相同，因而省略說明。
在本實(shí)施方式中，也能夠期待與上述實(shí)施方式相同的作用效果，而且，由于通過另 一突起24A的突出而能夠更加埋入插入槽21的剩余空間，因而顯而易見的是，能夠大幅地 抑制并防止環(huán)形框架2在出入作業(yè)的最后向上下方向晃動。另外，由于環(huán)形框架2被平滑 地引導(dǎo)至突起24A的具有導(dǎo)向功能的傾斜的傾斜面25并沿前后方向滑動，因而不會對環(huán)形 框架2的出入帶來障礙，能夠大大地期待半導(dǎo)體晶片W和環(huán)形框架2的損傷防止。
此外，本發(fā)明的處理夾具1用的收納殼體根本不限于上述實(shí)施方式。例如，在上述7實(shí)施方式中，雖然在底板11的內(nèi)面前端部切開凹部12，但也可以在底板11的內(nèi)面前后端部 的至少任一方形成有助于環(huán)形框架2的出入的凹部12，也可以在頂板13的內(nèi)面前后端部的 至少任一方形成有助于環(huán)形框架2的出入的凹部12。
另外，在上述實(shí)施方式中，雖然使支撐片20為沿容器本體10的前后方向伸長的細(xì) 長板，但根本不限于此，如果不會對環(huán)形框架2的收納特別帶來障礙，那么，也可以使支撐 片20為直線板，也可以使支撐片20為后部彎曲成J字形等的板。
另外，雖然可以在各支撐片20上形成止動件22和突起Μ、24A，但也可以在任意的 支撐片20上形成止動件22和突起M、24A。另外，雖然在支撐片20的后部設(shè)置與環(huán)形框架 2的側(cè)部后方干涉的止動件22，但如果不會特別帶來障礙，那么，也能夠在插入槽21的后部 設(shè)置與環(huán)形框架2的側(cè)部后方干涉的止動件22。另外，也能夠不使突起M和突起24A的兩 側(cè)部而僅使一側(cè)部為隨著朝向下方的支撐片20而逐漸變窄的平滑的傾斜面25。
另外，也能夠僅在支撐片20的前部設(shè)置與環(huán)形框架2的側(cè)部相對的突起24A并省 略中央部的突起24。而且，也可以將蓋體30裝卸自如地嵌合在容器本體10的開口的后部， 也能夠?qū)⑸w體30分別裝卸自如地嵌合在容器本體10的開口的前后部。此外，使容器本體 10立起而使開口的前部朝向上方，從上方手動地將處理夾具1的環(huán)形框架2插入該容器本 體10，也能夠?qū)h(huán)形框架2定位并收納在容器本體10內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種處理夾具用的收納殼體，具備前后部分別開口的容器本體和一對支撐片，該一 對支撐片與該容器本體的兩側(cè)壁的內(nèi)面相對而突出形成，并支撐搭載基板的處理夾具的環(huán) 形框架，其特征在于，沿容器本體的上下方向以規(guī)定的間隔排列多對支撐片，沿上下方向鄰接的支撐片和支 撐片的間隔劃分形成為環(huán)形框架用的插入槽，在支撐片和插入槽的任一方的大致后部，設(shè) 置與環(huán)形框架的側(cè)部后方相對的止動件，并且，在該止動件形成限制環(huán)形框架的晃動的傾 斜面。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的處理夾具用的收納殼體，其特征在于，具備裝卸自如地開閉 容器本體的開口的前后部的至少任一方的蓋體，在該蓋體的內(nèi)面設(shè)置與環(huán)形框架干涉的突 部。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的處理夾具用的收納殼體，其特征在于，由含有滑動性的樹 脂的成形材料成形容器本體的至少兩側(cè)壁和一對支撐片。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1、2或3所述的處理夾具用的收納殼體，其特征在于，在支撐片的大致 前部和大致中央部中的至少任一方，設(shè)置與環(huán)形框架的側(cè)部相對的突起，在該突起形成隨 著朝向下方的支撐片而逐漸變窄的傾斜面。
專利摘要
本實(shí)用新型提供了一種搭載基板的處理夾具用的收納殼體，該收納殼體抑制伴隨著支撐片和環(huán)形框架的接觸的異物的產(chǎn)生，能夠抑制環(huán)形框架的晃動，能夠使容器本體的構(gòu)成簡化而減少零件數(shù)。具備前后部開口的容器本體(10)和一對支撐片(20)，該一對支撐片(20)與容器本體(10)的兩側(cè)壁(14)內(nèi)面相對而形成，支撐搭載半導(dǎo)體晶片的處理夾具的環(huán)形框架(2)，沿容器本體(10)的上下方向隔開間隔而排列多對支撐片(20)，鄰接的支撐片(20)和支撐片(20)的間隔形成為環(huán)形框架用的插入槽(21)。而且，在各支撐片(20)的后部，設(shè)置與環(huán)形框架(2)的側(cè)部后方干涉的止動件(22)，在止動件(22)形成傾斜面(23)。由于傾斜面(23)逐漸埋入插入槽(21)，因而能夠抑制并防止環(huán)形框架向上下方向晃動，能夠防止環(huán)形框架的損傷。
文檔編號H01L21/673GKCN201829472SQ200890100011
公開日2011年5月11日 申請日期2008年8月1日
發(fā)明者田中清文, 細(xì)野則義, 谷口敦 申請人:信越聚合物株式會社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan