技術(shù)編號：12307739
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅片刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種噴涂式刻蝕槽。背景技術(shù)太陽能電池片的制造過程需要經(jīng)過很多個(gè)步驟，其中對硅片的刻蝕工藝也是必不可少的一部分，硅片在刻蝕過程中，需要使用刻蝕液對硅片除了擴(kuò)散面以外的所有面進(jìn)行刻蝕?，F(xiàn)有技術(shù)中，常用的刻蝕槽均采用粘液滾輪，來對硅片進(jìn)行刻蝕，通過粘液滾輪將刻蝕液粘在滾輪上，然后滾輪將刻蝕液傳遞到硅片上完成刻蝕，但是這種方式存在一個(gè)較為明顯的缺陷：采用粘液滾輪的方式對硅片進(jìn)行刻蝕時(shí)，使得硅片的側(cè)壁無法很好的進(jìn)行刻蝕，從而導(dǎo)致了硅片在刻蝕過程中，無法很好的將除了擴(kuò)散面以...
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