本發(fā)明涉及硅片刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種噴涂式刻蝕槽。

背景技術(shù)：

太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程需要經(jīng)過(guò)很多個(gè)步驟，其中對(duì)硅片的刻蝕工藝也是必不可少的一部分，硅片在刻蝕過(guò)程中，需要使用刻蝕液對(duì)硅片除了擴(kuò)散面以外的所有面進(jìn)行刻蝕。

現(xiàn)有技術(shù)中，常用的刻蝕槽均采用粘液滾輪，來(lái)對(duì)硅片進(jìn)行刻蝕，通過(guò)粘液滾輪將刻蝕液粘在滾輪上，然后滾輪將刻蝕液傳遞到硅片上完成刻蝕，但是這種方式存在一個(gè)較為明顯的缺陷：采用粘液滾輪的方式對(duì)硅片進(jìn)行刻蝕時(shí)，使得硅片的側(cè)壁無(wú)法很好的進(jìn)行刻蝕，從而導(dǎo)致了硅片在刻蝕過(guò)程中，無(wú)法很好的將除了擴(kuò)散面以外的其余面均刻蝕到，也就容易造成硅片刻蝕質(zhì)量下降的情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種噴涂式刻蝕槽，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種噴涂式刻蝕槽，包括刻蝕槽、水泵以及噴嘴，所述刻蝕槽的內(nèi)側(cè)壁上對(duì)稱(chēng)設(shè)置有固定板，所述固定板中開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)活動(dòng)設(shè)置有滑塊，所述滑塊中開(kāi)設(shè)有安裝槽，所述安裝槽內(nèi)側(cè)壁上固定有定軸，所述定軸上活動(dòng)連接有安裝柱；

所述噴嘴固定于安裝柱上，且噴嘴通過(guò)管道與水泵連通，所述刻蝕槽側(cè)壁上固定有固定環(huán)，所述安裝柱上固定有移動(dòng)環(huán)，所述固定環(huán)與移動(dòng)環(huán)通過(guò)連接線(xiàn)相連；

所述刻蝕槽安裝有固定板的內(nèi)側(cè)壁上水平設(shè)置有滾輪。

優(yōu)選的，每個(gè)所述噴嘴對(duì)應(yīng)連接于一個(gè)水泵上。

優(yōu)選的，所述水泵設(shè)置于支撐板上，所述支撐板固定于刻蝕槽外側(cè)壁上。

優(yōu)選的，所述滾輪上固定套設(shè)有限位輪。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明的噴嘴通過(guò)水泵的作用，可以噴涂出刻蝕液對(duì)硅片的側(cè)壁進(jìn)行刻蝕，滑槽和滑塊的作用，可以用來(lái)調(diào)節(jié)噴嘴的水平位置，以針對(duì)不同長(zhǎng)度的硅片進(jìn)行刻蝕；而且安裝噴嘴的固定柱與定軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可以通過(guò)調(diào)節(jié)連接線(xiàn)的長(zhǎng)度，來(lái)調(diào)整噴嘴向下噴涂刻蝕液的角度，以針對(duì)不同厚度的硅片進(jìn)行刻蝕，從而使得噴嘴可以很好的將刻蝕液噴涂到硅片的側(cè)壁上，而且可以防止刻蝕液噴涂到擴(kuò)散面上對(duì)硅片造成損壞。

本發(fā)明通過(guò)噴嘴和水泵的配合，可以很好的完成刻蝕液對(duì)硅片側(cè)壁的噴涂，而且通過(guò)對(duì)噴嘴的水平位置以及噴液角度的調(diào)節(jié)，可以針對(duì)不同尺寸的硅片進(jìn)行噴涂，非常方便，使得硅片在擴(kuò)散面背面刻蝕的過(guò)程中，完成對(duì)硅片側(cè)壁的刻蝕，在節(jié)約了大量時(shí)間的同時(shí)，還可以提高硅片刻蝕質(zhì)量，十分有效。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明刻蝕槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的固定板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的滑塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為實(shí)施例中噴嘴對(duì)硅片的噴涂角度示意圖。

圖中：1刻蝕槽、2水泵、21支撐板、3固定板、4滑槽、5滑塊、6安裝槽、7定軸、8安裝柱、9噴嘴、10固定環(huán)、11移動(dòng)環(huán)、12連接線(xiàn)、13滾輪、14硅片、15限位輪。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-4，本發(fā)明提供一種技術(shù)方案：

一種噴涂式刻蝕槽，包括刻蝕槽1、水泵2以及噴嘴9，刻蝕槽1內(nèi)裝有刻蝕液，刻蝕槽1的內(nèi)側(cè)壁上對(duì)稱(chēng)設(shè)置有固定板3，固定板3作為安裝基座，會(huì)接觸到刻蝕液，所以需要在固定板3上設(shè)置有防酸液腐蝕層。

