1.一種SiC晶圓片金屬電極退火爐用的新型石墨舟，其特征在于，所述石墨舟為圓盤型，石墨舟的上層表面開設(shè)有三種尺寸的圓形凹槽，一號凹槽的半徑為76mm、二號凹槽的半徑為51mm、三號凹槽的半徑為38mm，所述一號凹槽、所述二號凹槽和所述三號凹槽的槽底距離石墨舟上表面的深度依次增大；其中，一號凹槽和二號凹槽與石墨舟同軸設(shè)置，三個三號凹槽環(huán)繞石墨舟軸心線分布，三號凹槽的軸心線距離石墨舟軸心線44.5mm。
2.如權(quán)利要求1所述的新型石墨舟，其特征在于，所述石墨舟表面濺射有一層碳化鉭保護層。
3.如權(quán)利要求2所述的新型石墨舟，其特征在于，所述碳化鉭保護層為2μm。
4.如權(quán)利要求1所述的新型石墨舟，其特征在于，所述石墨舟的半徑為87.5mm，其高度在10-20mm之間。
5.如權(quán)利要求1所述的新型石墨舟，其特征在于，所述一號凹槽的槽底距離石墨舟上表面的深度為1-2mm；所述二號凹槽的槽底距離石墨舟上表面的深度為2-4mm；所述三號凹槽的槽底距離石墨舟上表面的深度為3-6mm。
6.如權(quán)利要求1所述的新型石墨舟，其特征在于，三個所述三號凹槽之間相隔120°分布。
7.如權(quán)利要求1所述的新型石墨舟，其特征在于，所述石墨舟的中心開設(shè)有用于插置測溫?zé)犭娕嫉耐住?/p>
8.如權(quán)利要求7所述的新型石墨舟，其特征在于，所述通孔的半徑為2.5mm。
9.如權(quán)利要求1所述的新型石墨舟，其特征在于，設(shè)置在所述石墨舟的下方的石英支架包括：環(huán)形外框，所述環(huán)形外框的內(nèi)側(cè)設(shè)置至少三個向環(huán)形外框中心延伸的支撐梁，所述支撐梁沿環(huán)形外框的圓周方向均布。
10.如權(quán)利要求9所述的新型石墨舟，其特征在于，所述環(huán)形外框的內(nèi)徑大于所述石墨舟的直徑，石墨舟置于所述支撐梁上。