技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種可降低酸耗的SCHMID刻蝕槽，包括槽體，所述槽體開口處水平設置有若干螺旋背拋滾輪，且槽體兩端的外側壁上分別活動設置有前擋板和后擋板；所述槽體下端設置有手動閥，所述手動閥與TANK槽相連，且槽體還連接有液位測試盒。本發(fā)明還公開了一種可降低酸耗的SCHMID刻蝕槽的使用方法，包括以下步驟：S1：調整前擋板和后擋板的高度；S2：通過液位測試盒設定液面的高度；S3：打開TANK槽通過手動閥向槽體內打液；S4：將硅片從前擋板處加入到槽體內進行刻蝕。本發(fā)明能夠有效的使硝酸酸耗降低80％、氫氟酸降低65％，大大節(jié)約了酸耗成本，而且酸耗的下降，也不再需要設置排風管；而且大大提高了SCHMID機臺稼動率，且降低了設備維修成本，非常有效。

技術研發(fā)人員：周守亮;蘇世杰;顧峰
受保護的技術使用者：通威太陽能（合肥）有限公司
技術研發(fā)日：2017.07.14
技術公布日：2017.09.22