固定板3中開(kāi)設(shè)有滑槽4，滑槽4內(nèi)活動(dòng)設(shè)置有滑塊5，滑塊5可以在滑槽4內(nèi)自由移動(dòng)，滑槽4的滑道對(duì)滑塊5進(jìn)行限位，可以防止滑塊5從滑槽4內(nèi)掉出，滑塊5中開(kāi)設(shè)有安裝槽6，安裝槽6內(nèi)側(cè)壁上固定有定軸7，定軸7的兩端固定插接在安裝槽6的側(cè)壁上，定軸7本身不會(huì)轉(zhuǎn)動(dòng)，移動(dòng)在定軸7上活動(dòng)連接有安裝柱8，安裝柱8與定軸7之間采用鉸接的方式，使得安裝柱8可以繞著定軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)安裝柱8的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，通過(guò)滑塊5的移動(dòng)，從而帶動(dòng)定軸7進(jìn)行移動(dòng)，也就實(shí)現(xiàn)了安裝柱8的左右移動(dòng)，即帶動(dòng)噴嘴9左右移動(dòng)。

噴嘴9固定于安裝柱8上，噴嘴9安裝在安裝柱8遠(yuǎn)離定軸7的一端，如說(shuō)明書(shū)附圖4所示，噴嘴9安裝后的噴液方向朝向硅片14，且噴嘴9通過(guò)管道與水泵2連通，使得水泵2向噴嘴9輸送刻蝕液，且每個(gè)噴嘴9對(duì)應(yīng)連接于一個(gè)水泵2上，水泵2從tank槽內(nèi)進(jìn)行抽液，采用單一水泵2對(duì)應(yīng)只對(duì)一個(gè)噴嘴9進(jìn)行供液，使得噴嘴9之間相互不干擾。

作為一個(gè)優(yōu)選，使水泵2設(shè)置于支撐板21上，支撐板21固定于刻蝕槽7外側(cè)壁上，這樣方便水泵2的設(shè)置與固定，而且可以節(jié)約水泵2與噴嘴9之間的連接管道的長(zhǎng)度，非常有效。

刻蝕槽1側(cè)壁上固定有固定環(huán)10，固定環(huán)10安裝在刻蝕槽1的側(cè)壁上表面，安裝柱8上固定有移動(dòng)環(huán)11，移動(dòng)環(huán)11安裝在固定柱8靠近固定環(huán)10的一側(cè)側(cè)壁上，固定環(huán)10與移動(dòng)環(huán)11通過(guò)連接線(xiàn)12相連，連接線(xiàn)12的長(zhǎng)度可調(diào)節(jié)，且連接線(xiàn)12對(duì)固定柱8起到一個(gè)拉持作用，如說(shuō)明書(shū)附圖4所示，當(dāng)需要對(duì)硅片14進(jìn)行噴涂時(shí)，調(diào)節(jié)連接線(xiàn)12的長(zhǎng)度，使得固定柱8繞著定軸7開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)著噴嘴9形成一個(gè)向下的噴液角度，也就使噴嘴9噴出的刻蝕液可以剛好噴涂到硅片14側(cè)壁的最上端，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片14側(cè)壁更好的噴涂效果。

刻蝕槽1安裝有固定板3的內(nèi)側(cè)壁上水平設(shè)置有滾輪13，滾輪13設(shè)置有多排，更加方便硅片14的運(yùn)輸，滾輪13上固定套設(shè)有限位輪15，限位輪15之間的間隔距離用來(lái)放置硅片14，對(duì)硅片14進(jìn)行調(diào)節(jié)限位，防止硅片14發(fā)生左右晃動(dòng)，也就有效的防止了噴嘴9噴出的液體噴涂到硅片14的擴(kuò)散面上。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種噴涂式刻蝕槽，包括刻蝕槽、水泵以及噴嘴，刻蝕槽的內(nèi)側(cè)壁上對(duì)稱(chēng)設(shè)置有固定板，固定板中開(kāi)設(shè)有滑槽，滑槽內(nèi)活動(dòng)設(shè)置有滑塊，滑塊中開(kāi)設(shè)有安裝槽，安裝槽內(nèi)側(cè)壁上固定有定軸，且噴嘴通過(guò)管道與水泵連通，刻蝕槽側(cè)壁上固定有固定環(huán)，所述安裝柱上固定有移動(dòng)環(huán)，所述固定環(huán)與移動(dòng)環(huán)通過(guò)連接線(xiàn)相連；所述刻蝕槽安裝有固定板的內(nèi)側(cè)壁上水平設(shè)置有滾輪。本發(fā)明通過(guò)噴嘴和水泵的配合，可以很好的完成刻蝕液對(duì)硅片側(cè)壁的噴涂，可以針對(duì)不同尺寸的硅片進(jìn)行噴涂，非常方便，使得硅片在擴(kuò)散面背面刻蝕的過(guò)程中，完成對(duì)硅片側(cè)壁的刻蝕，在節(jié)約了大量時(shí)間的同時(shí)，還可以提高硅片刻蝕質(zhì)量，十分有效。

技術(shù)研發(fā)人員：徐峰;陳剛;譚飛;徐光;葛新國(guó)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：通威太陽(yáng)能（安徽）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.14
技術(shù)公布日：2017.10.27