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一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置的制作方法

文檔序號:11197182閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置,包括圓盤底座,其特征在于,所述圓盤底座的上表面均勻布設有兩組以上的圓柱支撐塊,每組的圓柱支撐塊為兩個,每組的兩個圓柱支撐塊不在同一圓周但在同一中心線上,圓盤底座的外緣均勻布設有兩個以上的加強筋,圓盤底座的上表面和加強筋的上表面在同一平面上,圓柱支撐塊上固定連接有導軌,所述加強筋的上平面連接導軌的下底面,導軌上部的豎截面呈等腰梯形、下部的豎截面呈矩形,導軌上部的兩側(cè)面上均標注有刻度;導軌的上部滑動式連接有移動滑塊,移動滑塊的底部開設有與導軌的上部相匹配的等腰梯形滑槽,移動滑塊的前端固定連接有連桿,所述連桿的一端固定連接有定位元件,所述定位元件的上部呈半圓臺形、下部呈半圓柱形,定位元件的下部開設有凹槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置,其特征在于,所述圓盤底座的中心開設有沉頭孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置,其特征在于,所述導軌的上平面開設有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和第二通孔分別與每組的圓柱支撐塊連接,第一通孔和第二通孔的中心距等于每組的兩個圓柱支撐塊的中心距。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置,其特征在于,所述移動滑塊的下部開設有螺紋孔,所述螺紋孔內(nèi)布設有限位螺釘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置,其特征在于,所述圓柱支撐塊為三組,相鄰兩組的圓柱支撐塊之間的夾角為120°。

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