技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)的氣體勻流組件，包括相互連通的第一勻流件和第二勻流件，第一勻流件通過(guò)氣體控制閥門連通氣管，第一勻流件具有多個(gè)分氣通路，第二勻流件上開(kāi)設(shè)多個(gè)氣孔，多個(gè)氣孔與多個(gè)分氣通路相通。本實(shí)用新型公開(kāi)的片材表面處理裝置，利用氣流對(duì)片材進(jìn)行表面處理，其包括箱體，還包括至少一個(gè)氣體勻流組件，氣體勻流組件設(shè)置于箱體內(nèi)。本實(shí)用新型的片材表面處理裝置通過(guò)在箱體內(nèi)加裝氣體勻流組件，使氮?dú)狻⒊粞踹M(jìn)出箱體均勻分散，氣流平穩(wěn)、流速緩慢，有效避免氣流沖擊；氣體在箱體內(nèi)部均勻填充，使得箱體內(nèi)部雜質(zhì)排除更徹底，清潔范圍無(wú)死角；臭氧與箱體內(nèi)部并列排布的硅片接觸更徹底，每片硅片周圍的臭氧濃度均勻一致，保證氧化效果。

技術(shù)研發(fā)人員：董國(guó)樑;邢建龍;張治國(guó);趙科雄;趙許飛;平洛;徐震;何雙奇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：隆基綠能科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201720257218
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.16
技術(shù)公布日：2017.11.10