本實用新型涉及IC芯片制造領域，尤其涉及一種節(jié)能IC固化箱。

背景技術：

隨著科技的發(fā)展，電子產品越來越先進，體積越來越小，而電子產品發(fā)展的根本在于IC芯片的大量使用，IC芯片的生產制造技術限制和決定了IC芯片的發(fā)展，固化作為IC芯片生產過程中的重要環(huán)節(jié)之一，對其的研究一直以來是熱點。現(xiàn)有的IC固化箱不停充排保護氣體，保護氣體消耗高。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術存在的以上問題，提供一種節(jié)能IC固化箱，間歇性充排保護氣體，節(jié)省氣體。

為實現(xiàn)上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型通過以下技術方案實現(xiàn)：

一種節(jié)能IC固化箱，包括固化箱本體、程控機，所述固化箱本體內部設有固化區(qū)，所述固化箱本體外側連接有與固化箱本體內部貫通的進氣管和出氣管，所述進氣管上設有電磁閥A、流量計，所述出氣管上設有止回閥、真空泵，所述電磁閥A、流量計、真空泵分別與程控機電性連接。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體一側，所述出氣管位于固化箱本體上端。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體一側，所述出氣管位于固化箱本體其它三側中的任一側。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體的底端，所述出氣管位于固化箱本體的上端。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體上端，所述出氣管位于固化箱本體底端。

進一步的，所述出氣管上設有三通，所述三通其中一個接口與出氣管連接，另外兩個接口分別連接一根帶有電磁閥B的排氣管B、一根帶有電磁閥C的排氣管C，所述排氣管B的末端連接有氣體回收罐，所述電磁閥B、電磁閥C分別與程控機電性連接。

進一步的，所述止回閥設置在靠近固化箱本體側，所述真空泵設置在遠離固化箱本體側。

進一步的，所述電磁閥A為直動式電磁閥。

本實用新型的有益效果是：使用真空泵抽除空氣，可以快速充滿保護氣體；使用流量計與電磁閥A相配合，恒定保護氣體充斥量，可靠固化的同時節(jié)約保護氣體；使用止回閥，防止空氣倒流。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本申請的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖中標號說明：1-固化箱本體、11-固化區(qū)、2-進氣管、21-流量計、22-電磁閥A、3-出氣管、31-單向閥、32-真空泵、4-三通、41-排氣管B、42-電磁閥B、43-電磁閥C、44-排氣管C。

具體實施方式

下面將參考附圖并結合實施例，來詳細說明本實用新型。

如圖1所示，一種節(jié)能IC固化箱，包括固化箱本體1、程控機，固化箱本體1內部設有固化區(qū)11，固化箱本體1外側連接有與固化箱本體1內部貫通的進氣管2和出氣管3，進氣管2上設有電磁閥A22、流量計21，出氣管3上設有止回閥31、真空泵32，電磁閥A22、流量計21、真空泵32分別與程控機電性連接，其中，電磁閥A22為直動式電磁閥。

使用真空泵32抽除空氣，可以快速充滿保護氣體；使用流量計21與電磁閥A22相配合，恒定保護氣體充斥量，可靠固化的同時節(jié)約保護氣體；使用止回閥31，防止空氣倒流。

進氣管2位于固化箱本體1一側，出氣管3位于固化箱本體1上端。進氣管2位于固化箱本體1一側，出氣管3位于固化箱本體1其它三側中的任一側。

進氣管2位于固化箱本體1的底端，出氣管3位于固化箱本體1的上端。進氣管2位于固化箱本體1上端，出氣管3位于固化箱本體1底端。出氣管3上設有三通4，三通4其中一個接口與出氣管3連接，另外兩個接口分別連接一根帶有電磁閥B42的排氣管B41、一根帶有電磁閥C43的排氣管C44，排氣管B41的末端連接有氣體回收罐，電磁閥B42、電磁閥C43分別與程控機電性連接。

利用氣體回收罐將固化箱本體1內的保護氣體回收純化后能夠再次利用。

止回閥31設置在靠近固化箱本體1側，真空泵32設置在遠離固化箱本體1側。

使用說明：充氣時將待固化IC芯片放入固化箱本體1并密閉好，關閉電磁閥A22、電磁閥B42，打開真空泵32、電磁閥C43，將固化箱本體1內的空氣排盡，再關閉真空泵32、電磁閥C43，打開電磁閥A22將與進氣管2連接的儲存有保護氣體的儲氣罐中的氣體充入固化箱本體1內，流量計21計量，當固化箱本體1內充滿氣體（或達到預定充斥量）后關閉電磁閥A22；排保護氣體時，電磁閥A2、電磁閥C43保持關閉狀態(tài)，打開電磁閥B42、啟動真空泵32將固化箱本體1內的保護氣體排入氣體回收罐內。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。