本技術(shù)涉及機械手臂的，尤其涉及一種擺臂動力結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、晶圓在生產(chǎn)完成后，需要去除晶圓表面微粒雜質(zhì)和殘留化學試劑，潔凈晶圓表面，在進行清洗時需要經(jīng)過多次的藥液浸泡，然而在晶圓進行轉(zhuǎn)移的過程中，晶圓與移動設(shè)備或容器之間可能發(fā)生碰撞或摩擦，導致晶圓表面劃傷或磨損，影響晶片的質(zhì)量和性能，因此，針對上述問題，提出一種擺臂動力結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了如下技術(shù)方案：一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，包括底板，所述底板上表面設(shè)置兩個支架，兩個所述支架豎直設(shè)置在所述底板上，兩個所述支架上端設(shè)置控制電機，所述控制電機前端設(shè)置轉(zhuǎn)動裝置，所述轉(zhuǎn)動裝置一端與所述控制電機連接，另一端與轉(zhuǎn)軸末端轉(zhuǎn)動連接，所述轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置提籃。

2、進一步地，所述轉(zhuǎn)動裝置包括固定板，兩個所述固定板之間設(shè)置齒輪一和齒輪二，所述齒輪一和所述齒輪二分別設(shè)置在所述固定板的兩端，所述齒輪一與所述控制電機軸承連接，所述齒輪二與所述轉(zhuǎn)軸軸承連接，所述齒輪一與所述齒輪二之間通過鏈條連接。

3、進一步地，所述控制電機的電機軸與所述固定板側(cè)面一端固定。

4、進一步地，所述固定板側(cè)面穿透設(shè)置移動槽，所述移動槽內(nèi)設(shè)置移動塊，所述移動塊與旋轉(zhuǎn)桿連接，所述旋轉(zhuǎn)桿連接調(diào)節(jié)齒輪，所述調(diào)節(jié)齒輪與所述鏈條相互咬合。

5、進一步地，所述調(diào)節(jié)齒輪的直徑小于所述齒輪一和齒輪二的直徑，所述移動槽上表面的高度與上方所述鏈條的高度相一致。

6、進一步地，所述轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置槽口，所述提籃套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸前端并包裹在所述槽口外側(cè)。

7、本實用新型具有如下有益效果：

8、本實用新型中，晶圓設(shè)置在提籃內(nèi)，控制電機轉(zhuǎn)動使固定板隨控制電機的電機軸轉(zhuǎn)動，齒輪也隨控制電機轉(zhuǎn)動，并通過鏈條使轉(zhuǎn)軸共同轉(zhuǎn)動使提籃一直處于豎直狀態(tài)，提籃能夠落入支架兩側(cè)的不同藥液中，不會對晶圓產(chǎn)生碰撞。

技術(shù)特征：

1.一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上表面設(shè)置兩個支架(2)，兩個所述支架(2)豎直設(shè)置在所述底板(1)上，兩個所述支架(2)上端設(shè)置控制電機(3)，所述控制電機(3)前端設(shè)置轉(zhuǎn)動裝置(4)，所述轉(zhuǎn)動裝置(4)一端與所述控制電機(3)連接，另一端與轉(zhuǎn)軸(5)末端轉(zhuǎn)動連接，所述轉(zhuǎn)軸(5)前端設(shè)置提籃(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動裝置(4)包括固定板(41)，兩個所述固定板(41)之間設(shè)置齒輪一(42)和齒輪二(43)，所述齒輪一(42)和所述齒輪二(43)分別設(shè)置在所述固定板(41)的兩端，所述齒輪一(42)與所述控制電機(3)軸承連接，所述齒輪二(43)與所述轉(zhuǎn)軸(5)軸承連接，所述齒輪一(42)與所述齒輪二(43)之間通過鏈條(44)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述控制電機(3)的電機軸與所述固定板(41)側(cè)面一端固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述固定板(41)固定板(41)側(cè)面穿透設(shè)置移動槽(45)，所述移動槽(45)內(nèi)設(shè)置移動塊(46)，所述移動塊(46)與旋轉(zhuǎn)桿(47)連接，所述旋轉(zhuǎn)桿(47)連接調(diào)節(jié)齒輪(48)，所述調(diào)節(jié)齒輪(48)與所述鏈條(44)相互咬合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述調(diào)節(jié)齒輪(48)的直徑小于所述齒輪一(42)和齒輪二(43)的直徑，所述移動槽(45)上表面的高度與上方所述鏈條(44)的高度相一致。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸(5)前端設(shè)置槽口(51)，所述提籃(6)套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸(5)前端并包裹在所述槽口(51)外側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及機械手臂的技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種擺臂動力結(jié)構(gòu)，包括底板，所述底板上表面設(shè)置兩個支架，兩個所述支架豎直設(shè)置在所述底板上，兩個所述支架上端設(shè)置控制電機，所述控制電機前端設(shè)置轉(zhuǎn)動裝置，所述轉(zhuǎn)動裝置一端與所述控制電機連接，另一端與轉(zhuǎn)軸末端轉(zhuǎn)動連接，所述轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置提籃。本技術(shù)中，控制電機轉(zhuǎn)動使固定板隨控制電機的電機軸轉(zhuǎn)動，齒輪也隨控制電機轉(zhuǎn)動，并通過鏈條使轉(zhuǎn)軸共同轉(zhuǎn)動使提籃一直處于豎直狀態(tài)，提籃能夠落入支架兩側(cè)的不同藥液中，不會對晶圓產(chǎn)生碰撞。

技術(shù)研發(fā)人員：王從好,胡春波,李川
受保護的技術(shù)使用者：昆山宜昊設(shè)備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240313
技術(shù)公布日：2024/12/12